特表2021-507461イオンビームを制御する装置および方法

発明の名称　イオンビームを制御する装置および方法

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-507461

公報発行日　2021年2月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-507461

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