特表2021-534323(P2021-534323A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2021-534323水平方向に回転する基板ガイドを備えたコーティングシステムにおいて、均一性の高いコーティングを行うための装置及び方法
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