特表 2020-526387 エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公表特許公報(A)

(11)【公表番号】特表2020-526387(P2020-526387A)

(43)【公表日】2020年8月31日

(54)【発明の名称】エネルギ出力装置を伴う噴射装置およびその制御方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/00 20060101AFI20200803BHJP

   B41J 2/14 20060101ALI20200803BHJP

   B05C 11/10 20060101ALI20200803BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20200803BHJP

   B05D 3/00 20060101ALI20200803BHJP

【ＦＩ】

   B05C5/00 101

   B41J2/14 307

   B05C11/10ZAB

   B05D1/26 Z

   B05D3/00 D

【審査請求】未請求

【予備審査請求】未請求

【全頁数】44

(21)【出願番号】特願2020-501262(P2020-501262)

(86)(22)【出願日】2018年6月29日

(85)【翻訳文提出日】2020年3月9日

(86)【国際出願番号】EP2018067616

(87)【国際公開番号】WO2019011672

(87)【国際公開日】20190117

(31)【優先権主張番号】1730188-8

(32)【優先日】2017年7月12日

(33)【優先権主張国】SE

(81)【指定国】 AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,RW,SD,SL,ST,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,CH,CY,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,FR,GB,GR,HR,HU,IE,IS,IT,LT,LU,LV,MC,MK,MT,NL,NO,PL,PT,RO,RS,SE,SI,SK,SM,TR),OA(BF,BJ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GQ,GW,KM,ML,MR,NE,SN,TD,TG),AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,BH,BN,BR,BW,BY,BZ,CA,CH,CL,CN,CO,CR,CU,CZ,DE,DJ,DK,DM,DO,DZ,EC,EE,EG,ES,FI,GB,GD,GE,GH,GM,GT,HN,HR,HU,ID,IL,IN,IR,IS,JO,JP,KE,KG,KH,KN,KP,KR,KW,KZ,LA,LC,LK,LR,LS,LU,LY,MA,MD,ME,MG,MK,MN,MW,MX,MY,MZ,NA,NG,NI,NO,NZ,OM,PA,PE,PG,PH,PL,PT,QA,RO,RS,RU,RW,SA,SC,SD,SE,SG,SK,SL,SM,ST,SV,SY,TH,TJ,TM,TN,TR,TT

(71)【出願人】

【識別番号】513253940

【氏名又は名称】マイクロニック アクティエボラーグ

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100147555

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 公一

(74)【代理人】

【識別番号】100160705

【弁理士】

【氏名又は名称】伊藤 健太郎

(74)【代理人】

【識別番号】100211177

【弁理士】

【氏名又は名称】赤木 啓二

(72)【発明者】

【氏名】グスタフ モルテンソン

(72)【発明者】

【氏名】イェスペル サランデル

【テーマコード（参考）】

2C057

4D075

4F041

4F042

【Ｆターム（参考）】

2C057AF71

2C057AJ05

2C057AM16

2C057AN07

2C057BA04

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4F042BA12

4F042BA15

4F042BA19

4F042CB03

4F042CB07

(57)【要約】

ノズル（２６）の出口（２７）を通して粘性媒体（５１０）の１つ以上の液滴を噴射するように構成された噴射用装置は、エネルギ出力装置（５００）を含む。エネルギ出力装置（５００）は、ノズル（２６）からの液滴（５２４）の分断を制御するため、出口（２７）を通って噴射された粘性媒体（５１０）の体積の少なくとも一部分（５２２）の中にエネルギ量子（５９０）を誘導するように構成されている。エネルギ出力装置は、音響トランスジューサまたは圧電材料またはレーザエミッタまたはヒータを含み得る。

【特許請求の範囲】

【請求項1】

粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置において：
出口を含み、前記出口を通って液滴を噴射するように構成されたノズルと；
前記ノズルからの液滴の分断を制御するために、前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置と；
を含む装置。

【請求項2】

前記エネルギ出力装置が、前記粘性媒体の前記部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分の中に音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含んでいる；
請求項１に記載の装置。

【請求項3】

前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
請求項２に記載の装置。

【請求項4】

前記ノズルが、前記出口から前記装置の内部内へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが前記導管に位置しており、前記音響トランスジューサは、前記出口まで前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
請求項２に記載の装置。

【請求項5】

前記エネルギ出力装置は、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の前記部分の局部加熱を誘発すること；
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分に衝突するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含んでいる、
請求項１に記載の装置。

【請求項6】

前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出した前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
請求項５に記載の装置。

【請求項7】

前記エネルギ出力装置が、圧電素子を含み、前記ノズルの流量断面積の調整に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されている、請求項１に記載の装置。

【請求項8】

前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されている、
請求項１に記載の装置。

【請求項9】

液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し；かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する；
ように構成された制御装置、
をさらに含む、請求項１に記載の装置。

【請求項10】

ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において：
前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも別個の第２の部分を前記ノズルから分断させて液滴を形成するため、前記粘性媒体の前記体積の第１の部分に対してエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップと；
を含む方法。

【請求項11】

前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第２の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分に対して専ら送出される、
請求項１０に記載の方法。

【請求項12】

前記エネルギ出力装置が音響トランスジューサを含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップは、前記粘性媒体の前記第１の部分の音響起動に基づいて前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させるために、前記ノズルを通って噴射された前記粘性媒体の前記第１の部分の中に音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するステップを含んでいる、
請求項１０に記載の方法。

【請求項13】

前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させる前記ステップが、前記音響起動に基づいて前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分の中でせん断減粘性を誘発するステップを含む、請求項１２に記載の方法。

【請求項14】

前記エネルギ出力装置がレーザエミッタを含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、
光子圧力を通して前記体積の少なくとも前記第１の部分の中に運動量を付与するステップ、
前記体積の前記第１の部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および
前記粘性媒体の前記第１の部分の前記部分の局部加熱を誘発するステップ、
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させるため、前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも前記第１の部分に衝突するレーザビームを発出するように前記レーザエミッタを制御するステップが含まれている、
請求項１０に記載の方法。

【請求項15】

前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記ノズルの流量断面積を調整するように前記圧電素子を制御するステップが含まれている、請求項１０に記載の方法。

【請求項16】

前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように前記ヒータ素子を制御するステップが含まれている、
請求項１０に記載の方法。

【請求項17】

前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で、前記体積の少なくとも前記第１の部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
請求項１０に記載の方法。

【請求項18】

粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置において：
出口を含むノズルであって、前記出口の長手方向軸に沿って前記出口を通って移動する前記粘性媒体の体積に基づいて、液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するように構成され、前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されている、エネルギ出力装置と；
を含む装置。

【請求項19】

前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含む、
請求項１８に記載の装置。

【請求項20】

前記ノズルが、前記出口から前記出口の前記長手方向軸に沿って前記装置の内部の中へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが、前記出口の前記長手方向軸に沿って前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
請求項１９に記載の装置。

【請求項21】

前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差する前記音響信号を発出するように構成されている；
請求項１９に記載の装置。

【請求項22】

前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
請求項２１に記載の装置。

【請求項23】

前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含む、
請求項１８に記載の装置。

【請求項24】

前記レーザエミッタは、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の少なくとも前記部分の局部加熱を誘発すること、
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されている、
請求項２３に記載の装置。

【請求項25】

前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出する前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
請求項２４に記載の装置。

【請求項26】

前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する機械的信号を発出するように構成されている、請求項１８に記載の装置。

【請求項27】

前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する熱信号を発出するように構成されている、請求項１８に記載の装置。

【請求項28】

液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って前記粘性媒体の前記体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し；かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する；
ように構成された制御装置、
をさらに含む、請求項１８に記載の装置。

【請求項29】

ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において：
前記出口の長手方向軸に沿って前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体の前記体積の別個の第２の部分が前記出口を通って前記ノズルから退出した後で前記粘性媒体の前記体積の第１の部分の中にエネルギ量子が送出されるような形で、前記出口の前記長手方向軸と交差するべくエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップと；
を含む方法。

【請求項30】

前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第２の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分に対して専ら送出される、
請求項２９に記載の方法。

【請求項31】

前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
請求項２９に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書中に記載の例示的実施形態は、概して基板上への粘性媒体の液滴の「噴射」の分野に関する。より具体的には、例示的実施形態は、噴射装置の性能の改善、および基板上に粘性媒体の液滴を「噴射」するように構成された噴射装置に関する。

【背景技術】

【0002】

噴射装置は公知であり、主として、コンポーネントを上に組付ける前に例えば電子回路板などの基板上に、例えばはんだペーストまたは膠などの粘性媒体の液滴を噴射するために使用されるように意図されており、この噴射を実装するように構成され得る。このような噴射装置の一例は、参照により全体が本明細書に組込まれている特許文献１（国際公開第９９／６４１６７号）に開示されている。

【0003】

噴射装置は、噴射前に比較的小さな体積の粘性媒体を格納するように構成されたノズル空間（本明細書においては駆出チャンバ（eject chamber）としても言及されている）、ノズル空間に結合された（例えばノズル空間と連通状態にある）噴射ノズル、粘性媒体に衝撃を与え液滴の形で噴射ノズルを通ってノズル空間からこれを噴射するように構成されている衝撃装置、およびノズル空間内に媒体を補給するように構成されたフィーダ、を含み得る。

【0004】

電子回路板の製造においては生産速度が比較的重要な要因であることから、粘性媒体の適用は典型的には「オンザフライで（on the fly）」（すなわち粘性媒体を被着させるべきワーク上の各場所のために停止することなく）実施される。電子回路板の製造速度を改善させるためのさらなる方法は、作業員の介入の必要性を無くするかまたは削減することである。

【0005】

いくつかの事例において、装置の優れた信頼性の高い性能は、高い精度および長時間にわたる高い生産性レベルの維持と同様、上述の２つの対策の実装において比較的重要な要因である。いくつかの事例において、このような要因が不在である場合、ワーク（例えば回路板）上の堆積物に意図せぬ変動が発生する可能性があり、このことは、このようなワーク内のエラーの存在を導き得る。このようなエラーは、このようなワークの信頼性を低減させる。例えば、回路板であるワーク上の堆積物サイズ、堆積物配置、堆積物形状などの１つ以上に意図せぬ変動があると、回路板は、橋絡、短絡などをより発生させ易くなる可能性がある。

【0006】

いくつかの事例において、液滴サイズの優れた信頼性の高い制御は、上述の２つの対策の実装において比較的重要な要因である。いくつかの事例において、このような制御が不在である場合、ワーク（例えば回路板）上の堆積物に意図せぬ変動が発生する可能性があり、このことは、このようなワーク内のエラーの存在を導き得る。このようなエラーは、このようなワークの信頼性を低減させる。例えば、回路板であるワーク上の堆積物サイズ、堆積物配置、堆積物形状などの１つ以上に意図せぬ変動があると、回路板は、橋絡、短絡などをより発生させ易くなる可能性がある。

【0007】

いくつかの事例においてワーク上の堆積物サイズ、堆積物配置、堆積物形状などのうちの一つ以上における意図せぬ変動は、少なくとも部分的に、噴射動作中の噴射装置のノズルからの別個で個別の液滴の分断における変動に基づくものであり得る。別個の液滴の分断におけるこのような変動は、結果として、堆積物のサイズ、形状、位置、形態などのうちの１つ以上における変動を含めた、別個の液滴により形成される堆積物のうちの１つ以上における変動をもたらし得る。このような変動は、結果としてワークの性能低下をもたらし得る。

【0008】

Ｈｉｒａｈａｒａに対する特許文献２（米国特許第６，０４５，２０８号明細書）は、超音波ビームの圧力によりインク表面からインク液滴を飛ばすことによって記録媒体上に画像を記録することのできるインクジェット記録装置を開示している。この装置は、超音波ビームを発出するためのアレイ状に配設された複数の超音波素子を有する超音波発生用素子アレイと、互いに異なる位相を有する複数のパルスを適用するための駆動用装置と、超音波ビームを互いに干渉させることにより超音波ビームを収束させるための収束用装置とを含むことができる。発生用素子は同時に駆動され、１つのアレイ方向で連続してシフトされ得、収束用装置は、アレイ方向に直交する方向で超音波ビームを収束させることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0009】

【特許文献1】国際公開第９９／６４１６７号

【特許文献2】米国特許第６，０４５，２０８号明細書

【発明の概要】

【0010】

いくつかの例示的実施形態によると、粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置は、出口を通って液滴を噴射するように構成されたノズルを含み得る。装置はさらに、ノズルからの液滴の分断を制御するために、出口を通って噴射された粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置を含み得る。

【0011】

エネルギ出力装置は、粘性媒体の一部分の音響起動に基づいて、ノズルからの液滴の分断を制御するために出口を通って噴射された粘性媒体の一部分の中に音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含み得る。

【0012】

音響起動には、粘性媒体の一部分のせん断減粘性（shear-thinning）を誘発するステップが含まれていてよい。

【0013】

ノズルは、出口から装置の内部内へと延在する導管を含み得る。音響トランスジューサは導管に位置し、こうして音響トランスジューサは、出口まで導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されてよい。

【0014】

エネルギ出力装置は、光子圧力を通して粘性媒体の一部分の中に運動量を付与するステップ、粘性媒体の一部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および粘性媒体の一部分の局部加熱を誘発するステップ、のうちの少なくとも１つに基づいて、ノズルからの液滴の分断を制御するために出口を通って噴射された粘性媒体の一部分に衝突するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含み得る。

【0015】

レーザエミッタは、ノズルの外部に位置しており、こうしてレーザエミッタは、出口を通ってノズルから退出した粘性媒体の一部分に衝突するべくレーザビームを発出するように構成されていてよい。

【0016】

エネルギ出力装置は、圧電素子を含んでいてよく、ノズルの流量断面積の調整ステップに基づいて粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されていてよい。

【0017】

エネルギ出力装置は、ヒータ素子を含んでいてよく、発熱に基づいて粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されていてよい。

【0018】

装置は制御装置を含む。この制御装置は、液滴を噴射するためにノズルの出口までノズルを通って一定の体積の粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するように構成されていてよい。制御装置は、体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するためにエネルギ出力装置を制御するように構成されていてよい。

【0019】

いくつかの例示的実施形態によると、ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法は、ノズルの出口までノズルを通って一定の体積の粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと、粘性媒体の体積の少なくとも別個の第２の部分をノズルから分断させて液滴を形成するため、粘性媒体の体積の第１の部分に対してエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップと、を含み得る。

