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特表2020-536385有機ラジカルを使用した炭素含有膜の表面処理
発明の名称 有機ラジカルを使用した炭素含有膜の表面処理
出願人 マットソン テクノロジー インコーポレイテッド （識別番号 502278714）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 ベイジン イータウン セミコンダクター テクノロジー カンパニー リミテッド （識別番号 520111187）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 4093 位（1件）（共同出願を含む）
公報番号 特表-2020-536385
公報発行日 2020年12月10
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-T-2020-536385
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