特開 2015-233070 加工装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2015-233070(P2015-233070A)

(43)【公開日】2015年12月24日

(54)【発明の名称】加工装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20151201BHJP

   B65G 49/07 20060101ALI20151201BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20151201BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 B

   B65G49/07 F

   H01L21/304 631

【審査請求】未請求

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-119106(P2014-119106)

(22)【出願日】2014年6月9日

(71)【出願人】

【識別番号】000134051

【氏名又は名称】株式会社ディスコ

(74)【代理人】

【識別番号】100089118

【弁理士】

【氏名又は名称】酒井 宏明

(72)【発明者】

【氏名】村田 研二

(72)【発明者】

【氏名】後藤 利光

【テーマコード（参考）】

5F057

5F131

【Ｆターム（参考）】

5F057AA37

5F057BA11

5F057CA11

5F057DA11

5F057EB20

5F057FA32

5F131AA02

5F131BA52

5F131CA09

5F131CA55

5F131DA32

5F131DA33

5F131DA36

5F131DA42

5F131DA54

5F131DB13

5F131DB14

5F131DB15

5F131DB62

5F131DB76

5F131EA10

5F131EA24

5F131FA13

5F131FA37

(57)【要約】

【課題】ウェーハを挟持してチャックテーブルに搬入する場合に、ウェーハの位置を規制する規制部がウェーハの外周に衝突することを防止できる加工装置を提供する。
【解決手段】３個の規制ピン６４は、その下端が挟持部材６１に保持されたウェーハＷの外周の僅か側方に至る作用位置と、挟持部材６１に保持されたウェーハＷの上方で離間した退避位置と、に進退可能に構成され、ウェーハＷを仮置きテーブルから搬出する際は、突き当て部によって規制ピン６４が上方に退避させられるため、挟持部材６１で挟持される前のウェーハＷに規制ピン６４が衝突することを防止でき、チャックテーブル２０に搬入する際は、規制ピン６４によってウェーハＷの面方向への移動が規制される。
【選択図】図７

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハを保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持されたウェーハに加工を施す加工手段と、ウェーハを保持する保持面を有する仮置きテーブルと、ウェーハの外周を挟持して保持する少なくとも３個の挟持部材を有し前記仮置きテーブルから前記チャックテーブルまでウェーハを搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、
前記搬送手段は、
前記仮置きテーブルの前記保持面と平行方向および直交方向に移動する移動手段と、
前記移動手段に固定され、前記挟持部材を径方向に移動可能に支持する支持プレートと、
下端が前記挟持部材に保持されたウェーハの外周の僅か側方に至る作用位置と、前記挟持部材に保持されたウェーハの上方で離間した退避位置と、に進退可能に構成された３個の規制ピンと、
前記規制ピンより外周方向に張り出して前記３個の規制ピンに固定された係合部と、を備え、
前記仮置きテーブルは、
前記保持面の外周で前記搬送手段の前記係合部と対面する位置に配設され、上端が前記保持面より上方に突出する突き当て部を備え、
前記チャックテーブルにウェーハを搬入する際は、ウェーハの側方に位置付けられる前記規制ピンによって前記挟持部材から解放されたウェーハが面方向に移動するのを規制され、
前記仮置きテーブルからウェーハを搬出する際は、前記仮置きテーブルに向かって下降する前記搬送手段の前記係合部が前記仮置きテーブルの前記突き当て部に突き当たることで前記規制ピンが前記保持面に保持されたウェーハより上方の位置で停止され、前記挟持部材で挟持される前のウェーハに前記規制ピンが接触するのを防ぐことを特徴とする加工装置。

【請求項2】

前記規制ピンの下端は、前記チャックテーブルの保持面に対し、ウェーハの厚さ以下の距離離間した状態でウェーハの面方向の移動を規制することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、加工装置に関する。

