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株式会社アルバック

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  2026年 特許取得件数ランキング    第553位 26件 下降2025年:第545位 43件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7894716 スパッタリングターゲット機構、成膜装置、及び成膜方法 2026年 7月24日
特許 7890860 成膜装置 2026年 7月15日
特許 7890494 ガス分析装置用のイオン源並びにこれを具備するガス分析装置 2026年 7月14日
特許 7887288 基板処理装置、および、基板処理方法 2026年 7月 9日
特許 7883374 真空処理装置及び真空処理方法 2026年 7月 1日
特許 7883401 測定装置、成膜装置および膜厚測定方法 2026年 7月 1日
特許 7881304 真空処理方法及び真空処理装置 2026年 6月29日
特許 7878948 成膜方法及び弾性波デバイス 2026年 6月23日
特許 7873102 真空処理装置及び真空処理方法 2026年 6月11日
特許 7867862 真空蒸着装置用の蒸着源 2026年 6月 1日
特許 7865781 真空蒸着装置用の蒸着源 2026年 5月26日
特許 7865786 成膜方法 2026年 5月26日
特許 7865801 成膜方法 2026年 5月26日
特許 7857098 真空蒸着装置、自転角度判定方法及び被蒸着物の製造方法 2026年 5月12日
特許 7856456 真空蒸着装置用の蒸着源 2026年 5月11日

27 件中 1-15 件を表示

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7894716 7890860 7890494 7887288 7883374 7883401 7881304 7878948 7873102 7867862 7865781 7865786 7865801 7857098 7856456

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