特開2015-168827スパッタリングカソード

発明の名称　スパッタリングカソード

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-168827

公報発行日　2015年9月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-168827

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2015-168827「スパッタリングカソード」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録