【0020】

エネルギ量子は、粘性媒体の体積の別個の第２の部分とは独立して、粘性媒体の体積の第１の部分に対して専ら送出されてよい。

【0021】

エネルギ出力装置は音響トランスジューサを含む。エネルギ出力装置を制御するステップは、粘性媒体の第１の部分の音響起動に基づいて体積の少なくとも別個の第２の部分をノズルから分断させるために、ノズルを通って噴射された粘性媒体の第１の部分の中に音響信号を発出するように音響トランスジューサを制御するステップを含んでいてよい。

【0022】

体積の少なくとも別個の第２の部分をノズルから分断させるステップは、音響起動に基づいて粘性媒体の体積の第１の部分の中でせん断減粘性を誘発するステップを含み得る。

【0023】

エネルギ出力装置はレーザエミッタを含み得る。エネルギ出力装置を制御するステップには、光子圧力を通して体積の少なくとも第１の部分の中に運動量を付与するステップ、体積の第１の部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および粘性媒体の第１の部分の局部加熱を誘発するステップ、のうちの少なくとも１つに基づいて、体積の少なくとも別個の第２の部分をノズルから分断させるため、出口を通って噴射された粘性媒体の少なくとも第１の部分に衝突するレーザビームを発出するようにレーザエミッタを制御するステップが含まれていてよい。

【0024】

エネルギ出力装置は圧電素子を含んでいてよく、エネルギ出力装置を制御するステップには、ノズルの流量断面積を調整するように圧電素子を制御するステップが含まれていてよい。

【0025】

エネルギ出力装置はヒータ素子を含んでいてよく、エネルギ出力装置を制御するステップには、発熱に基づいて粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するようにヒータ素子を制御するステップが含まれていてよい。

【0026】

エネルギ出力装置を制御するステップには、体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で、体積の少なくとも第１の部分の中にエネルギ量子を誘導するためにエネルギ出力装置を制御するステップが含まれていてよい。

【0027】

いくつかの例示的実施形態によると、粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置は、出口を含むノズルであって、出口の長手方向軸に沿って出口を通って移動する粘性媒体の体積に基づいて、液滴を噴射するように構成されているノズルと：出口の長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置であって、こうして、エネルギ出力装置は粘性媒体の体積の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されるようになっている、エネルギ出力装置と、を含み得る。

【0028】

エネルギ出力装置は、出口の長手方向軸と交差する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含み得る。

【0029】

ノズルは、出口から出口の長手方向軸に沿って装置の内部の中へと延在する導管を含み得る。音響トランスジューサは、出口の長手方向軸に沿って導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されていてよい。

【0030】

音響トランスジューサは、粘性媒体の体積の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、ノズルからの液滴の分断を制御するために出口の長手方向軸と交差する音響信号を発出するように構成されていてよい。

【0031】

音響起動には、粘性媒体の一部分のせん断減粘性を誘発するステップが含まれている。

【0032】

エネルギ出力装置は、出口の長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含む。

【0033】

レーザエミッタは、光子圧力を通して粘性媒体の体積の少なくとも一部分の中に運動量を付与するステップ、粘性媒体の体積の少なくとも一部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および粘性媒体の少なくとも一部分の局部加熱を誘発するステップ、のうちの少なくとも１つに基づいて、ノズルからの液滴の分断を制御するために出口の長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されている。

【0034】

レーザエミッタは、ノズルの外部に位置しており、こうしてレーザエミッタは、出口を通ってノズルから退出した粘性媒体の一部分に衝突するべくレーザビームを発出するように構成されている。

【0035】

エネルギ出力装置は圧電素子を含んでいてよく、出口の長手方向軸と交差する機械的信号を発出するように構成されていてよい。

【0036】

エネルギ出力装置はヒータ素子を含んでいてよく、出口の長手方向軸と交差する熱信号を発出するように構成されていてよい。

【0037】

装置は制御装置を含み得る。制御装置は、液滴を噴射するためにノズルの出口までノズルを通って粘性媒体の体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するように構成されていてよい。制御装置は、体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で出口の長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するためにエネルギ出力装置を制御するように構成されていてよい。

【0038】

いくつかの例示的実施形態によると、ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法は、出口の長手方向軸に沿ってノズルの出口までノズルを通って一定の体積の粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップを含んでいてよい。該方法は、粘性媒体の体積の別個の第２の部分が出口を通ってノズルから退出した後で粘性媒体の体積の第１の部分の中にエネルギ量子が送出されるような形で、出口の長手方向軸と交差するべくエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップを含み得る。

【0039】

エネルギ量子は、粘性媒体の体積の別個の第２の部分とは独立して、粘性媒体の体積の第１の部分に対して専ら送出され得る。

【0040】

エネルギ出力装置を制御するステップには、体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で出口の長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するためにエネルギ出力装置を制御するステップが含まれている。

【0041】

図面と関連して、いくつかの例示的実施形態について以下で説明する。本明細書中に記載の図面は、単に例証のみを目的としており、いかなる形であれ本開示の範囲を限定するように意図されていない。

【図面の簡単な説明】

【0042】

【図1】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１を例示する斜視図である。

【図2】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射用アセンブリおよびドッキング装置を例示する概略図である。

【図3】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射用アセンブリを例示する概略図である。

【図4】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置の一部分の断面図である。

【図5A】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４中に例示されている噴射装置の一部分の断面図である。

【図5B】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４中に例示されている噴射装置の一部分の断面図である。

【図6】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る、少なくとも１つの動作を噴射装置の少なくともいくつかの要素に行なわせるために噴射装置の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を例示するタイミング図である。

【図7】本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る制御装置を含む噴射装置を例示する回路図である。

【発明を実施するための形態】

【0043】

ここで、例示的実施形態について、いくつかの例示的実施形態を例示する添付図面を参照しながら、より完全に説明する。図面中、層および領域の厚みは、明確さのために誇張されている。図面中の類似の参照番号は類似の要素を例示する。

【0044】

本明細書中には詳細な例証的実施形態が開示されている。しかしながら、本明細書中で開示されている具体的な構造的および機能的詳細は、例示的実施形態を説明することを目的とする単なる代表にすぎない。例示的実施形態は、多くの代替的形態で具体化され得、本明細書中で明記されている例示的実施形態のみに限定されるものとみなされるべきではない。

【0045】

開示されている特定の例示的実施形態に限定する意図は全く無く、逆に例示的実施形態は、適切な範囲内に入る全ての修正、等価物および変形形態を網羅するためのものである。図の説明全体を通して、類似の番号は類似の要素を意味する。

【0046】

本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態は、本開示が徹底的なものとなり、当業者に対し範囲を完全に伝えるように提供されている。本明細書中で開示されている技術の実装を徹底的に理解できるようにするために、具体的コンポーネント、装置および方法の例などの多くの具体的詳細が明記されている。当業者には、具体的詳細を利用する必要性が必ずしも無いこと、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態を、多くの異なる形態で具体化できること、そのいずれも本開示の範囲を限定するものとみなされるべきでないこと、が明白になるものである。本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態において、周知のプログラム、周知の装置構造、および周知の技術は詳述されない。

【0047】

本明細書中で使用されている専門用語は、本明細書中で開示されている技術の特定の例示的実施形態を説明することのみを目的とするものであり、限定的であるようには意図されていない。本明細書中で使用されているように、文脈から明らかに別段の指示が無い限り、単数形態「ａ」、「ａｎ」および「ｔｈｅ」は複数形態も同様に含めるように意図され得る。「ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ（含む、構成する）」「ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ（含む、構成する）」、「ｉｎｃｌｕｄｅｓ（含む）」、「ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ（含む）」、「ｈａｓ（有する）」、および「ｈａｖｉｎｇ（有する）」なる用語は包含的であり、したがって表明された特徴、整数、ステップ、動作、要素および／またはコンポーネントの存在を規定するものの、１つ以上の他の特徴、整数、ステップ、動作、要素、コンポーネント、および／またはそれらの群の存在または追加を排除するものではない。本明細書中に記載の方法ステップ、プロセス、および動作は、遂行順序として具体的に識別されているのではないかぎり、論述または例示された特定の順序でのそれらの遂行を必然的に求めるものとしてみなされるべきものではない。同様に、追加のまたは代替的ステップも利用し得るということも理解すべきである。

【0048】

要素または層が別の要素または層「の上にある」、「に係合されている」、「に連結されている、または「に結合されている」ものとして言及されている場合、それは、直接他の要素または層の上にあるか、これに連結または結合されていてよく、あるいは間在する要素または層が存在してもよい。対照的に、要素が別の要素または層「の上に直接ある」、「に直接係合されている」、「に直接連結されている」、または「に直接結合されている」ものとして言及されている場合には、間在する要素または層は全く存在しないでよい。要素間の関係を説明するために使用される他の単語は、同様の形で解釈されるべきである（例えば「〜の間」対「直接〜の間」、「隣接する」対「直接隣接する」など）。本明細書中で使用される「および／または」なる用語は、結びつけられた列挙項目の１つ以上のいずれかのおよび全ての組合せを含む。

【0049】

本明細書中では、さまざまな要素、コンポーネント、領域、層および／または区分を説明するために第１、第２、第３などの用語が使用されているが、これらの要素、コンポーネント、領域、領域、層および／または区分は、これらの用語により限定されるべきではない。これらの用語は、１つの要素、コンポーネント、領域、層および／または区分を別の領域、層および／または区分から区別するためのみに使用され得る。「第１」、「第２」および他の数的用語などの用語は、本明細書中で使用される場合、文脈によって明確に指示されているのでないかぎり、シーケンスまたは順序を暗示しない。したがって、以下で論述する第１の要素、コンポーネント、領域、層または区分を、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態の教示から逸脱することなく、第２の要素、コンポーネント、領域、層または区分と呼ぶことも可能と考えられる。

【0050】

空間的に相対的な用語、例えば「内側」、「外側」、「下側」、「下方」、「下位」、「上方」、「上位」などは、本明細書中で、図中で例示されているように別の要素または特徴に対する１つの要素または特徴の関係を説明する目的での描写の容易さのために使用され得る。空間的に相対的な用語は、図中で描かれている配向に加えて使用中または動作中の装置の異なる配向を包含するように意図され得る。例えば、図中の装置が転倒されている場合、他の要素または特徴の「下方」または「下側」として説明された要素は、このとき、他の要素または特徴の「上方」に配向されていることになる。したがって、「下方」なる用語は、上方および下方の方向を両方共包含し得る。装置は他の形で配向され得（９０度回転されているかまたは他の配向にある）、本明細書中で使用される空間的に相対的な記述子は相応して解釈され得る。

【0051】

本明細書中で論述される「粘性媒体」なる用語は、はんだペースト、フラックス、接着剤、導電性接着剤、または基板上にコンポーネントを締結するために使用される任意の他の種類（タイプ）の媒体、導電性インク、抵抗ペーストなどであり得る。しかしながら、本明細書中で開示されている技術の例示的実施形態はこれらの例に限定されるべきではない。

【0052】

「基板」は、ボード（例えばプリント回路板（ＰＣＢ）および／またはフレキシブルＰＣＢ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）用の基板、チップ・スケール・パッケージ（ＣＳＰ）、クワッド・フラット・パッケージ（ＱＦＰ）、ウェーハ、フリップチップなどであり得る。

【0053】

「噴射」なる用語は、「流体濡れ」などの接触分配プロセスと対比して、噴射ノズルから基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を形成し射出するために流体ジェットを利用する非接触分配プロセスとして解釈されるべきであることも留意されなければならない。

【0054】

「気体流量」なる用語は、空気、圧縮空気、任意の好適なタイプの気体、例えば窒素、または気体タイプの他の任意の媒体の流量として解釈されるべきである。

【0055】

「堆積物」なる用語は、１つ以上の噴射液滴の結果としてワーク上の１つの位置に適用される粘性媒体の連結量を意味し得る。

【0056】

いくつかの例示的実施形態について、はんだペーストは、約４０体積％〜約６０体積％のはんだボールを含むことができ、残りの体積ははんだフラックスである。

【0057】

いくつかの例示的実施形態において、平均的サイズのはんだボールの体積パーセントは、はんだペースト内部の固相の全体積の約５％〜約４０％の範囲内にあり得る。いくつかの例示的実施形態において、はんだボールの第１の画分の平均直径は約２ミクロン〜約５ミクロンの範囲内にあり得、一方、はんだボールの第２の画分の平均直径は、約１０〜約３０ミクロンであり得る。

【0058】

「堆積物サイズ」なる用語は、堆積物がカバーすることになる基板などのワーク上の面積を意味する。液滴体積の増大は概して、結果として堆積物の高さならびに堆積物サイズの増大をもたらす。

【0059】

本出願の文脈において、「粘性媒体」なる用語は、はんだペースト、はんだフラックス、接着剤、導電性接着剤、または基板上にコンポーネントを締結するために使用される他の任意の種類の流体である媒体、導電性インク、抵抗ペーストなどとして理解されるべきであること、そして用語「噴射液滴」または「ショット」なる用語は、衝撃用装置の衝撃に応えて噴射ノズルを通って強制され基板に向かって移動する粘性媒体の一体積として理解されるべきであることに留意しなければならない。噴射液滴は同様に、衝撃用装置の衝撃によって噴射される液滴の一群をも含み得る。「堆積物」なる用語または「堆積媒体」の一体積が、１つ以上の噴射液滴の結果として基板上の１つの位置に適用される粘性媒体の連結された量を意味すること、そして「基板」なる用語は、プリント配線基板（ＰＷＤ）、プリント回路板（ＰＣＢ）、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）用の基板、チップ・スケール・パッケージ（ＣＳＰ）、クワッド・フラット・パッケージ（ＱＦＰ）、ウェーハ、フリップチップなどとして解釈されるべきであることにも留意しなければならない。

【0060】

「噴射」なる用語は、「流体濡れ」などの接触分配プロセスと比較して、噴射ノズルから基板上へ粘性媒体の液滴を形成および射出するために流体噴射を利用する非接触分配プロセスとして解釈されるべきであることも留意されなければならない。

【0061】

開示されている技術の一部の態様において、クレームによって定義された方法を行う装置はソフトウェア制御型エジェクタである。ソフトウェアは、どのように粘性媒体を特定の基板に適用するのかについての命令、または既定の噴射スケジュールまたは噴射プロセスにしたがってどのように適用するかについての命令を必要とする。これらの命令は「噴射プログラム」と呼ばれる。こうして、噴射プログラムは粘性媒体の液滴を基板上に噴射するプロセスを支援し、このプロセスは同様に、「噴射プロセス」または「印刷・プロセス」として言及される可能性がある。噴射プログラムは、噴射プロセスに先立ってオフラインで行われる前処理工程によって生成されてよい。

