【図1】本発明の基本原理の説明図

【図2】気泡検出装置のブロック図

【図3】本発明の気泡検出装置に形成する微細周期構造を示す説明図

【図4】ナノサイズの長手方向ストレート溝を射出成形で試作した樹脂筒センサ内壁面の二次元画像

【図5】ミクロンサイズの長手方向ストレート溝を成形加工した樹脂筒センサ内壁面の画像

【図6】有限要素法を用いた電場解析を行うために、気泡検出装置の断面形状を用いて作成した無限平板モデルの形状を示す図

【図7】図６に示す無限平板モデル形状を元にした電場解析結果を示す図

【図8】流速１０ｃｃ／ｍｉｎで連続流の条件における気泡の検出時間特性を示すグラフ

【図9】静電容量式気泡検出装置の気泡検出波形を示す図

【図10】流速１０ｃｃ／ｍｉｎで連続流の条件における気泡の検出限界とｔ検定のＰ値を示す図

【図11】流速１０ｃｃ／ｍｉｎで間欠流の条件における気泡の検出時間特性を示すグラフ

【図12】流速１０ｃｃ／ｍｉｎで間欠流の条件における気泡の検出限界とｔ検定のＰ値を示す図

【図13】本発明の他の実施例による気泡検出装置の構成図

【図14】微細周期構造の加速耐久試験における実証結果を示す図