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株式会社アルバック

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  2021年 特許取得件数ランキング    第326位 68件 下降2020年:第293位 94件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6951584 成膜方法 2021年10月20日
特許 6947569 スパッタ装置 2021年10月13日
特許 6947604 Al合金導電膜、薄膜トランジスタ及びAl合金導電膜の製造方法 2021年10月13日
特許 6947863 薄膜の形成方法 2021年10月13日
特許 6950867 リチウム薄膜の製造方法及びリチウム薄膜の製造装置 2021年10月13日
特許 6946539 ニオブ粉末、ニオブ粉末製造用部材及びこれらの製造方法並びにニオブ部材の製造方法 2021年10月 6日
特許 6942936 真空装置、吸着電源 2021年 9月29日
特許 6942937 スパッタリング装置及び薄膜製造方法 2021年 9月29日
特許 6942939 スパッタリングターゲット及びスパッタリングターゲットの製造方法 2021年 9月29日
特許 6935283 処理装置 2021年 9月15日
特許 6931572 ゲート絶縁膜の形成方法、および、ゲート絶縁膜 2021年 9月 8日
特許 6932892 三極管型電離真空計及び圧力測定方法 2021年 9月 8日
特許 6933321 測定セル及び測定装置 2021年 9月 8日
特許 6927777 成膜方法及びスパッタリング装置 2021年 9月 1日
特許 6927860 吸着力測定装置及び吸着力測定方法 2021年 9月 1日

69 件中 1-15 件を表示

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6951584 6947569 6947604 6947863 6950867 6946539 6942936 6942937 6942939 6935283 6931572 6932892 6933321 6927777 6927860

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