【0062】

こうして、噴射プログラムの生成には、独自のまたは既定の基板、または同一の基板の独自のまたは既定のセットに関する基板データを、生成プログラムにインポートするステップおよび、その基板データを基にして、基板上のどこに液滴が噴射されるべきかを定義するステップが関与する。換言すると、粘性媒体は、既定の噴射プログラムにしたがって基板上に噴射されるように配設される。

【0063】

一例として、基板に関するＣＡＤデータなどをインポートし処理するためにコンピュータプログラムが使用される。ＣＡＤデータは、例えばコンタクトパッドの位置および伸展を表すデータ、ならびに基板上に組付けられる個々のコンポーネント各々の位置、名称およびリード線を表すデータを含み得る。このプログラムは、所要体積、横方向の伸展、および／または高さを有する堆積物が各コンポーネントに具備されるように、基板上のどこに液滴を噴射すべきかを決定するために使用可能である。これは、単一の液滴のサイズおよび体積、特定のコンポーネントのニーズを満たすためにどれだけの数の液滴で十分であるか、そして基板上のどこに各々の液滴が置かれるべきであるかについての知識を必要とするプロセスである。

【0064】

全コンポーネントについての全ての液滴の構成がプログラミングされた時点で、粘性媒体の液滴を基板上に噴射するために、例えば１つ以上のエジェクタを動作させる噴射用機械によって噴射ノズルがどのように移動させられるかを説明する噴射経路テンプレートを生成することができる。複数のエジェクタが同時にまたは連続して動作し得るということが理解される。噴射経路テンプレートは噴射用機械ひいてはエジェクタに相応して動作させるために使用される噴射プログラムに移送される。噴射プログラムは、同様に、所要の堆積物を伴う基板を提供する目的で、例えばノズル空間への粘性媒体の補給を制御するため、および衝撃用装置の衝撃を制御するための噴射パラメータをも含み得る。

【0065】

噴射プログラムを生成する前処理ステップには、作業員によって行われるいくつかの手作業ステップが関与し得る。これには、例えばＣＡＤデータをインポートするステップおよび、特定のコンポーネントについてパッド上のどこに液滴を位置付けるべきかを決定するステップが関与し得る。しかしながら、この前処理をコンピュータなどによって自動的に行うこともできるということが認識される。

【0066】

本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態において、基板上に粘性媒体の１つ以上の液滴を噴射するように構成されている噴射装置は、出口を含むノズルを含むことができ、ここでこのノズルは、出口を通って１つ以上の液滴を噴射するように構成されている。噴射装置はさらに、エネルギ出力装置を含み得る。エネルギ出力装置は、出口の長手方向軸を交差するようにエネルギ量子（離散的量のエネルギおよび／または規定量のエネルギとも呼ばれる）を誘導するように構成されていてよい。エネルギ出力装置は、出口を通して噴射された粘性媒体の体積の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されていてよい。エネルギ出力装置は、ノズルからの液滴の分断を制御するために出口を通して噴射された粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されていてよい。粘性媒体のこのような一部分は、本明細書において「局部粘性媒体」と呼ばれ得る。

【0067】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は、少なくとも局部粘性媒体中へのエネルギ量子の誘導に基づいたノズルからの粘性媒体の液滴の破断を制御するように構成されている。このような制御は、エネルギが局部粘性媒体に送出される１つ以上のさまざまなメカニズムおよび／または形態に基づいて提供され得る。このようなさまざまなメカニズムは、本明細書において集合的に「強制用メカニズム」と呼ばれる可能性がある。

【0068】

以下でさらに説明する通り、エネルギ出力装置がエネルギ量子を中に誘導する「局部粘性媒体」は、粘性媒体の一液滴と噴射装置の内部に位置する粘性媒体の残余部分とを連結するフィラメントを少なくとも部分的に構成する粘性媒体の一部分であり得る。ノズルからの液滴の破断を制御するために、エネルギ出力装置は、局部粘性媒体中にエネルギ量子を送出して、フィラメント上の特定の個所においてノズルからの液滴の破断が発生するように誘発することができる。

【0069】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は、特定の量のエネルギおよび／または特定のエネルギ送出速度を含むエネルギ量子を、特定の時点でかつ特定の経過時間周期にわたって送出するように制御され得る。エネルギ量、エネルギ送出速度、エネルギ送出開始時間および／またはエネルギ送出の経過時間周期のうちの１つ以上が制御され得る。このような制御の結果、ノズルから粘性媒体の液滴が破断する方法および／または時間が制御されることになる可能性がある。

【0070】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は、少なくとも１つの音響トランスジューサを含む。音響トランスジューサは、粘性媒体導管の一部分内に位置しかつ／またはこの導管の一部分を通って流れる粘性媒体の少なくとも一部分に音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている。音響トランスジューサが発出された音響信号を介して音響波を移送するように構成されているこのような粘性媒体は、本明細書中では、音響トランスジューサとの関係において局部粘性媒体として言及され得る。

【0071】

音響トランスジューサは、音響トランスジューサによって発出される音響信号内に含まれるエネルギ量子を送出するように構成され得る。音響トランスジューサは、音響波を局部粘性媒体中に移送する音響信号を音響トランスジューサが発出したことに基づいて、粘性媒体の一部分（「局部粘性媒体」）内にエネルギ量子を送出するように構成され得る。音響信号は、少なくとも局部粘性媒体の１つ以上の部分の音響起動を誘発することができる。

【0072】

いくつかの例示的実施形態において、音響信号は、超音波信号（例えば２０，０００ヘルツ超の周波数を有する音響信号）であり、このため超音波信号を発出するように構成されている音響トランスジューサは「超音波トランスジューサ」として言及され得る。しかしながら、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、超音波信号である音響信号を生成することに限定されないということが理解される。例えば、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、２０ヘルツと２０，０００ヘルツの間の周波数を有する音響信号を生成するように構成され得る。別の例においては、本明細書中に記載の音響トランスジューサは、２０ヘルツ未満の周波数を有する音響信号（例えば超低周波信号）を生成するように構成され得、こうして、この音響トランスジューサは、超低周波トランスジューサとして言及される可能性がある。

【0073】

いくつかの例示的実施形態において、音響トランスジューサは、局部粘性媒体中に音響信号を発出することを通した、少なくとも液滴フィラメントを少なくとも部分的に構成する局部粘性媒体の音響起動に基づいて、ノズルからの粘性媒体の液滴の破断を制御することができる（ノズルからの液滴の分断の制御としても言及される）。音響信号は、少なくとも局部粘性媒体の音響起動を誘発し得る。

【0074】

局部粘性媒体の音響起動は、局部粘性媒体の少なくとも一部分のせん断減粘性を誘発し得る。例えば、粘性媒体が非ニュートン性流体を含めた分散媒中の１つ以上の粒子の懸濁液である場合、局部粘性媒体の音響起動には、分散媒のせん断減粘性を誘発するステップが含まれ得る。別の例において、粘性媒体が非ニュートン性流体を含めた均質流体である場合、局部粘性媒体の音響起動には、均質媒体のせん断減粘性を誘発するステップが含まれ得る。

【0075】

いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体が分散媒中の粒子の懸濁液であるならばおよび／またはそのときには、局部粘性媒体の音響起動は、粒子の振動分離に基づく局部粘性媒体中の体積分率の局在化した枯渇を誘発する可能性がある。言い換えると、懸濁液を含む局部粘性媒体上の音響信号の導入は、懸濁液の粒子の秩序ある移動を誘発し、直近の部分（例えば局部粘性媒体の外部にある粘性媒体の別個の部分）に比べて体積分率が低い枯渇部域を体積内に形成する可能性がある。

【0076】

局部粘性媒体の音響起動は、少なくとも部分的にフィラメントを構成する局部粘性媒体のせん断減粘性に少なくとも部分的に基づいて、液滴をノズルに連結するフィラメントの破断を誘発し得る。液滴のサイズおよび／または形状は、音響トランスジューサにより発出される音響信号内に含まれるエネルギの量およびタイミング（例えばエネルギ送出の開始時間および／または周期）のうちの少なくとも１つの制御に基づいて制御され得る。その結果として、音響トランスジューサの制御に基づいて、ノズルからの液滴の破断をより正確かつ精密に制御することができる。

【0077】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は少なくとも１つのレーザエミッタを含む。レーザエミッタは、レーザエミッタが噴射装置のノズルの出口の長手方向軸と交差するレーザビームを発出および／または誘導するように構成されるような形で噴射装置の中および／または上の一つの位置に位置していてよい。このような位置は、噴射装置の外部表面上にあり得、こうしてレーザエミッタは、噴射装置の外部表面に固定されることになる。

【0078】

レーザエミッタは、噴射装置のノズルの出口から噴射された粘性媒体の少なくとも一部分に衝突するべくレーザビームを発出および／または誘導するように構成されていてよい。レーザビームが衝突する粘性媒体の部分は、同様に、レーザエミッタとの関係において局部粘性媒体として言及され得る。

【0079】

レーザエミッタは、レーザビームの発出および／または誘導に基づいて局部粘性媒体中にレーザビーム中に含まれているエネルギ量子を送出するように構成されていてよい。レーザビームは、光子圧力（光量子圧力、放射力、放射圧力などとしても言及されている）に基づいて、局部粘性媒体中に運動量を付与することができ、こうして、レーザビームは局部粘性媒体と粘性媒体の隣接する部分との間のせん断を誘発して粘性媒体の隣接部分を局部粘性媒体から分断させることができる。レーザビームは、レーザビームから局部粘性媒体中へのエネルギ移送に基づいて、局部粘性媒体を加熱しかつ／または少なくとも部分的に蒸発させ、こうして局部粘性媒体と粘性媒体の別の隣接部分との間の破断を誘発することができる。

【0080】

いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタは、レーザビームの発生および／または誘導に基づいてレーザビーム内に含まれているエネルギ量子を局部粘性媒体中に送出するように構成され得、ここでレーザビームは局部粘性媒体の局在化された加熱を誘発することができる。局部粘性媒体の局在化された加熱は、例えば粘度の低下を含めた局部粘性媒体の１つ以上の特性の変化を誘発し得る。局部粘性媒体の１つ以上の特性のこのような局所的変化は、局部粘性媒体における粘性媒体の液滴の局所的破断を誘発し得る。いくつかの例示的実施形態において、レーザビームは、局部粘性媒体の少なくとも部分的な蒸発を誘発することなく、局部粘性媒体の局所的加熱を誘発することができる。

【0081】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置がレーザエミッタである場合、レーザエミッタは、光子圧力を通した局部粘性媒体中への運動量の付与、局部粘性媒体の局所的加熱の誘発、および局部粘性媒体の少なくとも部分的な蒸発の誘発のうちの少なくとも１つに基づいて、ノズルからの粘性媒体の液滴の破断を制御することができる（ノズルからの液滴の分断の制御としても言及される）。

【0082】

光子圧力を通した局部粘性媒体中への運動量の付与、局部粘性媒体の局所的加熱の誘発および局部粘性媒体の少なくとも部分的な蒸発の誘発のうちの１つ以上が、液滴をノズルに連結するフィラメントの破断を誘発し得る。液滴のサイズおよび／または形状は、レーザエミッタが発出するレーザビーム内に含まれるエネルギの量およびタイミング（例えばエネルギ送出の開始時間および／または周期）のうちの少なくとも１つの制御に基づいて制御可能である。その結果として、レーザエミッタの制御に基づいて、ノズルからの液滴の破断をより正確かつ精密に制御することができる。

【0083】

いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタは、１つ以上の特定の波長範囲内にある波長を有するレーザビームを発出するように構成され得る。例えば、いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタは、近赤外線および遠赤外線のうちの少なくとも１つを含む赤外線レーザビームを発出するように構成されている赤外線レーザエミッタである。

【0084】

いくつかの例示的実施形態において、局部粘性媒体上で強制用メカニズム（例えば、音響起動、光子圧力、粘性媒体蒸発、それらのいくつかの組合せなど）を利用することにより、液滴フィラメント（本明細書中では単に「フィラメント」としても言及されている）を少なくとも部分的に構成する局部粘性媒体の１つ以上の特性を調整することができる。このような特性には、粘度を含めた１つ以上のレオロジ特性が含まれ得る。

【0085】

局部粘性媒体の１つ以上の特性のこのような調整は、ノズルからの液滴の集束された破断点の誘発を結果としてもたらし得る。例えば、局部粘性媒体は、液滴の噴射（例えば液滴の形成）中に形成される粘性媒体のフィラメントを少なくとも部分的に構成することができ、こうして、粘性媒体のフィラメントが液滴をノズルに連結するようになっている。こうして、局部粘性媒体は、液滴に比べて比較的小さく集束された量の粘性媒体であり得る。局部粘性媒体に対するエネルギ量子の送出に基づく局部粘性媒体の１つ以上の特性の調整は、ノズルから液滴を破断させるためにフィラメントにおける集束された破断点を誘発することができる。

【0086】

言い換えると、局部粘性媒体に対するエネルギ量子の送出は、この局部粘性媒体が液滴フィラメントを少なくとも部分的に構成する場合、フィラメントにおける詳細な空間的液滴破断の局所化を誘発する目的ために、フィラメントに対する局所的レオロジ調整に、局所的で時間的に同期化されたレオロジ的摂動を実装させることができる。

【0087】

いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体の液滴のフィラメントにおいて空間的および時間的に明確に定義された破断点を誘発（「導入」）することによって、液滴の体積的変動に対する制御を改善すること、ならびにワーク上の液滴の位置付けの変動に対する制御（例えば噴射された液滴がワーク上で着地する具体的位置に対する制御）を改善することができる。その結果として、このような体積的変動および位置的変動を削減することができ、それによって液滴サイズの正確さおよび精密度および位置付け制御が改善される。

【0088】

さらに、明確に定義された破断点を誘発することにより、粘性媒体のサテライト液滴の数（数量）を削減することができ、こうしてワーク上の意図されていないサテライト堆積物の発生を削減することができる。本明細書中で言及されているように、サテライト液滴は、ノズルからのより大きな液滴の分断に基づいて形成され得る比較的小さい液滴を意味し得る。このようなサテライト液滴の形成は、フィラメントの非局所的分断の結果であり得る。このようなサテライト液滴は、ワーク上のさまざまな場所に着地することができ、かつ（例えばワークを横断する電気的短絡および／または橋絡の誘発を介して）ワークの性能の低下に寄与し得る。ワーク上のサテライト液滴の発生の削減は、ワークの性能および／または信頼性の改善を結果としてもたらすことができ、こうしてワーク上に噴射される液滴のフィラメント上の破断点に対する制御の改善に基づいて、サテライト液滴の存在の結果として被るエラーおよび／または損傷の可能性（例えば、サテライト堆積物を横断する電気的短絡）が削減されるため、ワークの耐用年数の改善がもたらされ得る。