【背景技術】

【0002】

研削装置等の半導体ウェーハを加工する加工装置において、ウェーハを搬送する際にウェーハの上面に接触したくない場合や、ウェーハが反ったり凹凸があったりするためにウェーハの上面をバキューム固定して搬送することができない場合、ウェーハの外周を挟持するエッジクランプ搬送という機構が利用される（特許文献１）。

【0003】

ウェーハの外周を挟持部材で挟持してチャックテーブルに搬入する際、挟持部材が外周へと離間することでウェーハは僅かに下方のチャックテーブルの保持面へとリリースされる。その際、ウェーハはフリーな状態なので、保持面に保持される前に僅かに面方向へ移動してしまうことがある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００７−２５８４５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、ウェーハが僅かに面方向へ移動してしまうことを防止するために、ウェーハの外周部に規制部を設けることが考えられる。しかしながら、ウェーハを搬送手段で挟持する際に、ウェーハの中心が挟持する前後で異なる位置だった場合、規制部とウェーハの外周が衝突してウェーハが破損してしまう恐れがある。

【0006】

そこで、本発明が解決しようとする課題は、ウェーハを挟持してチャックテーブルに搬入する場合に、ウェーハの位置を規制する規制部がウェーハの外周に衝突することを防止できる加工装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上述した課題を解決するために、本発明の加工装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持されたウェーハに加工を施す加工手段と、ウェーハを保持する保持面を有する仮置きテーブルと、ウェーハの外周を挟持して保持する少なくとも３個の挟持部材を有し前記仮置きテーブルから前記チャックテーブルまでウェーハを搬送する搬送手段と、を備えた加工装置であって、前記搬送手段は、前記仮置きテーブルの前記保持面と平行方向および直交方向に移動する移動手段と、前記移動手段に固定され、前記挟持部材を径方向に移動可能に支持する支持プレートと、下端が前記挟持部材に保持されたウェーハの外周の僅か側方に至る作用位置と、前記挟持部材に保持されたウェーハの上方で離間した退避位置と、に進退可能に構成された３個の規制ピンと、前記規制ピンより外周方向に張り出して前記３個の規制ピンに固定された係合部と、を備え、前記仮置きテーブルは、前記保持面の外周で前記搬送手段の前記係合部と対面する位置に配設され、上端が前記保持面より上方に突出する突き当て部を備え、前記チャックテーブルにウェーハを搬入する際は、ウェーハの側方に位置付けられる前記規制ピンによって前記挟持部材から解放されたウェーハが面方向に移動するのを規制され、前記仮置きテーブルからウェーハを搬出する際は、前記仮置きテーブルに向かって下降する前記搬送手段の係合部が前記仮置きテーブルの前記突き当て部に突き当たることで前記規制ピンが前記保持面に保持されたウェーハより上方の位置で停止され、前記挟持部材で挟持される前のウェーハに前記規制ピンが接触するのを防ぐことを特徴とする。

【0008】

また、前記加工装置において、前記規制ピンの下端は、前記チャックテーブルの保持面に対し、ウェーハの厚さ以下の距離離間した状態でウェーハの面方向の移動を規制することが好ましい。

【発明の効果】

【0009】

本発明の加工装置においては、ウェーハを仮置きテーブルから搬出する際は、突き当て部によって規制ピンが上方に退避させられるため、挟持部材で挟持される前のウェーハに規制ピンが衝突することを防止でき、チャックテーブルに搬入する際は、規制ピンによってウェーハの面方向への移動が規制されるため、所定の位置にウェーハを搬入することができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、実施形態に係る研削装置の構成例を示す斜視図である。

【図2】図２は、搬送手段の構成例を示す斜視図である。

【図3】図３は、搬送手段の構成を模式的に示した断面図である。

【図4】図４は、搬送手段のウェーハ搬出動作（その１）を模式的に示した断面図である。

【図5】図５は、搬送手段のウェーハ搬出動作（その２）を模式的に示した断面図である。

【図6】図６は、搬送手段のウェーハ搬入動作（その１）を模式的に示した断面図である。

【図7】図７は、搬送手段のウェーハ搬入動作（その２）を模式的に示した断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

