特開2015-233030(P2015-233030A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-233030電気−機械変換膜の製造方法、電気−機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタ、偏向ミラー、加速度センサ、HDDヘッド用微調整装置、強誘電体メモリ素子、角速度センサ、マイクロポンプ及びマイクロバルブ
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