【0089】

いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体の液滴のフィラメント上で空間的および時間的に明確に定義された破断点を誘発（「導入」）することによって、噴射液滴の均一性を改善することができ、こうして、形成中の各々の個別の液滴について改善された制御された分離（「破断」）点を通して、液滴の特性（例えばサイズ、形状など）の意図されない変動を削減することができる。さらに、液滴破断に対する制御の改善は、粘性媒体フィラメント内に予測可能な破断点を許容することに基づき、位置付け精度の改善、すなわちワーク上の液滴の位置付けの精度の改善という結果をもたらし得る。このような位置付け精度および液滴均一性の改善によって、堆積物を形成するために液滴が噴射されるワークの性能および／または信頼性の改善が結果としてもたらされ、こうして、ワーク上に噴射される液滴のフィラメント上の破断点に対する制御の改善に基づいて堆積物特性の意図せぬ変動（例えば準最適液滴制御に起因して意図されたものよりも大きいものである堆積物を横断する電気的短絡）の結果としてこうむるエラーおよび／または損傷の可能性が削減されることから、ワークの耐用期間の改善がもたらされる。

【0090】

さらに、音響信号および／またはレーザビームを介した、液滴フィラメントを少なくとも部分的に構成する局部粘性媒体に対するエネルギ量子の送出に基づく液滴破断の制御は、毛管効果に対する感応性が比較的低い比較的高粘度の粘性媒体の噴射液滴に対する制御の改善を可能にし、これにより毛管効果に対する感応性の低い比較的高粘度の流体についての液滴フィラメントの破断の誘発という問題に対処することができる。毛管力の利用および／または活用を通して流体フィラメントの破断を導入するフィラメント破断制御の解決法とは異なり、本明細書中で説明されるような１つ以上のエネルギ出力装置を噴射装置が含んでいるいくつかの例示的実施形態によって可能にされる液滴の破断に対する制御は、毛管力が支配的でない比較的粘性のある媒体についての液滴フィラメントの破断に対する制御を可能にする。

【0091】

いくつかの例示的実施形態において、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、このようなエネルギ出力装置が不在である噴射装置に比べて、改善された均一性および位置付け精度およびワーク上に形成される堆積物に関する精密度を提供するように構成され得る。これは、このようなエネルギ出力装置が不在である噴射装置に比べて、特定の局部粘性媒体に対するフィラメント破断の制御された空間的および時間的局所化を可能にする少なくとも１つのエネルギ出力装置に少なくとも部分的に基づくものである。その結果として、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、このようなエネルギ出力装置が不在である噴射装置と比べて、均一性および／またはサイズおよび／または位置付けの精密度が改善された液滴を噴射するように構成され得る。

【0092】

さらに、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、比較的低粘度の流体の液滴を噴射するように構成された装置に比べて、比較的高粘度の流体（例えば粘性媒体）の液滴に関して改善された均一性および位置付け精度および精密度を提供するように構成され得る。液滴の破断を誘発するための毛管力の活用が制御に含まれ得る、比較的低粘度流体の液滴の噴射を制御するためにエネルギ出力装置を使用することのできる装置とは対照的に、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、非ニュートン性流体を含めた毛管力が支配的でない比較的高粘度の流体（例えば毛管力に対する感応性の低い流体）のための液滴破断制御を可能にするように構成され得る。したがって、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、比較的低い粘度を有する流体の液滴を噴射するように構成された装置に比べて、比較的高粘度の流体の比較的均一で適切に位置付けされた液滴を噴射するように構成され得る。

【0093】

さらに、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、インク液滴を光子圧力に応じてインク表面から飛散させるように構成された１つ以上のエネルギ出力装置を含み得る噴射装置に比べて、粘性媒体の液滴に関して改善された均一性および位置付け精度および精密度を提供するように構成され得る。上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、液滴フィラメントを少なくとも部分的に構成する局部粘性媒体中にエネルギ量子を誘導することによって、光子圧力に応じてインク液滴を移動させるためにエネルギ出力装置を使用する装置と比べて、フィラメント破断および／または液滴破断の空間的および時間的局所化の制御の改善を可能にすることができる。

【0094】

上述の利点の結果として、上述のエネルギ出力装置を１つ以上含む噴射装置は、ボードを形成するためのワーク上に堆積物を形成するように構成されていてよく、ここで、この堆積物は、１つ以上のエネルギ出力装置により可能にされるように各々の液滴についてのフィラメント破断の空間的および時間的局所化に対する改善された制御に基づいて、サイズ、形態および／または位置の意図せぬ変動が削減されている（例えば均一性の改善、再現性の改善、信頼性の改善など）。したがってボードは、他の場合ではボード上の堆積物の意図せぬ変動の結果としてもたらされ得るエラー（例えば堆積物を横断する短絡）の影響を受けにくくなっている可能性がある。したがって上述の通りのエネルギ出力装置を１つ以上含む噴射装置は、１つ以上の液滴ストリップの噴射を介してワーク上に形成された堆積物を介して生成されたボードの信頼性、性能の低下および／または耐用期間の短縮という問題を少なくとも部分的に軽減しかつ／または解決することができ、ここで信頼性の低下は、噴射動作中に噴射されたさまざまな液滴を横断する液滴の破断および／またはフィラメントの破断の空間的および／または時間的変動によってひき起こされた堆積物の位置、形態および／またはサイズの意図せぬ変動に基づくものである。

【0095】

いくつかの例示的実施形態において、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、このようなエネルギ出力装置が不在である噴射装置に比べて、ワーク上に形成されつつあるサテライト液滴の発生を削減するように構成され得る。これは、エネルギ出力装置が不在である噴射装置に比べて、少なくとも１つのエネルギ出力装置が、特定の局部粘性媒体に対するフィラメント破断の制御された空間的および時間的局所化を可能にすることに少なくとも部分的に基づくものである。その結果として、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、このようなエネルギ出力装置が不在である噴射装置に比べて、サテライト液滴の形成を削減および／または防止するように構成され得る。

【0096】

さらに、上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、インク液滴を光子圧力に応じてインク表面から飛散させるように構成された１つ以上のエネルギ出力装置を含み得る噴射装置に比べて、ワーク上でのサテライト液滴の形成の発生を削減するように構成され得る。上述の通りの少なくとも１つのエネルギ出力装置を含む噴射装置は、フィラメント破断および／または液滴破断の空間的および時間的局所化の改善された制御を可能にすることによって、光子圧力に応じてインク液滴を移動させるためにエネルギ出力装置を使用する装置と比べて、破断の結果としてのサテライト液滴の形成を少なくとも部分的に軽減および／または予防するように構成され得る。

【0097】

上述の利点の結果として、上述のエネルギ出力装置を１つ以上含む噴射装置は、ボードを形成するためのワーク上に堆積物を形成するように構成されていてよく、ここで、このボードは、少なくとも１つのエネルギ出力装置により可能にされた改善された液滴の破断制御に基づいて、削減されたおよび／または阻害された数量および／または濃度の意図せぬサテライト堆積物を含む。したがって、ボードは、他の場合ではボード上の意図せぬサテライト堆積物の結果としてもたらされ得るエラー（例えば堆積物を横断する短絡）の影響を受けにくくなっている可能性がある。したがって、上述の通りのエネルギ出力装置を１つ以上含む噴射装置は、基板上の堆積物を介して生成されたボードの信頼性の低下という問題を少なくとも部分的に軽減しかつ／または解決することができ、ここで信頼性の低下は、非局所的なフィラメント破断によって引き起こされるサテライト堆積物の発生および／または形成に基づくものである。

【0098】

本明細書中で言及されているように、「フィラメント破断」、「フィラメントの破断」など、および「液滴破断」、「液滴の破断」などは、互換的に使用可能である。

【0099】

図１は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１を例示する斜視図である。

【0100】

噴射装置１は、１つ以上の堆積物を内部に有するボード２を生成（「確立」、「形成」、「提供」など）するために基板（例えばボード２）の上に粘性媒体の１つ以上の液滴を分配（「噴射」）するように構成され得る。噴射装置１により行なわれる上述の「分配」プロセスは、「噴射」として言及され得る。

【0101】

説明を容易にするため、以下では、粘性媒体は、以上で定義した代替物の１つであるはんだペーストとして言及され得る。同じ理由から、基板は本明細書において電気回路板として言及され得、気体は本明細書において、空気として言及され得る。

【0102】

図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、Ｘビーム３およびＸ−ワゴン４を含む。Ｘ−ワゴン４は、Ｘ−レール１６を介してＸ−ビーム３に連結され得、Ｘ−レール１６に沿って往復移動可能であり得る（例えば往復移動するように構成され得る）。Ｘ−ビーム３は、Ｙ−レール１７に対して往復移動可能な形で連結されてよく、こうしてＸ−ビーム３はＸ−レール１６に直交して可動である（例えば移動されるように構成されている）。Ｙ−レール１７は、噴射装置１内に剛性的に組付けられ得る。概して、上述の可動要素は、噴射装置１内に含められ得る１つ以上のリニアモータ（図示せず）の動作に基づいて移動させられるように構成され得る。

【0103】

図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、噴射装置１を通ってボード２を搬送するように構成されたコンベヤ１８、および噴射が行なわれるときにボード２を係止するための係止装置１９を含む。

【0104】

ドッキング装置８をＸ−ワゴン４に連結して、このドッキング装置８におけるアセンブリ５の解除可能な組付けを可能にすることができる。アセンブリ５はボード２を衝撃し、その上に堆積物を形成するはんだペーストの液滴を分配する、すなわち噴射するために配設されてよい。噴射装置１は同様に、視察装置７も含んでいてよい。図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、視察装置はカメラである。カメラ７は、ボード２の位置および／または回転を決定しかつ／またはボード２上の堆積物を検分することによって分配プロセスの結果を確認するために、噴射装置１の制御装置（図１には図示せず）によって使用されてよい。

【0105】

図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、流量発生器６を含む。図１に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、流量発生器６は、Ｘ−ワゴン４上に配設（「位置」、「位置付け」など）された真空エジェクタ（本明細書中では「真空ポンプ」としても言及されている）、および圧縮空気源（図示せず）である。流量発生器６ならびに圧縮空気源は、相補的な空気導管インタフェースに連結可能であり得る空気導管インタフェースを介して、ドッキング装置８と連通状態にあってよい。いくつかの例示的実施形態において、空気導管インタフェースは、図２に示されているように、ドッキング装置８の入力ニップル９を含み得る。

【0106】

当業者であれば理解するように、噴射装置１は、噴射装置１を作動させるソフトウェアを実行するように構成された制御装置（図１には明示的に示されていない）を含むことができる。このような制御装置は、命令プログラムを記憶するメモリおよび噴射動作を行なう目的で噴射装置１の１つ以上の部分を動作させかつ／または制御するための命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサを含むことができる。

【0107】

いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は以下の通りに動作するように構成されていてよい。ボード２は、このボード２を上に置くことのできるコンベヤ１８を介して噴射装置１内に補給され得る。ボード２がＸ−ワゴン４下の特定の位置に来たならばおよび／またはその時点で、係止用装置１９を用いてこのボード２を固定することができる。カメラ７を用いて、基準マーカを位置特定することができ、このマーカはボード２の表面上に予め配設され、ボードの精確な位置を決定するために使用される。次に、特定のパターン（または代替的には既定のパターンまたは予めプログラミングされたパターンなど）にしたがってボード２上でＸ−ワゴンを移動させ、既定の場所で噴射アセンブリ５を動作させることによって、ボード２上で所望の場所においてはんだペーストが適用される。このような動作は、噴射装置１の１つ以上の部分を制御する制御装置（例えばカメラ７により捕捉された画像の処理を介して基準マーカを位置特定すること、特定のパターンにしたがってボード２全体にわたりＸ−ワゴンを移動させるようにモータを制御すること、噴射アセンブリ５を動作させることなど）によって少なくとも部分的に実装され得る。

【0108】

図２は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係るドッキング装置８および噴射アセンブリ５を例示する概略図である。図３は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射アセンブリ５を例示する概略図である。ドッキング装置８および噴射アセンブリ５は、図１に例示されている噴射装置１を含む噴射装置１の１つ以上の例示的実施形態の中に内含され得る。

【0109】

図２〜３に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射アセンブリ５は、ドッキング装置８のアセンブリ支持体１０に対して噴射アセンブリ５を連結するように構成されたアセンブリホルダ１１を含む。さらに、いくつかの例示的実施形態において、噴射アセンブリ５は、はんだペーストの供給物を提供するように構成された供給物コンテナ１２、およびアセンブリハウジング１５を含むことができる。噴射アセンブリ５は、ドッキング装置８の出口４１を含む相補的空気圧式インタフェースと機密係合状態で接合するために位置付けされた、入口４２を含む空気圧式インタフェースを介して、流量発生器６および加圧空気源に連結されていてよい。

【0110】

図４は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る噴射装置１の一部分の断面図である。

【0111】

ここで図４を参照して、アセンブリハウジング内に取囲まれた装置の内容および機能についてさらに詳細に説明する。図４に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、アセンブリハウジング１５内でアクチュエータを支持するためのアクチュエータ止めねじ、およびアクチュエータ２１を形成する（「少なくとも部分的に構成する」）ように共に積み重ねられた一定数（数量）の薄い圧電素子によって形成された（例えば「それを少なくとも部分的に構成する」）圧電アクチュエータ２１（本明細書中では単に「アクチュエータ２１」としても言及されている）を含むことができる。アクチュエータ２１は、止めねじに対し剛性連結されていてよい。

【0112】

図４に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、アセンブリハウジング１５に対して剛性連結されたブッシング２５、およびアクチュエータ２１の端部に対して剛性連結されたプランジャ２３をさらに含み、止めねじの位置とは反対側にあってよい。プランジャ２３は、ブッシング２５内のボアを通って摺動可能な形で延在する一方で、軸方向に移動可能である。噴射装置１は、アセンブリハウジング１５に対してプランジャ２３との弾力的な平衡を保ちアクチュエータ２１のための予備負荷を提供するように構成されたカップスプリングを含み得る。

【0113】

いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、制御装置７００を含む。制御装置７００は、はんだパターン印刷データにしたがって、圧電アクチュエータ２１に対して間欠的に駆動電圧を印加し、これによりその間欠的な伸展ひいてはアセンブリハウジング１５との関係におけるプランジャの往復移動運動をひき起こすように構成されていてよい。このようなデータは、制御装置内に含まれているメモリの中に記憶され得る。駆動電圧は、本明細書において、「アクチュエータ制御信号」を含めた「制御信号」を含むおよび／またはこの「制御信号」内に含まれるものとして、さらに説明され得る。