【0012】

〔実施形態〕
実施形態に係る研削装置を図１に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る研削装置の構成例を示す斜視図である。本実施形態に係る研削装置１は加工装置として機能し、円板状のウェーハＷを保持するチャックテーブル２０と、チャックテーブル２０が配設される円板状のインデックステーブル２１と、ウェーハＷに加工を施す加工手段として機能する研削手段３０とを備える。

【0013】

円板状のインデックステーブル２１はチャックテーブル２０の径よりも大きく形成され、図示しない回転手段により装置本体２の上面に回転自在に取り付けられている。チャックテーブル２０は、インデックステーブル２１の回転により研削手段３０の研削領域に配置される。例えば、インデックステーブル２１上には、２個のチャックテーブル２０が１８０度の間隔をあけて配設される。インデックステーブル２１は、矢印Ｐ方向に回転され、各チャックテーブル２０を研削手段３０の研削領域に配置する。

【0014】

研削手段３０は、研削砥石３１ａを保持する研削ホイール３１と、研削ホイール３１を回転させるスピンドル３２と、スピンドル３２を回転駆動するためのスピンドルモータ３３とを備える。研削手段３０はスピンドル３２を回転させて、研削領域に配置されたチャックテーブル２０に保持されたウェーハＷを研削砥石３１ａにより研削加工する。

【0015】

研削手段３０は、移動手段４０により垂直方向（Ｚ軸方向）に昇降自在に装置本体２に取り付けられている。移動手段４０は、装置本体２にＺ軸方向に移動可能に取り付けられたＺ軸スライダ４１と、Ｚ軸スライダ４１に研削手段３０を固定する固定部材４２と、Ｚ軸スライダ４１に係合され、Ｚ軸スライダ４１をＺ軸方向に駆動させるボールネジ４３と、ボールネジ４３のネジ軸を回転させるモータ４４とを備える。移動手段４０は、ボールネジ４３を回転させてＺ軸スライダ４１に固定された研削手段３０をＺ軸方向に上下動させる。これにより、研削手段３０がチャックテーブル２０に対して接近及び離間するようになる。

【0016】

研削装置１は、ウェーハＷを仮置きする仮置きテーブル５０と、仮置きテーブル５０に仮置きされたウェーハＷをチャックテーブル２０に搬送する搬送手段６０とを備える。仮置きテーブル５０はインデックステーブル２１の近傍に配設され、ウェーハＷを載置する円柱状の載置台５１と、搬送手段６０が係合される３個の突き当て部５２と、載置台５１及び突き当て部５２を固定する基台５３とを備える。円柱状の載置台５１は、ウェーハＷを保持する保持面５１０を有し、その直径がウェーハＷの直径よりも小さく形成されている。これは、搬送手段６０が、載置台５１の保持面５１０に保持されたウェーハＷの外周を挟持して搬送するためである。

【0017】

突き当て部５２は、載置台５１の外周近傍に１２０度の間隔で３箇所に配設され、搬送手段６０に係合する。基台５３は矩形の平板状に形成され、装置本体２に固定されている。

【0018】

搬送手段６０はインデックステーブル２１と仮置きテーブル５０との間に配設され、ウェーハＷの外周を挟持して保持する少なくとも３個の挟持部材６１を有し、仮置きテーブル５０からチャックテーブル２０までウェーハＷを搬送する。

【0019】

搬送手段６０の近傍にはスピンナー洗浄手段７０が配設されている。搬送手段６０は、チャックテーブル２０に保持された研削加工後のウェーハＷをスピンナー洗浄手段７０に搬送する。スピンナー洗浄手段７０は、ウェーハＷの研削面及び側面に付着している研削屑を洗浄除去すると共にウェーハＷをスピン乾燥する。

