特表2021-521337真空アーク源

発明の名称　真空アーク源

出願人　プランゼー　コンポジット　マテリアルズ　ゲーエムベーハー　（識別番号 515319954）

　　　　特許公開件数ランキング 30945 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25131 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-521337

公報発行日　2021年8月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-521337

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