【0114】

図４に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、はんだペーストの１つ以上の液滴が上に噴射され得るボード２に対して作動的に誘導されるように構成された駆出ノズル２６を含む。このノズル２６は、それを通して液滴を噴射できる噴射用オリフィス（例えば出口２７）を含み得る。出口２７を取囲みボード２に対面するノズル２６の表面（例えば図４に例示されている例示的実施形態内で噴射用オリフィスを取囲んでいるノズル２６の底部表面）は、本明細書において、噴射用出口として言及されることになる。プランジャ２３は、ピストンのボアを通って摺動可能かつ軸方向に可動な形で伸展させられるように構成されたピストン部分を含み、プランジャ２３の前記ピストン部分の端部表面は、前記ノズル２６の近くに配設されている。前記プランジャ２３の端部表面の形状、ブッシング２５および出口２７の内径によって、駆出チャンバ２８が画定される。

【0115】

プランジャ２３の端部表面の形状、ブッシング２５の内径およびノズル２６の上位表面によって画定される駆出チャンバ２８の一部分は、本明細書中では内部キャビティ４１２として言及され得る。ノズルを通って延在する導管の内側表面によって画定される駆出チャンバ２８の一部分は、本明細書中では、ノズルキャビティ４１４として言及され得る。いくつかの例示的実施形態において、ノズルキャビティ４１４は、円錐台形空間の形状に近い体積形状を有することができる。図５Ａ〜５Ｂに示されているように、ノズルキャビティ４１４は、少なくとも円錐台形空間と円筒形空間の組合せである体積形状を有し得る。しかしながら、ノズルキャビティ４１４の例示的実施形態が、図５Ａ〜５Ｂに示されているノズルキャビティ４１４の体積形状に限定されないということが理解される。

【0116】

圧電アクチュエータ２１の間欠的伸展によってひき起こされ、プランジャ２３が内部キャビティ４１２内に少なくとも部分的にまたは完全に収容されることが関与する、ノズル２６に向かうプランジャ２３の軸方向運動は、駆出チャンバ２８の体積の急速な減少、ひいては、内部キャビティ４１２から外へそしてノズルキャビティ４１４を通って出口２７までの、内部キャビティ４１２内に格納されたあらゆるはんだペーストの運動を含めた駆出チャンバ２８内に格納されたあらゆるはんだペーストの急速な加圧および出口２７を通した噴射をひき起こす。

【0117】

はんだペーストは、補給装置を介して、供給物コンテナ１２（図２参照）から駆出チャンバ２８へと供給され得る。補給装置は、本明細書中では、粘性媒体供給部４３０として言及され得る。補給装置は、１つ以上の導管を通ってノズル２６までの粘性媒体（例えば「はんだペースト」）の流量を誘発するように構成され得る。補給装置は、前記ピストンボアと導管３１を介して連通している出口までアセンブリハウジング１５を通って延在する管状ボア内に部分的に具備されたモータシャフトを有するモータ（図示されず、電気モータであり得る）を含むことができる。モータシャフトの一端部部分が、管状ボアの中に具備されこのボアと同軸である回転可能な送りねじを形成し得る。回転可能な送りねじの一部分は、管状ボア内でそれと同軸的に配設された弾力性あるエラストマ製のａ−リングのアレイによって取り囲まれていてよく、回転可能な送りねじのねじ山はａ−リングの最内側表面と滑り接触している。

【0118】

上述の加圧空気源（図示せず）から得られる加圧空気は、供給物コンテナ１２内に格納されたはんだペーストに圧力を加え、これにより前記はんだペーストを粘性媒体供給部４３０と連通する入口ポート３４に補給するように配設されている。

【0119】

噴射装置１の制御装置７００によりモータに提供される電気制御信号が、モータシャフトひいては回転可能な送りねじを所望の角度だけ、または所望の回転速度で回転させることができる。このとき、回転可能な送りねじのねじ山とａ−リングの内側表面との間に捕捉されたはんだペーストを、モータシャフトの回転運動にしたがって、入口ポート３４から出口ポートおよび導管３１を介してピストンボアまで移動させることができる。封止用ａ−リングが、ピストンボアおよびブッシング２５の頂部に具備され得、こうして、ピストンボアに向かって補給されたいかなるはんだペーストもピストンボアから漏出せず、場合によってプランジャ２３の動きを妨げることがないようになっている。

【0120】

このとき、導管３１およびチャネル３７を介して駆出チャンバ２８内にはんだペーストを補給することができる。図４および５Ａ〜５Ｂに示されているように、チャネル３７は、ブッシング２５を通って駆出チャンバ２８まで、駆出チャンバ２８の側壁を通って延在し得る。図４および５Ａ〜５Ｂに示されているように、チャネル３７は、導管３１と流体連通状態にある第１の端部および、駆出チャンバ２８の側壁（例えば図４および５Ａ〜５Ｂに示されている内部キャビティ４１２の側壁）を通って駆出チャンバ２８と流体連通状態にある第２の端部を有する。

【0121】

少なくとも図４に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、噴射方向に見た場合に、出口２７の下方またはその下流側に位置する支持プレートを含む。支持プレートは、貫通孔を含み、噴射液滴は、支持プレートにより妨害されたり負の影響を受けたりすることなく、この貫通孔の中を通過することができる。その結果として、孔は出口２７と同心的であり得る。

【0122】

以下でさらに説明するように、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、ノズル２６からの１つ以上の液滴の分断の改善された制御を提供するように構成されている。このような改善された制御には、改善された空間的および時間的なフィラメント破断の局所化を提供することに基づき、液滴をノズルに連結するフィラメントの破断の改善された制御を提供することが含まれ得る。その結果、噴射装置１は、この噴射装置により噴射される液滴の均一性の改善（および／または意図的でない変動の削減）、およびサテライト液滴形成の削減を提供するように構成され得る。したがって噴射装置は、均一性が改善されかつ変動および意図せぬサテライト液滴が削減された堆積物を上に有するワークを提供し、こうして性能および／または信頼性の改善と結び付けられたワークを提供するように構成され得る。

【0123】

図５Ａは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４に例示されている噴射装置１の一部分の断面図である。図５Ｂは、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る図４に例示されている噴射装置１の一部分の断面図である。

【0124】

いくつかの例示的実施形態において、駆出チャンバ２８のノズルキャビティ４１４および／または内部キャビティ４１２内に位置しかつ／またはこれらを通って流れる粘性媒体５１０の少なくとも一部を含む噴射装置１の駆出チャンバ２８内に位置する粘性媒体５１０の一部分は、プランジャ２３によってノズル２６の出口２７を通って強制され、少なくとも粘性媒体のフィラメント５２２によって、ノズル２６の外部にありノズル２６および／またはノズル２６内の粘性媒体５１０の残余分に対し連結されている液滴５２４を形成し得る。

【0125】

いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、フィラメント５２２を含む粘性媒体の少なくとも一部分に対して少なくとも１つのエネルギ量子を送出し、ノズル２６から液滴５２４を破断させるためフィラメント５２２の局所的でかつ空間的および時間的に明確に定義された破断点を誘発するように構成されているエネルギ出力装置を含む。

【0126】

まず図５Ａを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、局部粘性媒体５１６内に少なくともエネルギ量子を移送する信号５９０を発出するように構成されているエネルギ出力装置５００を含む。

【0127】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は、音響トランスジューサ、圧電材料、ヒータ素子、それらのいくつかの組合せなどのうちの１つ以上の装置を含むことができる。

【0128】

例えば、図５Ａに例示されているエネルギ出力装置５００は、音響信号を含む信号５９０を発出するように構成されている音響トランスジューサを含むことができる。音響トランスジューサは、局部粘性媒体中に音響波（本明細書中では互換的に「音響エネルギ」としても言及されている）を移送する音響信号の発出に基づいて、駆出チャンバ２８内の局部粘性媒体５１６の中にエネルギ量子を移送するように構成されていてよい。

【0129】

別の例においては、図５Ａに例示されているエネルギ出力装置５００は、駆出チャンバ２８の少なくとも一部分の流量断面積を機械的に調整するように構成された圧電材料を含むことができる。このようなエネルギ出力装置５００は、本明細書中では、圧電機械式アクチュエータおよび／または圧電アクチュエータとして互換的に言及され得る。本明細書中で言及されているように、圧電材料は、ＰＺＴとしても言及されるチタン酸ジルコン酸鉛を含む、圧電効果を示すように構成された材料を含み得る。

【0130】

圧電機械式アクチュエータを含むエネルギ出力装置５００は、電圧源（例えば電源装置）に対して電気的に結合されてよく、電気信号の受信に基づいてノズル２６の少なくとも一部分の流量断面積を機械的に調整するように構成され得る。図５Ａに示された例示的実施形態において、例えば、圧電材料（例えば圧電機械式アクチュエータ）を含むエネルギ出力装置５００は、電気信号の受信に基づいて、ノズルキャビティ４１４の流量断面積を少なくとも部分的に収縮させることができる。このような機械的調整は、機械的信号である信号５９０を発出するエネルギ出力装置５００として、言及され得る。

【0131】

いくつかの例示的実施形態において、圧電材料を含むエネルギ出力装置５００は、少なくとも部分的にノズルキャビティ４１４の周囲に延在していてよく、こうしてエネルギ出力装置５００は、エネルギ出力装置５００による電気信号の受信に基づいて、ノズルキャビティ４１４の流量断面積の半径を均一にまたは実質的に均一に（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で均一に）収縮させるように構成され得るようになっている。

【0132】

いくつかの例示的実施形態において、圧電材料を含むエネルギ出力装置５００は、電気信号「パルス」の受信に基づいて、ノズルキャビティ４１４の流量断面積を急速に収縮および拡張させるように構成され得る。結果として、エネルギ出力装置５００は、ノズルキャビティ４１４の流動面積の機械的調整（例えば収縮および拡張）を誘発する「パルス」信号５９０を発出することができる。このようなパルス調整は、機械的パルス信号である、エネルギ出力装置５００によって発出される信号５９０として言及され得る。このような機械的信号を局部粘性媒体５１６内に発出することは同様に、ノズルキャビティ４１４内の局部粘性媒体５１６の圧電機械式起動としても言及され得る。圧電機械式起動には、ノズルキャビティ４１４内での局部粘性媒体５１６の圧縮が含まれ得る。その結果いくつかの例示的実施形態において、圧電素子を含むエネルギ出力装置５００は、パルス収縮を介して局部粘性媒体５１６内に機械的エネルギを移送するためのノズルキャビティ４１４の流動面積の機械的「パルス」収縮（本明細書中では機械的「パルス」圧縮としても言及されている）を含む信号５９０を発出することができる。エネルギ出力装置５００による局部粘性媒体の圧電機械式起動には、エネルギ出力装置５００による局部粘性媒体５１６の機械的圧縮に基づく局部粘性媒体５１６内への機械的エネルギの移送が含まれ得る。局部粘性媒体５１６の圧電機械式起動（例えば圧縮）は、例えば粘度を含む局部粘性媒体５１６の１つ以上の特性の変化を誘発する可能性がある。

【0133】

いくつかの例示的実施形態において、図５Ａ中に例示されているエネルギ出力装置５００は、熱を生成するように構成されているヒータ素子を含むことができる。このようなエネルギ出力装置５００は、エネルギ出力装置における電気信号の受信に基づいて熱を生成することのできる電気抵抗素子を含むことができる。ヒータ素子を含むエネルギ出力装置５００は、熱を含む信号５９０（例えば熱信号）を発出するように構成されていてよい。このような熱信号は、熱エネルギを局部粘性媒体５１６内に移送して、それにより局部粘性媒体５１６の少なくとも局所的な加熱を誘発することができる。局部粘性媒体５１６の加熱は、例えば粘度の低下を含めた局部粘性媒体５１６の１つ以上の特性の変化を誘発し得る。いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、エネルギ出力装置５００におけるパルス電気信号の受信に基づいて、パルス信号（例えば熱エネルギパルス）として熱エネルギを含む信号５９０を発出することができる。したがって、パルス信号５９０は、熱エネルギパルスを局部粘性媒体５１６内へ移送することができ、こうして局部粘性媒体５１６の少なくとも一時的な、かつ少なくとも部分的に局所的な加熱を誘発して、さらに局部粘性媒体５１６の１つ以上の特性（例えば粘度）の少なくとも一時的な、かつ少なくとも部分的に局所的な調整を誘発することができる。

【0134】

いくつかの例示的実施形態において、図５Ａ中のエネルギ出力装置５００を含むエネルギ出力装置は、粘性媒体導管の内側表面（例えば駆出チャンバ２８の内側表面５１１）から隔離され得る。しかしながらエネルギ出力装置は、噴射装置１との関係において任意の場所に位置していてよく、ここでエネルギ出力装置は、粘性媒体導管の少なくとも一部分内の粘性媒体５１０の少なくとも一部分の中にエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号（例えば音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）を発出するように構成されているということが理解される。

【0135】

例えば、噴射装置１は、エネルギ出力装置５００が駆出チャンバ２８内の粘性媒体５１０との直接的流体連通状態から隔離されるような形で、駆出チャンバの内側表面５１１との直接接触から隔離されているエネルギ出力装置５００を含むことができる。いくつかの例示的実施形態において、このようなエネルギ出力装置５００は、噴射装置１の少なくとも一部分（例えば噴射装置のアセンブリハウジング１５の一部分）を通って伝搬して粘性媒体導管（例えば駆出チャンバ２８）に到達し、発出された信号５９０中のエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を粘性媒体導管中に位置する粘性媒体５１０（例えば駆出チャンバ２８内部の局部粘性媒体５１６）に移送する信号５９０（例えば、音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）を発出するように構成され得る。

【0136】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置は、噴射装置１の外側表面に位置し得る。例えば、図５Ａを参照すると、エネルギ出力装置５００は、噴射装置１の外側表面上の１つの場所で、ノズル２６の出口２７に近接するおよび／またはこの出口に隣接するノズル２６の外側表面（例えば外部表面５９２）（例えば駆出チャンバ２８の外側表面、ノズルキャビティ４１４の外側表面など）の上に位置設定（例えば取付け、接着など）されてよく、こうしてエネルギ出力装置５００は、粘性媒体導管内の粘性媒体５１０の少なくとも一部分（例えばノズルキャビティ４１４内の局部粘性媒体５１６）に対しエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号５９０（例えば音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）を発出するように構成されることになる。