【0020】

スピンナー洗浄手段７０の近傍には配置手段８０が配設されている。配置手段８０の近傍には、研削加工前のウェーハＷが収容される供給側カセット９０と、研削加工後のウェーハＷが収容される回収側カセット９１が配設されている。配置手段８０は、供給側カセット９０から研削加工前のウェーハＷを取り出して仮置きテーブル５０の載置台５１に載置する。また、配置手段８０は、スピンナー洗浄手段７０から洗浄後のウェーハＷを取り出して回収側カセット９１に収容する。

【0021】

次に、図２及び図３に基づいて搬送手段６０の構成について説明する。図２は、搬送手段の構成例を示す斜視図である。図３は、搬送手段の構成を模式的に示した断面図である。搬送手段６０は、挟持部材６１により挟持したウェーハＷを移動させる移動手段６２と、移動手段６２に固定されて挟持部材６１を径方向に移動可能に支持する支持プレート６３と、支持プレート６３に支持された挟持部材６１を駆動する駆動機構６８と、ウェーハＷが面方向に移動することを規制する３個の規制ピン６４とを備える。挟持部材６１は、凹部６１０を有しており、この凹部６１０によりウェーハＷの外周を挟み込んで保持する。

【0022】

移動手段６２は、仮置きテーブル５０における載置台５１の保持面５１０と平行方向および直交方向に移動する。例えば、移動手段６２は、Ｌ字型のアーム６２０の基端部が回動自在に装置本体２に取り付けられると共に、上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能に取り付けられている。これにより、移動手段６２は、仮置きテーブル５０の載置台５１に載置されたウェーハＷをチャックテーブル２０に移動できるようになる。

【0023】

移動手段６２に固定された支持プレート６３は円板状に形成され、径方向に開口された長穴６３２が円周方向に１２０度の間隔で３箇所形成されている。この長穴６３２には、１２０度の間隔で配設された挟持部材６１がスライド自在に嵌合されており、挟持部材６１は、駆動機構６８により駆動されて長穴６３２に沿って移動する。駆動機構６８は、エアーシリンダー６８０と、エアーシリンダー６８０に連結されたピストンロッド６８１と、ピストンロッド６８１に連結された回動プレート６８２と、アーム６８３と、アーム６８３に一端が連結されたリンク６８４とを備える。リンク６８４の他端には挟持部材６１が固定されている。

【0024】

駆動機構６８は、エアーシリンダー６８０を作動させてエアーシリンダー６８０に連結されたピストンロッド６８１を伸長又は収縮させ、ピストンロッド６８１に連結された回動プレート６８２を回動させる。回動プレート６８２の回動により、回動プレート６８２のアーム６８３と連結されたリンク６８４を介して挟持部材６１を長穴６３２に沿って移動させる。例えば、ウェーハＷを挟持する場合、駆動機構６８は、エアーシリンダー６８０に連結されたピストンロッド６８１を伸長させ、回動プレート６８２のアーム６８３と連結されたリンク６８４を介して挟持部材６１を長穴６３２に沿って支持プレート６３の中心に向かって移動させる。また、ウェーハＷを解放する場合、駆動機構６８は、エアーシリンダー６８０に連結されたピストンロッド６８１を収縮させ、回動プレート６８２のアーム６８３と連結されたリンク６８４を介して挟持部材６１を長穴６３２に沿って支持プレート６３の外周に向かって径方向に移動させる。

【0025】

搬送手段６０の３個の規制ピン６４は１２０度の間隔で配設され、Ｚ軸方向に上下動自在に支持プレート６３に挿通されている。例えば、３個の規制ピン６４は、円板状のピン固定プレート６５に円周方向に１２０度の間隔で固定されている。この例で、規制ピン６４は、ピン固定プレート６５に対して垂直になるように、規制ピン６４の長手方向における中央上部の位置が固定部材６４０によりピン固定プレート６５に固定されている。

【0026】

支持プレート６３には３本の支柱６３０が立設され、ピン固定プレート６５に設けられた３箇所の穴部６５０に当該支柱６３０が挿通されて、支柱６３０の上端に円板状の対向プレート６６がネジ６６０により固定されている。

