特表2021-508768化学蒸着プロセスにおける前駆体を制御するための技術

発明の名称　化学蒸着プロセスにおける前駆体を制御するための技術

出願人　ヴァリアン　セミコンダクター　イクイップメント　アソシエイツ　インコーポレイテッド　（識別番号 500239188）

　　　　特許公開件数ランキング 14556 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12424 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-508768

公報発行日　2021年3月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-508768

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