【0137】

図５Ａに示されているように、駆出チャンバ２８の少なくとも内側表面５１１は、出口２７の長手方向軸５０２に沿ってノズル２６の出口２７から噴射装置１の内部へと延在する導管を画定している。図５Ａにさらに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、導管の内側表面５１１に位置しており、こうしてエネルギ出力装置５００は、粘性媒体５１０の少なくとも特定の部分と直接流体連通状態となるように構成されることになる。しかしながら、以上で指摘したように、いくつかの例示的実施形態においては、エネルギ出力装置５００を粘性媒体５１０と直接流体連通した状態から隔離されていてよい、ということが理解される。粘性媒体の特定の部分は、本明細書において、エネルギ出力装置５００との関係における局部粘性媒体５１６として言及され得る。図５Ａに示されているように、局部粘性媒体５１６は、フィラメント５２２の少なくとも一部分を構成する。

【0138】

図５Ａに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体供給部４３０は、ノズル２６を通り、かつ少なくとも部分的にノズル２６の出口２７を通って粘性媒体５１０の体積５２０を移動させるように制御されており、ここでこの体積５２０は、局部粘性媒体５１６である第１の部分と第２の部分５１８を含んでいる。第２の部分５１８は、出口２７を通って移動させられる体積５２０の部分であり、第１の部分は、信号５９０（例えば音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）の発出に基づいてエネルギを移送するように構成されている移送先であるノズル２６のノズルキャビティ４１４内に少なくとも部分的に位置しかつ／またはこのノズルキャビティ４１４を通って流れている局部粘性媒体５１６であり、こうして、局部粘性媒体５１６は、第２の部分５１８を噴射装置１内の粘性媒体５１０の残余分に連結し、さらに第２の部分５１８をノズル２６に連結するようになっている。

【0139】

図５Ａに示されているように、粘性媒体の体積５２０の第２の部分５１８は、粘性媒体の液滴５２４を少なくとも部分的に形成し、粘性媒体（例えば局部粘性媒体５１６）の体積５２０の第１の部分は、粘性媒体の液滴５２４をノズル２６に連結するフィラメント５２２を少なくとも部分的に形成することができる。

【0140】

図５Ａにさらに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、エネルギ出力装置５００が局部粘性媒体５１６内にエネルギ量子を送出するような形で、少なくとも部分的にフィラメント５２２を構成する局部粘性媒体５１６の中に信号５９０（例えば音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）を発出するように制御され得る。上述した通り、局部粘性媒体５１６内へのエネルギ量子の送出は、局部粘性媒体５１６内にある空間的に局所化された点におけるフィラメント５２２の破断を誘発し、こうしてノズル２６からの体積５２０の第２の部分５１８を少なくとも部分的に含む液滴５２４の精密で制御された破断を誘発することができる。さらに、エネルギ出力装置５００は局部粘性媒体５１６内へのエネルギ量子の誘導に基づいてフィラメント５２２の破断を誘発し得ることから、こうして、エネルギ出力装置５００は、空間的に局所化されている代りにまたはそれに加えて時間的にも局所化されているフィラメント５２２の破断を誘発することができる。

【0141】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、（例えば専ら、体積５２０の第２の部分５１８および噴射装置１内の粘性媒体５１０の残余分の）少なくとも体積５２０の第２の部分５１８および噴射装置１内の粘性媒体５１０の残余分との関係における局部粘性媒体５１６内に専ら信号５９０を発出するように構成されている。

【0142】

図５Ａに示されているように、エネルギ出力装置５００は、ノズルキャビティ４１４に対してエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号５９０を発出するように構成されていてよく、ここでこのノズルキャビティ４１４は、出口２７から噴射装置１の内部へと延在する粘性媒体キャビティの少なくとも一部分を構成し、こうしてエネルギ出力装置５００は、出口２７の長手方向軸５０２と交差する信号５９０を発出するように構成される。エネルギ出力装置５００は、ノズルキャビティ４１４内に位置しかつ／またはこのノズルキャビティ４１４を通って流れる少なくとも局部粘性媒体５１６に対してエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号５９０を発出するように構成されていてよく、こうしてエネルギ出力装置５００は、少なくとも局部粘性媒体５１６の起動（例えば音響起動、圧電機械式起動、熱起動、それらのいくつかの組合せなど）を誘発する信号５９０を発出するように構成されることになる。

【0143】

以上でさらに説明され図５Ａに示されているように、エネルギ出力装置５００は、局部粘性媒体５１６を少なくとも部分的に構成するフィラメント５２２の制御された破断点を誘発することができ、ここでこの破断点は、局部粘性媒体５１６における局所的で時間的に同期化されたレオロジ摂動をさらに誘発する局部粘性媒体５１６の起動の誘発に基づいて、局部粘性媒体５１６にあるように制御されている。例えば、エネルギ出力装置５００により発出される信号５９０（例えば音響信号、機械的信号、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）は、局部粘性媒体５１６の少なくとも一部分のせん断減粘性を誘発し得る。エネルギ出力装置５００は、局部粘性媒体５１６の粘度を低減させて、フィラメント５２２を局部粘性媒体５１６において分断する信号５９０を発出することができる。上述の強制用メカニズムの１つ以上は、局部粘性媒体５１６におけるフィラメント５２２の破断、ひいては液滴５２４の破断をさらに誘発し得る局部粘性媒体５１６におけるフィラメント５２２の局部希釈（例えば「ウエスト」）を誘発することができる。

【0144】

局部粘性媒体５１６におけるフィラメント５２２の制御された破断点の誘発に基づいて、エネルギ出力装置５００は、ノズル２６からのフィラメント５２２の破断点ひいては液滴５２４の破断点を誘発することができ、ここで液滴５２４は、粘性媒体の体積５２０の少なくとも第２の部分５１８を含む。

【0145】

いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、噴射装置１の１つ以上のさまざまな場所に位置してよく、こうしてエネルギ出力装置５００は、長手方向軸５０２と交差する信号５９０を発出するように構成されかつ／または粘性媒体の体積５２０の少なくとも一部分に対してエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号５９０を発出するように構成されることになる。例えば、いくつかの例示的実施形態において、エネルギ出力装置５００は、ノズル２６の外部表面５９２上に位置されていてよく、こうしてエネルギ出力装置５００は、ノズル２６の出口２７を通って移動させられる粘性媒体５１０の少なくとも一部分に対してエネルギ（例えば音響波、機械的エネルギ、熱エネルギ、それらのいくつかの組合せなど）を移送する信号５９０（例えば音響波、機械的エネルギ、熱信号、それらのいくつかの組合せなど）を発出するように構成されることになる。したがってエネルギ出力装置５００は、ノズル２６からの粘性媒体の液滴５２４の破断を制御するべくこのような粘性媒体の少なくとも一部分の中に信号５９０を発出するように構成され得る。

【0146】

次に図５Ｂを参照すると、いくつかの例示的実施形態において、噴射装置１は、レーザエミッタ５５０であるエネルギ出力装置を含むことができる。図５Ｂに示されているように、レーザエミッタ５５０は、ノズル２６の外部表面５９２に位置していてよく、こうしてレーザエミッタ５５０は、噴射装置１を通って移動させられる粘性媒体５１０の体積５２０の特定の部分に衝突するべくレーザビーム５５２を誘導するように構成されることになる。図５Ｂに示されている粘性媒体の特定の部分は、本明細書において、レーザエミッタ５５０との関係における局部粘性媒体５６６として言及され得る。

【0147】

図５Ｂに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、粘性媒体供給部４３０は、ノズル２６を通りかつ少なくとも部分的にノズル２６の出口２７を通って粘性媒体５１０の体積５２０を移動させるように制御され、ここでこの体積５２０は第１の部分と第２の部分５６８を含む。第２の部分５６８は、出口２７を通って移動させられる体積５２０の一部分であり、第１の部分は、ノズル２６の内部であり続ける部分５１７を含みかつノズル２６の外部でありノズル２６に近接している局部粘性媒体５６６として図５Ｂに示されている別の領域をさらに含む体積５２０の一部分であり、こうして粘性媒体のもう一方の部分（例えば局部粘性媒体５６６）はノズル２６の内部にある粘性媒体の部分５１７に粘性媒体の体積５２０の第２の部分５６８を連結するようになっている。したがって、粘性媒体の体積のもう一方の部分（例えば局部粘性媒体５６６）は、ノズル２６に対し粘性媒体の体積５２０の第２の部分５６８を連結する。図５Ｂに示されているように、粘性媒体の体積５２０の第２の部分５６８は、ノズル２６を通りかつ少なくとも部分的に出口２７を通った粘性媒体の体積５２０の移動に基づいて形成される粘性媒体５１０の液滴５２４を少なくとも部分的に構成することができる。

【0148】

図５Ｂに示されているように、レーザエミッタ５５０は、出口２７の長手方向軸５０２と交差するレーザビーム５５２を発出するように構成されており、こうしてレーザビーム５５２は、フィラメント５２２の特定の部分に衝突することになる。したがって、粘性媒体の特定の部分は本明細書中では、レーザエミッタ５５０との関係における局部粘性媒体５６６として言及され得る。

【0149】

いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタ５５０は、体積５２０の少なくとも第２の部分５６８、（例えば専ら、体積５２０の第２の部分５６８、粘性媒体の部分５１７および噴射装置１の粘性媒体５１０の残余分の）粘性媒体の部分５１７および噴射装置１内の粘性媒体５１０の残余分との関係における局部粘性媒体５６６内に専らレーザビーム５５２を誘導するように構成される。

【0150】

図５Ｂに示されているように、粘性媒体の体積５２０の第２の部分５６８は粘性媒体の液滴５２４を少なくとも部分的に形成することができ、局部粘性媒体５６６を含めた粘性媒体の体積５２０の第１の部分は、液滴５２４をノズル２６に連結するフィラメント５２２を少なくとも部分的に形成することができる。

【0151】

図５Ｂにさらに示されている通り、いくつかの例示的実施形態において、フィラメント５２２は、少なくとも部分的に局部粘性媒体５６６によって構成され、したがってレーザエミッタ５５０は、フィラメント５２２の特定の制限された部分に衝突するレーザビーム５５２を発出するように構成されることになる。レーザエミッタ５５０は、フィラメント５２２を少なくとも部分的に構成する局部粘性媒体５６６の中にレーザビーム５５２を発出するように制御され得、こうしてレーザエミッタ５５０は、局部粘性媒体５６６の中にエネルギ量子を送出することになる。上述の通り、局部粘性媒体５６６の中へのエネルギ量子の送出は、局部粘性媒体５６６においてフィラメント５２２の空間的および時間的に局所化された破断を誘発し、これにより、ノズル２６からの液滴５２４の精確で制御された破断を誘発することができる。

【0152】

以上でさらに説明された通り、レーザエミッタ５５０は、局部粘性媒体５６６を少なくとも部分的に構成するフィラメント５２２の制御された破断点を誘発することができ、ここでこの破断点は、（局部粘性媒体５６６と第２の部分５６８および部分５１７の間にせん断を誘発して局部粘性媒体５６６を部分５１７および第２の部分５６８のうちの少なくとも１つから分断させるために）レーザビーム５５２によって送出された光子圧力を通して局部粘性媒体５６６内に運動量を付与すること、（誘発された加熱によってひき起こされる粘度の変化などの局部粘性媒体５６６の特性の変化に基づいて部分５１７および第２の部分５６８のうちの少なくとも１つから局部粘性媒体５６６を分断させるために）局部粘性媒体の少なくとも部分的な蒸発を誘発することなくレーザビーム５５２により局部粘性媒体５６６を加熱すること（例えば局部粘性媒体５６６の局所的加熱を誘発すること）、および（局部粘性媒体５６６を部分５１７および第２の部分５６８のうちの少なくとも１つから分断させるために）局部粘性媒体５６６の少なくとも部分的な蒸発を誘発するべくレーザビーム５５２により局部粘性媒体５６６を加熱すること、のうちの少なくとも１つに基づいて、局部粘性媒体５６６に来るように制御される。上述の強制用メカニズムの１つ以上は、局部粘性媒体５６６におけるフィラメント５２２の破断、ひいては液滴５２４の破断をさらに誘発し得る局部粘性媒体５６６におけるフィラメント５２２の局部希釈（例えば「ウエスト」）を誘発することができる。

【0153】

局部粘性媒体５６６におけるフィラメント５２２の制御された破断点の誘発に基づいて、レーザエミッタ５５０は、空間的および時間的に局所化されたフィラメント５２２の破断ひいてはノズル２６からの液滴５２４の破断を誘発することができ、ここで液滴５２４は粘性媒体の体積５２０の少なくとも第２の部分５６８を含む。

【0154】

いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタ５５０は、噴射装置１において１つ以上のさまざまな場所に位置していてよく、こうしてレーザエミッタ５５０は長手方向軸５０２と交差する音響信号を発出するように構成されかつ／または粘性媒体５１０の少なくとも局部粘性媒体に衝突するべくレーザビーム５５２を誘導するように構成されることになる。例えば、いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタ５５０は、図５Ａに関連して以上で説明したように、ノズル２６のノズルキャビティ４１４の内側表面５１１に位置していてよく、こうしてレーザエミッタ５５０は、ノズル２６の出口２７を通って移動させられる粘性媒体５１０の少なくとも一部分と直接流体連通状態にあるように構成されることになる。したがって、レーザエミッタ５５０は、ノズル２６からの粘性媒体の液滴５２４の破断を制御するべく、このような粘性媒体の少なくとも一部分の中に直接レーザビーム５５２を発出するように構成され得る。図５Ｂに示されているように、いくつかの例示的実施形態において、レーザエミッタ５５０は、粘性媒体５１０との直接流体連通状態から隔離されてよく、粘性媒体の少なくとも一部分に向かってレーザビーム５５２を発出するように構成されている。

【0155】

図６は、噴射装置１の少なくともいくつかの要素に本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る少なくとも１つの動作を行なわせるために、噴射装置１の少なくともいくつかの要素に対して経時的に伝送される制御信号を示すタイミング図である。

【0156】

図６に示されているように、エネルギ出力装置は、噴射動作中の少なくとも１つの特定の制限された時間周期にわたりノズル２６からの液滴の分断を制御する目的で、ノズル２６の出口２７を通って噴射された粘性媒体（例えば局部粘性媒体）の少なくとも一部分の中にエネルギ量子（例えば音響信号、レーザビームなど）を誘導するように制御され得る。さらに示されているように、エネルギ出力装置は、噴射装置１の１つ以上の他の要素に関して生成および／または伝送された１つ以上の制御信号に基づいて制御され得る。

