特表2021-528832(P2021-528832A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2021-528832非熱プラズマを発生させるための電極構成を検査する方法、及び、このような電極構成を備え、このような方法を実行するよう構成されたプラズマ源
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