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特表2021-520074(P2021-520074A)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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2021-520074
強誘電体材料、強誘電体材料を含むMEMSコンポーネント、第1のMEMSコンポーネントを備えるMEMSデバイス、MEMSコンポーネントを製造する方法、及びCMOS対応MEMSコンポーネントを製造する方法
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