特開2015-176909基板吸着離脱機構、基板搬送装置及び真空装置

発明の名称　基板吸着離脱機構、基板搬送装置及び真空装置

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-176909

公報発行日　2015年10月5

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-176909

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