特開2015-191932真空処理装置およびその運転方法

発明の名称　真空処理装置およびその運転方法

出願人　株式会社日立ハイテクノロジーズ　（識別番号 501387839）

　　　　特許公開件数ランキング 185 位（60件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 60 位（131件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-191932

公報発行日　2015年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-191932

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