【0027】

対向プレート６６には、円周方向に３箇所、等間隔で穴部６６１が設けられ、当該穴部６６１には、規制ピン６４の上部が挿通され、挿通された規制ピン６４の上部には拡径部６４１が固定されている。規制ピン６４は、拡径部６４１により対向プレート６６に対して抜け止めされている。また、支持プレート６３には、円周方向に３箇所、等間隔で穴部６３１が設けられ、当該穴部６３１には、規制ピン６４の下部が挿通されている。ピン固定プレート６５に固定された規制ピン６４は、対向プレート６６の穴部６６１と支持プレート６３の穴部６３１によりＺ軸方向の移動が案内されている。

【0028】

ピン固定プレート６５と対向プレート６６との間には、弾性部材６７が規制ピン６４に装着されて介在し、ピン固定プレート６５は、弾性部材６７により対向プレート６６から離間するように弾性力が加わっている。円板状のピン固定プレート６５は、規制ピン６４より外周方向に張り出して、突き当て部５２に係合する係合部６５１を有する。

【0029】

突き当て部５２は、載置台５１の保持面５１０の外周でピン固定プレート６５の係合部６５１と対面する位置に配設されており、突き当て部５２の上端が保持面５１０より上方（Ｚ軸方向）に突出している。

【0030】

次に、図４〜図７に基づいて搬送手段６０の動作について説明する。図４は、搬送手段のウェーハ搬出動作（その１）を模式的に示した断面図である。図５は、搬送手段のウェーハ搬出動作（その２）を模式的に示した断面図である。図６は、搬送手段のウェーハ搬入動作（その１）を模式的に示した断面図である。図７は、搬送手段のウェーハ搬入動作（その２）を模式的に示した断面図である。

【0031】

〔搬出動作〕
搬送手段６０がウェーハＷを仮置きテーブル５０から搬出する動作について説明する。図４に示す仮置きテーブル５０の載置台５１には、配置手段８０により供給側カセット９０から取り出されて配置された研削加工前のウェーハＷが載置されている。搬送手段６０は、載置台５１に載置されたウェーハＷを搬出する。例えば、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０の基端部を回動させて、３個の挟持部材６１が仮置きテーブル５０の載置台５１に載置されたウェーハＷの上方でウェーハＷの周囲を囲むように配置する。このとき、ピン固定プレート６５の係合部６５１は突き当て部５２の上方に位置しており、係合部６５１と突き当て部５２との間には一定の間隔を有している。３個の挟持部材６１がウェーハＷの上方で周囲を囲んだ状態で、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０を下降させて、支持プレート６３に支持された３個の挟持部材６１と、ピン固定プレート６５に固定された３個の規制ピン６４とを矢印Ｑ方向（Ｚ軸方向）に下降させる。このとき、挟持部材６１は、支持プレート６３の径方向に開口された長穴６３２において、最も外周側に位置している。

【0032】

搬送手段６０が下降すると、図５に示すように、ピン固定プレート６５の係合部６５１が突き当て部５２に当接してピン固定プレート６５の下降が停止すると共に、ピン固定プレート６５に固定された規制ピン６４の下降が停止する。一方、支持プレート６３及び対向プレート６６は、弾性部材６７を収縮させながらそのまま下降を続け、支持プレート６３に支持された３個の挟持部材６１が、載置台５１上のウェーハＷと略同じ高さまで下降する。このとき、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０の下降を停止させて、支持プレート６３及び対向プレート６６の下降を停止させる。

【0033】

規制ピン６４の下端が保持面５１０上のウェーハＷより上方の位置で停止された状態で、３個の挟持部材６１は、駆動機構６８によって支持プレート６３の中心に向かって径方向に移動して、載置台５１の保持面５１０に保持されたウェーハＷの外周を３方向から凹部６１０により挟み込んで保持する。

【0034】

このとき、３個の規制ピン６４は、挟持部材６１に挟持されたウェーハＷの上方で離間した退避位置で停止している。すなわち、各規制ピン６４は、突き当て部５２により突き当てられて下降が途中で制限されており、挟持部材６１に対して相対的に矢印Ｕ方向（Ｚ軸方向）に上昇した位置で停止している。

