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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第428位 6件 (2024年:第630位 43件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第515位 4件 (2024年:第440位 63件)
(ランキング更新日:2025年1月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7623326 | 基板処理装置及びクランプ機構 | 2025年 1月28日 | |
特許 7620094 | スパッタ装置、スパッタ装置の制御方法およびスパッタ装置用制御装置 | 2025年 1月22日 | |
特許 7614143 | 成膜装置及び成膜方法 | 2025年 1月15日 | |
特許 7614356 | 窒化シリコン膜の成膜方法、成膜装置及び窒化シリコン膜 | 2025年 1月15日 |
4 件中 1-4 件を表示
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7623326 7620094 7614143 7614356
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1月30日(木) -
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2月7日(金) - 東京 港区
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2月7日(金) -
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