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ギガフォトン株式会社

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7780948 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 2025年12月 5日
特許 7781162 ガスレーザ装置及び電子デバイスの製造方法 2025年12月 5日
特許 7775517 メンテナンス方法 2025年11月25日
特許 7766079 チャンバ装置、ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年11月 7日
特許 7751664 電子デバイスの製造方法、レーザ装置、及び波長シーケンス算出システム 2025年10月 8日
特許 7751082 レーザ装置、レーザ装置の波長制御方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年10月 7日
特許 7751083 レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 2025年10月 7日
特許 7744376 レーザシステム、スペクトル波形算出方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月25日
特許 7742408 レーザ加工装置、レーザ加工方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月19日
特許 7738661 レーザ加工装置、レーザ加工方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月12日
特許 7738069 光アイソレータ、紫外線レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月11日
特許 7738159 レーザ装置、スペクトル線幅の計測方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月11日
特許 7733808 訓練モデルの作成方法、レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 2025年 9月 3日
特許 7731247 極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 8月29日
特許 7730722 極端紫外光生成方法、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 8月28日

36 件中 1-15 件を表示

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7780948 7781162 7775517 7766079 7751664 7751082 7751083 7744376 7742408 7738661 7738069 7738159 7733808 7731247 7730722

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