特開2015-53293極端紫外光源装置及びチャンバ装置

発明の名称　極端紫外光源装置及びチャンバ装置

出願人　ギガフォトン株式会社　（識別番号 300073919）

　　　　特許公開件数ランキング 471 位（21件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 688 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-53293

公報発行日　2015年3月19

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-53293

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