特表2020-530875(P2020-530875A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000003

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000004

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000005

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000006

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000007

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000008

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000009

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000010

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000011

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000012

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000013

2020530875-真空チャンバ内でキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイス、真空チャンバ内のキャリア又は構成要素を保持するための保持デバイスの利用、真空チャンバ内でキャリアを操作するための装置、及び真空堆積システム 図000014