特開2015-163561(P2015-163561A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-163561多孔質酸化亜鉛薄膜製造方法、この方法で成膜した多孔質酸化亜鉛薄膜およびそれを用いた多孔質酸化亜鉛機能薄膜
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