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特表2021-517905(P2021-517905A)
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特表
2021-517905
原子層蒸着用（ＡＬＤ）、化学気相蒸着用（ＣＶＤ）前駆体化合物およびこれを用いたＡＬＤ／ＣＶＤ蒸着法
書誌
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