特開2015-122325プラズマ生成方法及びプラズマ源

発明の名称　プラズマ生成方法及びプラズマ源

出願人　エフ　イー　アイ　カンパニ　（識別番号 501233536）

　　　　特許公開件数ランキング 432 位（23件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 919 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-122325

公報発行日　2015年7月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-122325

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