【0157】

図６は、噴射動作中に噴射装置１の１つ以上の制御装置によって生成および／または伝送され得るさまざまな制御信号の大きさおよび／またはタイミングを示すタイミング図を例示する。図６に例示されているタイミング図はさらに、噴射動作中の異なる時点における、そしてアクチュエータ２１および／またはエネルギ出力装置に関して生成および／または伝送される制御信号との関係における噴射装置内の粘性媒体の少なくとも一部分のレオロジ特性の大きさをさらに示しており、ここでこの部分は、エネルギ出力装置との関係における局部粘性媒体を含んでいる。

【0158】

図示されているように、図６のタイミング図は、噴射装置内のアクチュエータ２１に伝送される制御信号６１０（「アクチュエータ制御信号」）、（それぞれ図５Ａ〜５Ｂで例示されているエネルギ出力装置５００およびレーザエミッタ５５０のうちの１つ以上を含み得る）エネルギ出力装置に伝送された制御信号６２０（「エネルギ出力装置制御信号」）、および制御信号６２０が伝送され得るエネルギ出力装置との関係における少なくとも局部粘性媒体のレオロジ特性６３０を例示している。制御信号６２０は、単一の個別エネルギ出力装置について生成および／または伝送される制御信号として例示されているが、噴射動作中噴射装置内の別個のそれぞれのエネルギ出力装置について別個にかつ／または独立して多数の制御信号が生成および／または伝送され得るということが理解される。

【0159】

なおも図６を参照すると、ライン６３０は、エネルギ出力装置との関係における少なくとも１つの局部粘性媒体の少なくとも１つのレオロジ特性の値を表わしている。例えば、ライン６３０は、局部粘性媒体の粘度の大きさを表わし得る。したがって、図６に示されているように、図６に示されている粘度を含めた局部粘性媒体の少なくとも１つのレオロジ特性を、噴射装置１のエネルギ出力装置に対する制御信号６２０の生成および／または伝送に基づいて調整することが可能である。

【0160】

図６に示されているように、いくつかの例示的実施形態において、噴射動作は、多数の信号「パルス」６１２、６１４の形で制御信号６１０を生成および／または伝送するステップを含み得る。制御信号６１０は、電圧信号であり得、このため各パルス６１２、６１４は、アクチュエータ２１と通信状態にある通信ネットワーク上および／または伝送ライン上の電圧の大きさの変化である。各々の個別の制御信号６１０のパルス６１２、６１４は、ノズル２６から個別の液滴を噴射装置１のアクチュエータ２１に噴射させることができる。本明細書中において、個別の液滴の個別の噴射は、「ショット」として言及され得る。

【0161】

図６にさらに示されているように、パルス６１２、６１４は、特定の時点において開始し、初期の大きさ６１１から特定の大きさ値６１３へと急速に増大し、一定の時間周期にわたり信号６１０の大きさ６１３を維持し、その後初期の大きさ６１１まで減少させ得る。このような時変信号６１０の大きさ挙動は、特定の時間周期についての信号６１０の大きさの開始および維持に対応しており、ここで、信号６１０は、個別の液滴の噴射をアクチュエータ２１に行なわせることと結び付けられる特定の（または代替的には既定の）大きさ６１３まで増大し、アクチュエータ２１に個別の液滴の噴射を行なわせることと結び付けられる時間周期についてこの大きさ６１３に保持される。特定の時間周期の満了時点で、パルス６１２、６１４は、中断され得、信号６１０の大きさは、一定の時間周期にわたり初期の大きさ６１１まで降下し得る。

【0162】

各パルス６１２、６１４は、生成および／または伝送された時点で、アクチュエータ２１に噴射装置のノズル２６を通して粘性媒体の一体積を移動させるように動作させることができ、こうして、粘性媒体の個別の液滴がノズル２６から噴射されることになる。したがって、図６に例示されている例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、制御信号６１０の各パルス６１２、６１４は、粘性媒体の個別の液滴の噴射を表わし得る。

【0163】

さらに図６を参照すると、制御信号６２０は、噴射動作中に噴射装置のエネルギ出力装置に対し生成および／または伝送される信号（例えば電圧信号）の大きさである。図６にさらに示されているように、制御信号６２０の１つ以上のパルス６２２、６２４が、噴射動作中にエネルギ出力装置に対して生成および／または伝送され得る。各々の個別のパルス６２２、６２４は、エネルギ出力装置に、ノズル２６の出口２７の長手方向軸と交差するように特定のエネルギ量子を誘導させかつ／またはエネルギ出力装置との関係における少なくとも１つの局部粘性媒体と衝突させることができる。エネルギ量子内に含まれるエネルギの量は、信号パルス６２２、６２４の大きさ６２３および／またはパルス６２２が維持される時間周期に基づいて、設定されかつ／または制御され得る。

【0164】

なおも図６を参照すると、ライン６３０の大きさの変動は、エネルギ出力装置により局部粘性媒体に対して誘導されるエネルギ量子に基づいた局部粘性媒体の少なくとも１つの特性の変動を例示している。図６に示されているように、信号パルス６２２の生成および／または伝送は、エネルギ出力装置に、エネルギ量子を局部粘性媒体に対して誘導させ、これにより、局部粘性媒体の１つ以上の特性６３０が調整される。

【0165】

例えば、エネルギ出力装置が、局部粘性媒体に音響波を移送する音響信号を発出する音響トランスジューサである場合、信号パルス６２２は、音響トランスジューサに、局部粘性媒体中に音響信号を誘導させ、これによってさらに、ライン６３０により示される通り局部粘性媒体の粘度が低減される可能性がある。

【0166】

図６に示されているように、信号パルス６２２が中断された場合、ライン３６０により表わされている局部粘性媒体の１つ以上の特性は、調整された状態と結び付けられた新しい値６３３から、初期状態に結び付けられた初期値６３１まで戻る可能性がある。

【0167】

なおも図６を参照すると、時点ｔ₀₀₀₀において噴射動作を開始することができ、この動作には、時点ｔ₀₁₀において制御信号６１０パルス６１２を開始するステップと、経過した特定の時間周期ｔ_1,shotにわたりこのパルスを維持するステップとが含まれ得る。噴射動作はさらに、その後時点ｔ₀₅₀において別のパルス６１４を開始するステップと、時間周期ｔ_2,shotにわたりこの信号パルス６１４を維持するステップとを含み得る。パルス６１２、６１４の特定の信号の大きさ６１３は、同じであっても異なっていてもよい。ｔ_1,shotおよびｔ_2,shotの大きさは、同じ経過時間であっても異なる経過時間であってもよい。

【0168】

さらに図６に示されているように、各信号パルス６１２、６１４は、パルスの開始時間から出発して、初期の大きさ６１１からパルスの特定の大きさ６１３までの信号６１０の大きさの急速な増加を含み、このパルスの大きさ６１３は、信号パルスの開始時間からの特定の経過時間周期まで維持され、この時点の後、信号パルスの大きさは、初期信号６１０の大きさ６１１まで低減する。例えば、信号パルス６１２は、時点ｔ₀₁₀において開始され、信号６１０の大きさは、時点ｔ₀₁₀から時点ｔ₀₂₀まで、パルス６１２と結び付けられた特定の信号の大きさ６１３（例えば特定の電圧）に至るまで急速に増大する。信号６１０は、パルス６１２が開始された時点ｔ₀₁₀から特定の時間周期ｔ_1,shotが経過した時点ｔ₀₃₀まで、特定の大きさ６１３に維持され得る。時点ｔ₀₃₀において、パルス６１２は中断され得、こうして、信号６１０の大きさは、時点ｔ₀₃₀から出発して、特定の信号の大きさ６１３から時点ｔ₀₄₀において初期の大きさ６１１に戻るまで降下することになる。その後、時点ｔ₀₅₀でパルス６１４が開始され得、こうして信号６１０の大きさは、時点ｔ０６０におけるパルス６１４と結び付けられた特定の信号の大きさ６１３まで増大することになる。パルス６１４は、時点ｔ₀₇₀においてパルス６１４と結び付けられた特定の時間周期ｔ_2,shotが経過するまで維持され得（例えば信号６１０は特定の大きさ６１３に維持される）、信号６１０の大きさは、時点ｔ₀₇₀からｔ₀₈₀の初期の大きさ６１１まで、大きさが降下する。

【0169】

いくつかの例示的実施形態において、以上で指摘した通り、各パルス６１２、６１４は、それぞれに、アクチュエータ２１に特定の量の粘性媒体をノズルを通って移動させて特定のサイズをもつ液滴を形成させる特定の大きさ６１３および時間周期ｔ_1,shotおよびｔ_2,shotを有することができる。

【0170】

なおも図６を参照すると、アクチュエータ２１に個別の液滴を噴射させるための制御信号パルスの開始から特定の時間の経過後に局部粘性媒体に対しエネルギ量子を誘導するために、エネルギ出力装置（例えば音響トランスジューサおよび／またはレーザエミッタ）を起動させる（例えば活動化させる、制御するなど）ことができる。言い換えると、ノズル２６を通して粘性媒体の一体積を移動させかつ／またはノズル２６から個別の液滴を噴射するためのアクチュエータの制御に基づいてエネルギ量子を誘導するように、エネルギ出力装置を制御することができる。

【0171】

図６に示されているように、アクチュエータ２１を制御するための信号６１０の対応するパルス６１２、６１４に基づいて、エネルギ出力装置を制御するための信号６２０の別個のパルス６２２、６２４が生成されかつ／または伝送される。さらに示されているように、各々の別個のパルス６２２、６２４は、信号６２０の初期の大きさ６２１を超える特定の信号の大きさ６２３（例えば電圧の大きさ）を有し、対応するアクチュエータの制御信号パルス６１２、６１４の開始後に特定の時間が経過した時点で開始され、特定の経過時間周期にわたり維持される。信号６２０のパルスの大きさ６２３、信号６２０のそれぞれのパルスが開始される対応する制御信号６１０のパルスの開始後の時間周期、および信号パルス６２０が維持される時間周期のうちの１つ以上が、パルス６１２、６１４によって起動されているエネルギ出力装置によって引き起こされ得る液滴フィラメントの破断を制御するために制御され得る。

【0172】

図６において、対応するアクチュエータ制御信号パルス６１２が時点ｔ₀₁₀において開始された時から特定の時間ｔ_1,drop後にパルス６２２が開始される。したがって、パルス６２２は、時点ｔ₀₂₂において開始され、時点ｔ₀₂₄で終了する。パルス６２２はさらに、パルス６２２と結び付けられた信号の大きさ６２３で、特定の経過時間周期ｔ_1,energyの間維持される。図６において、パルス６２２は、方形波信号であるが、パルス６２２は、対応する信号パルス６１２に関して示されているように、時変信号であり得る。

【0173】

図６に示されているように、パルス６２２は、時点ｔ₀₂₂から時点ｔ₀₂₄まで、エネルギ出力装置に局部粘性媒体に対しエネルギ量子を送出させる。その結果として、ライン６３０により表わされている通り、局部粘性媒体の特性は、時点ｔ₀₂₂において新規の値６３３へと変化し始め、時点ｔ₀₂₄において初期値６３１に戻り始める。図６に示されている通り、局部粘性媒体の特性の変化は非瞬間的であり得る。いくつかの例示的実施形態において、信号パルス６２２に基づくライン６３０によって表わされる通りの局部粘性媒体の特性の変化は、瞬間的であるかまたは実質的に瞬間的（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で瞬間的）であり得る。

【0174】

時点ｔ₀₂₂から時点ｔ₀₂₄までの局部粘性媒体特性（例えば温度、粘度、運動量など）の変化は、少なくとも部分的に局部粘性媒体で構成されている液滴フィラメントの破断を誘発し得る。その結果、信号パルス６２２は、ノズル２６からの信号パルス６１２により形成された液滴の制御された破断をひき起こす。パルス６２２の大きさに付加的にまたはその代替として、タイミングｔ_1,dropおよび／またはｔ_1,energyは、フィラメントの破断点を空間的および時間的に制御し、ひいてはノズルからの液滴の破断を制御するように制御され得る。

【0175】

なおも図６を参照すると、時点ｔ₀₅₀において対応するアクチュエータ制御信号パルス６１４が開始された時から特定の時間ｔ_2,drop後に、パルス６２４が開始される。したがって、パルス６２４は、時点ｔ₀₆₂において開始され、時点ｔ₀₆₄で終了する。パルス６２４はさらに、特定の経過時間周期ｔ_2,energyの間、パルス６２４と結び付けられた信号の大きさ６２３で維持される。図６において、パルス６２４は方形波信号であるが、パルス６２４は、対応する信号パルス６１４に関して示されているように、時変信号であり得る。

【0176】

図６に示されているように、パルス６２４は、時点ｔ₀₆₂から時点ｔ₀₆₄まで、エネルギ出力装置に局部粘性媒体に対しエネルギ量子を送出させる。その結果として、ライン６３０により表わされている通り、局部粘性媒体の特性は、時点ｔ₀₆₂において新規の値６３３へと変化し始め、時点ｔ₀₆₄において初期値６３１に戻り始める。図６に示されている通り、局部粘性媒体の特性の変化は非瞬間的であり得る。いくつかの例示的実施形態において、信号パルス６２４に基づくライン６３０によって表わされる通りの局部粘性媒体の特性の変化は、瞬間的であるかまたは実質的に瞬間的（例えば製造許容誤差および／または材料許容誤差内で瞬間的）であり得る。

【0177】

時点ｔ₀₆₂から時点ｔ₀₆₄までの局部粘性媒体特性（例えば温度、粘度、運動量など）の変化は、少なくとも部分的に局部粘性媒体で構成されている液滴フィラメントの破断を誘発し得る。その結果、信号パルス６２４は、ノズル２６からの信号パルス６１４により形成された液滴の制御された破断をひき起こす。パルス６２４の大きさに付加的にまたはその代替として、タイミングｔ_2,dropおよび／またはｔ_2,energyは、フィラメントの破断点を制御し、ひいてはノズルからの液滴の破断を制御するように制御され得る。

【0178】

フィラメントの破断点の制御に基づいて、ひいてはノズル２６からの液滴の破断の制御に基づいて、パルス６２２および６２４に関して図６で示されている通り、液滴のサイズおよび／または形状を含めた液滴の１つ以上の特性を制御することができる。さらに、液滴の破断の結果としてのサテライト液滴の生成（「形成」）は、パルス６２２、６２４に基づく特定の制御された空間的および時間的破断点でのフィラメント破断の発生の誘発に基づく液滴破断の誘発に基づいて削減され得る。結果として、液滴に基づきワーク（例えば回路板）上に形成された堆積物における均一性の改善および意図せぬ変動の削減を結果としてもたらし得る液滴特性の制御に加えて、サテライト液滴の形成に由来するサテライト堆積物の発生を削減することが可能となる。このような改善の結果、ワークの性能および信頼性は改善（例えば、サテライト堆積物および／または意図せぬサイズを有する堆積物が関与する電気的短絡の確率の低減）されることになる。