【0035】

これにより、載置台５１の保持面５１０に保持されたウェーハＷを挟持部材６１により挟持する際に、規制ピン６４が当該ウェーハＷより上方の位置で離間して停止しているので、挟持部材６１で挟持される前のウェーハＷに規制ピン６４の下端が接触するのを防ぐことができる。

【0036】

挟持部材６１が載置台５１上のウェーハＷを挟持すると、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０を上昇させて、挟持部材６１を支持する支持プレート６３及び対向プレート６６をＺ軸方向に上昇させる。当該上昇により、突き当て部５２に係合しているピン固定プレート６５と、対向プレート６６との間に介在する弾性部材６７が伸長すると共に、挟持部材６１で挟持されたウェーハＷと規制ピン６４の下端とが接近し、対向プレート６６が規制ピン６４の拡径部６４１に到達した時点で、各規制ピン６４の下端が、挟持部材６１で挟持されたウェーハＷの外周の僅か側方に位置する。ウェーハＷは挟持部材６１に挟持されているので、ウェーハＷの中心が位置合わせされており、ウェーハＷに対して規制ピン６４が接近しても、規制ピン６４の下端がウェーハＷに衝突することはない。

【0037】

対向プレート６６が規制ピン６４の拡径部６４１に到達後、対向プレート６６が規制ピン６４を持ち上げ、突き当て部５２に係合されたピン固定プレート６５の係合部６５１が突き当て部５２から離れる。搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０をさらに上昇させて、所定の高さに到達するとアーム６２０の基端部を回動させて、ウェーハＷをチャックテーブル２０に向けて搬出する。

【0038】

このように、仮置きテーブル５０の載置台５１からウェーハＷを搬出する際は、載置台５１の保持面５１０上のウェーハＷに向かって下降する搬送手段６０の係合部６５１が、仮置きテーブル５０の突き当て部５２に突き当たることで規制ピン６４が保持面５１０に保持されたウェーハＷより上方の位置で停止され、挟持部材６１で挟持される前のウェーハＷに規制ピン６４が接触するのを防ぐことができる。

【0039】

〔搬入動作〕
次に、搬送手段６０が、仮置きテーブル５０から搬出したウェーハＷをチャックテーブル２０に搬入する動作について説明する。搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０の基端部を回動させてチャックテーブル２０の上方に、挟持部材６１により挟持したウェーハＷを位置付ける。チャックテーブル２０の上方にウェーハＷを位置づけた後、図６に示すように、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０を下降させてチャックテーブル２０の保持面２２に挟持部材６１により挟持したウェーハＷを接近させて所定の位置で停止させる。例えば、搬送手段６０は、規制ピン６４の拡径部６４１が対向プレート６６に当接した状態で、規制ピン６４の下端が、チャックテーブル２０の保持面２２に対し、ウェーハＷの厚さ以下の距離離間した状態でアーム６２０の下降を停止させる。

【0040】

搬送手段６０の下降停止後、３個の挟持部材６１は、駆動機構６８によって支持プレート６３の外周に向かって径方向（矢印Ｖ方向）に移動して、挟持したウェーハＷをチャックテーブル２０の保持面２２に向けて解放する。例えば、挟持部材６１は、チャックテーブル２０の保持面２２から３００μｍ上方でウェーハＷを解放する。チャックテーブル２０の保持面２２に挟持部材６１が当接して保持面２２が傷つかないようにするために、所定の間隔（３００μｍ）を設けてウェーハＷを解放している。

【0041】

挟持部材６１がウェーハＷを解放するとき、３個の規制ピン６４の下端は、挟持部材６１に挟持されたウェーハＷの外周の僅か側方に至る作用位置に停止している。例えば、規制ピン６４の下端は、挟持部材６１に挟持されたウェーハＷの外周から１５０μｍ程度外側に離間して存在している。また、規制ピン６４の下端は、チャックテーブル２０の保持面２２に対し、ウェーハＷの厚さ以下の距離離間した状態であり、ウェーハＷの面方向の移動を規制する。これにより、チャックテーブル２０にウェーハＷを搬入する際は、ウェーハＷの側方に位置付けられる規制ピン６４よって挟持部材６１から解放されたウェーハＷを所定の位置に配置できる。