【0179】

図７は、本明細書中で開示されている技術のいくつかの例示的実施形態に係る制御装置７００を含む噴射装置１を例示する概略図である。図７に示されている噴射装置１は、図１〜３、図４、および図５Ａ〜５Ｂ中に例示されている噴射装置１のいずれか１つを含む、本明細書中で例示され説明されている例示的実施形態のいずれかに係る噴射装置１であってよい。

【0180】

図７を参照すると、制御装置７００は、メモリ７２０、プロセッサ７３０、通信インタフェース７５０および制御インタフェース７６０を含む。

【0181】

図７に示された例示的実施形態を含めたいくつかの例示的実施形態において、制御装置７００は、噴射装置１内に含められていてよい。いくつかの例示的実施形態において、制御装置７００は１つ以上の計算装置を含むことができる。計算装置には、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットコンピュータ、ラップトップコンピュータ、ネットブック、それらのいくつかの組合せなどが含まれ得る。

【0182】

メモリ７２０、プロセッサ７３０、通信インタフェース７５０および制御インタフェース７６０は、バス７１０を通して相互に通信することができる。

【0183】

通信インタフェース７５０は、さまざまなネットワーク通信プロトコルを用いて外部装置からデータを通信することができる。例えば通信インタフェース７５０は、制御装置７００のセンサ（図示せず）により生成されたセンサデータを外部装置に通信することができる。外部装置は、例えば画像提供サーバ、表示装置、モバイル機器、例えば携帯電話、スマートフォン、携帯情報端末（ＰＤＡ）、タブレットコンピュータおよびラップトップコンピュータ、計算装置、例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）、タブレットＰＣおよびネットブック、画像出力装置、例えばＴＶおよびスマートＴＶ、そして画像捕捉装置、例えばカメラおよびカムコーダ、を含み得る。

【0184】

プロセッサ７３０は、命令プログラムを実行し制御装置７００を制御することができる。プロセッサ７３０は、１つ以上の制御インタフェース７６０を介して噴射装置１の１つ以上の要素に制御信号を生成および／または伝送することを介して、噴射装置１の１つ以上の部分を制御するために命令プログラムを実行することができる。プロセッサ７３０により実行されるべき命令プログラムを、メモリ７２０内に記憶することが可能である。

【0185】

メモリ７２０は情報を記憶することができる。メモリ７２０は、揮発性または不揮発性メモリであってよい。メモリ７２０は、非一時的コンピュータ可読記憶媒体であり得る。メモリは、少なくとも１つのプロセッサ７３０により実行された時点で、少なくともプロセッサ７３０に、本明細書中に記載の１つ以上の方法、機能、プロセスなどを実行させるコンピュータ可読命令を記憶することができる。いくつかの例示的実施形態において、プロセッサ７３０は、メモリ７２０内に記憶されたコンピュータ可読命令の１つ以上を実行することができる。

【0186】

いくつかの例示的実施形態において、制御装置７００は、噴射装置１の要素の１つ以上に対し制御信号を伝送して、噴射動作を実行および／または制御することができ、これにより１つ以上の液滴が基板に噴射され１つ以上の音響トランスジューサが１つ以上の音響信号を発出するべく制御されることになる。例えば制御装置７００は、１つ以上の命令プログラムにしたがって、１つ以上のアクチュエータ、流量発生器、音響トランスジューサ、それらのいくつかの組合せなどに対して１つ以上の制御信号セットを伝送することができる。このような命令プログラムが制御装置７００によって実装された時点で、結果として制御装置７００は、噴射装置１の１つ以上の要素に対して制御信号を生成および／または伝送して、噴射装置１に１つ以上の噴射動作を行なわせることができる。

【0187】

いくつかの例示的実施形態において、制御装置７００は、図６に例示されているタイミング図を含めた、本明細書中に例示され説明されているタイミング図のいずれかにしたがって１つ以上の制御信号セットを生成および／または伝送することができる。いくつかの例示的実施形態において、プロセッサ７３０は、メモリ７２０内に記憶された１つ以上の命令プログラムを実行して、プロセッサ７３０に、図６に例示されているタイミング図を含めた本明細書中に例示され説明されているタイミング図のいずれかにしたがって、１つ以上の制御信号セットを生成および／または伝送させることができる。

【0188】

いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース７５０は、表示パネル、タッチスクリーンインタフェース、触覚（例えば「ボタン」、「キーパッド」、「キーボード」、「マウス」、「カーソル」など）インタフェース、それらのいくつかの組合せなど１つ以上を含めたユーザインタフェースを含むことができる。情報は、通信インタフェース７５０を介して制御装置７００に提供され、メモリ７２０内に記憶され得る。このような情報には、ボード２と結び付けられた情報、ボード２に噴射されるべき粘性媒体に結び付けられた情報、粘性媒体の１つ以上の液滴と結び付けられた情報、それらのいくつかの組合せなどが含まれ得る。例えば、このような情報には、粘性媒体と結び付けられた１つ以上の特性、ボード２に噴射すべき１つ以上の液滴と結び付けられた１つ以上の特性（例えばサイズ）、それらのいくつかの組合せなどを標示する情報が含まれ得る。

【0189】

いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース７５０は、ＵＳＢおよび／またはＨＤＭＩ（登録商標）インタフェースを含むことができる。いくつかの例示的実施形態において、通信インタフェース７５０は、無線ネットワーク通信インタフェースを含むことができる。

【0190】

以上の説明は、例示および説明を目的として提供されてきた。それは網羅的であるように意図されたものではない。特定の例示的実施形態の個別の要素または特徴は、概してその特定の実施例に限定されず、該当する場合互換性があり、かつたとえ具体的に図示または説明されていなくても、選択された実施形態の中で使用可能である。これらは同様に、多くの形で変形可能である。このような変形形態は、例示的実施形態からの逸脱とみなされるべきものではなく、このような修正は全て、本明細書中に記載の例示的実施形態の範囲内に内含されるように意図されている。

【0191】

項目別実施形態
[実施形態１]
粘性媒体の液滴を噴射するように構成されたソフトウェア制御式エジェクタにおいて、前記装置が、
出口を含み、前記出口を通って液滴を噴射するように構成されたノズルと；
前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置と；
命令プログラムを記憶するように構成されたメモリと；
前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するため、および
アクチュエータ制御シーケンスに基づくまたはこのシーケンスに依存する前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通して噴射された前記粘性媒体の少なくとも一部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されたエネルギ出力装置を制御して、それにより、前記ノズルからの液滴の前記分断を制御するため、
に前記命令プログラムを実行するように構成されたプロセッサと；
を含んでいる、エジェクタ。
[実施形態２]
前記エネルギ出力装置が、前記粘性媒体の前記部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分の中に音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含んでいる；
実施形態１に記載の装置。
[実施形態３]
前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
実施形態２に記載の装置。
[実施形態４]
前記ノズルが、前記出口から前記装置の内部内へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが前記導管に位置しており、前記音響トランスジューサは、前記出口まで前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態２に記載の装置。
[実施形態５]
前記エネルギ出力装置は、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の前記部分の局部加熱を誘発すること；
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の前記部分に衝突するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含んでいる、
実施形態１に記載の装置。
[実施形態６]
前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出した前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
実施形態５に記載の装置。
[実施形態７]
前記エネルギ出力装置が、圧電素子を含み、前記ノズルの流量断面積の調整に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中にエネルギ量子を誘導するように構成されている、実施形態１に記載の装置。
[実施形態８]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されている、
実施形態１に記載の装置。
[実施形態９]
液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し；かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する；
ように構成された制御装置、
をさらに含む、実施形態１に記載の装置。
[実施形態１０]
ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において、
噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと；
前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも別個の第２の部分を前記ノズルから分断させて液滴を形成するため、前記粘性媒体の前記体積の第１の部分に対してエネルギ量子を送出するようにエネルギ出力装置を制御するステップであって、ここで前記エネルギ出力装置ひいては前記ノズルからの液滴前記分断の前記タイミングを制御する前記ステップが、前記アクチュエータ制御シーケンスの前記タイミングに基づくかまたはこのタイミングに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断が制御されている、ステップと；
を含む方法。
[実施形態１１]
前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第２の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分に対して専ら送出される、
実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１２]
前記エネルギ出力装置が音響トランスジューサを含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップは、前記粘性媒体の前記第１の部分の音響起動に基づいて前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させるために、前記ノズルを通って噴射された前記粘性媒体の前記第１の部分の中に音響信号を発出するように前記音響トランスジューサを制御するステップを含んでいる、
実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１３]
前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させる前記ステップが、前記音響起動に基づいて前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分の中でせん断減粘性を誘発するステップを含む、実施形態１２に記載の方法。
[実施形態１４]
前記エネルギ出力装置がレーザエミッタを含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、
光子圧力を通して前記体積の少なくとも前記第１の部分の中に運動量を付与するステップ、
前記体積の前記第１の部分の少なくとも部分的蒸発を誘発するステップ、および
前記粘性媒体の前記第１の部分の前記部分の局部加熱を誘発するステップ、
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記体積の少なくとも前記別個の第２の部分を前記ノズルから分断させるため、前記出口を通って噴射された前記粘性媒体の少なくとも前記第１の部分に衝突するレーザビームを発出するように前記レーザエミッタを制御するステップが含まれている、
実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１５]
前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記ノズルの流量断面積を調整するように前記圧電素子を制御するステップが含まれている、実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１６]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み；
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、発熱に基づいて前記粘性媒体の少なくとも前記部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように前記ヒータ素子を制御するステップが含まれている、
実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１７]
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で、前記体積の少なくとも前記第１の部分の中に前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
実施形態１０に記載の方法。
[実施形態１８]
粘性媒体の液滴を噴射するように構成された装置において：
噴射装置のアクチュエータであって、前記噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するために既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって制御されているアクチュエータと；
出口を含むノズルであって、前記出口の長手方向軸に沿って前記出口を通って移動する前記粘性媒体の体積に基づいて、液滴を噴射するように構成されているノズルと；
前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を誘導するように構成され、こうして前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に前記エネルギ量子を誘導するように構成されるようになっているエネルギ出力装置であって、ここで前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子をいつ誘導すべきかの前記タイミングがアクチュエータ制御シーケンスに基づくかまたはこのシーケンスに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断を制御するような形で構成されている、エネルギ出力装置と；
を含む装置。
[実施形態１９]
前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差する音響信号を発出するように構成された音響トランスジューサを含む、
実施形態１８に記載の装置。
[実施形態２０]
前記ノズルが、前記出口から前記出口の前記長手方向軸に沿って前記装置の内部の中へと延在する導管を含み、
前記音響トランスジューサが、前記出口の前記長手方向軸に沿って前記導管内を通過する粘性媒体に対して音響波を移送する音響信号を発出するように構成されている、
実施形態１９に記載の装置。
[実施形態２１]
前記音響トランスジューサが、前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の音響起動に基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差する前記音響信号を発出するように構成されている；
実施形態１９に記載の装置。
[実施形態２２]
前記音響起動には、前記粘性媒体の前記部分のせん断減粘性を誘発することが含まれている、
実施形態２１に記載の装置。
[実施形態２３]
前記エネルギ出力装置が、前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されたレーザエミッタを含む、
実施形態１８に記載の装置。
[実施形態２４]
前記レーザエミッタは、
光子圧力を通して前記粘性媒体の前記体積の少なくとも一部分の中に運動量を付与すること、
前記粘性媒体の前記体積の少なくとも前記部分の少なくとも部分的蒸発を誘発すること、および
前記粘性媒体の少なくとも前記部分の局部加熱を誘発すること、
のうちの少なくとも１つに基づいて、前記ノズルからの液滴の分断を制御するために前記出口の前記長手方向軸と交差するレーザビームを発出するように構成されている、
実施形態２３に記載の装置。
[実施形態２５]
前記レーザエミッタが、前記ノズルの外部に位置しており、前記レーザエミッタは、前記出口を通って前記ノズルから退出する前記粘性媒体の一部分に衝突するべく前記レーザビームを発出するように構成されている、
実施形態２４に記載の装置。
[実施形態２６]
前記エネルギ出力装置が圧電素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する機械的信号を発出するように構成されている、実施形態１８に記載の装置。
[実施形態２７]
前記エネルギ出力装置がヒータ素子を含み、前記出口の前記長手方向軸と交差する熱信号を発出するように構成されている、実施形態１８に記載の装置。
[実施形態２８]
液滴を噴射するために前記ノズルの前記出口まで前記ノズルを通って前記粘性媒体の前記体積を移動させるべく粘性媒体供給部を制御し；かつ
前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御する；
ように構成された制御装置、
をさらに含む、実施形態１８に記載の装置。
[実施形態２９]
ノズルを通した粘性媒体の液滴の噴射を制御するための方法において、
噴射装置の噴射用出口を通して基板上に粘性媒体の一連の液滴を噴射するべく、既定のアクチュエータ制御シーケンスにしたがって噴射装置のアクチュエータを制御するステップと；
前記出口の長手方向軸に沿って前記ノズルの出口まで前記ノズルを通って前記一定の体積の前記粘性媒体を移動させるべく粘性媒体供給部を制御するステップと；
前記粘性媒体の前記体積の別個の第２の部分が前記出口を通って前記ノズルから退出した時点で、前記粘性媒体の前記体積の第１の部分の中にエネルギ量子が送出されるような形で前記出口の前記長手方向軸と交差するようにエネルギ量子を創出するべくエネルギ出力装置を制御するステップであって、ここで前記エネルギ出力装置ひいては前記ノズルからの液滴前記分断の前記タイミングを制御する前記ステップが、前記アクチュエータ制御シーケンスの前記タイミングに基づくかまたはこのタイミングに依存しており、これにより前記ノズルからの液滴の前記分断が制御されている、ステップと；
を含む方法。
[実施形態３０]
前記エネルギ量子が、前記粘性媒体の前記体積の前記別個の第２の部分とは独立して、前記粘性媒体の前記体積の前記第１の部分に対して専ら送出される、
実施形態２９に記載の方法。
[実施形態３１]
前記エネルギ出力装置を制御するステップには、前記体積を移動させるべく前記粘性媒体供給部を制御した後に特定の時間周期が経過した時点で前記出口の前記長手方向軸と交差するように前記エネルギ量子を誘導するために前記エネルギ出力装置を制御するステップが含まれている、
実施形態２９に記載の方法。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6】

【図7】

【国際調査報告】