【0042】

規制ピン６４によりウェーハＷが面方向に移動することを規制した状態で、チャックテーブル２０は、当該ウェーハＷを吸着保持する。チャックテーブル２０によりウェーハＷが吸着保持された後、搬送手段６０は、移動手段６２のアーム６２０を上昇させ、所定の高さに到達するとアーム６２０の基端部を回動させて、挟持部材６１を仮置きテーブル５０の上方に配置し、仮置きテーブル５０の載置台５１に載置された次のウェーハＷを挟持する。

【0043】

以上のように、実施形態に係る研削装置１によれば、３個の規制ピン６４は、その下端が挟持部材６１に保持されたウェーハＷの上方で離間した退避位置と、挟持部材６１に保持されたウェーハＷの外周の僅か側方に至る作用位置と、に進退可能に構成される。これにより、ウェーハＷを仮置きテーブル５０から搬出する際は、突き当て部５２によって規制ピン６４が上方に退避させられるため、挟持部材６１で挟持される前のウェーハＷに規制ピン６４が衝突することを防止でき、チャックテーブル２０に搬入する際は、規制ピン６４によってウェーハＷの面方向への移動が規制されるため、所定の位置にウェーハＷを搬入することができる。

【0044】

また、規制ピン６４は、Ｚ軸方向に上下動することでウェーハＷの位置を規制するものであり、Ｘ軸方向やＹ軸方向に移動してウェーハＷの位置を規制するものではないので、簡単な機構で実現でき、搬送手段６０を小型化できる。

【0045】

なお、実施形態としての研削装置の他に、切削装置や研磨装置において、仮置きテーブルに載置されたウェーハをチャックテーブルに搬送する場合にも本発明は適用が可能である。

【0046】

また、搬送手段６０が３個の挟持部材６１を備える例について説明したが、これに限定されない。例えば、搬送手段は、支持プレートの周方向に等間隔に配設された４個の挟持部材を備えるようにしてもよいし、４個よりも多くの挟持部材を備えるようにしてもよい。また、搬送手段は、ウェーハの外周形状に合わせた円弧状の一対の挟持部材を備えるようにしてもよい。

【0047】

また、搬送手段６０が３個の規制ピン６４を備える例について説明したが、これに限定されない。例えば、搬送手段は、ピン固定プレートの周方向に等間隔に配設された４個の規制ピンを備えるようにしてもよいし、４個よりも多くの規制ピンを備えるようにしてもよい。また、搬送手段は、ウェーハの外周形状に合わせた円弧状の一対の規制部材を備えるようにしてもよい。

【0048】

また、仮置きテーブル５０が３個の突き当て部５２を備える例について説明したが、これに限定されない。例えば、仮置きテーブルは、載置台の周方向に等間隔に配設された４個の突き当て部を備えるようにしてもよいし、４個よりも多くの突き当て部を備えるようにしてもよい。また、仮置きテーブルは、ピン固定プレートの係合部を面で支持する一対の突き当て部を備えるようにしてもよい。

【符号の説明】

【0049】

１ 研削装置
２０ チャックテーブル
２２ 保持面
５０ 仮置きテーブル
５１ 載置台
５１０ 保持面
５２ 突き当て部
５３ 基台
６０ 搬送手段
６１ 挟持部材
６１０ 凹部
６２ 移動手段
６２０ アーム
６３ 支持プレート
６３０支柱
６４ 規制ピン
６４０ 固定部材
６４１ 拡径部
６５ ピン固定プレート
６５０ 穴部
６５１ 係合部
６６ 対向プレート
６６０ ネジ
６６１ 穴部
６７ 弾性部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】