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ギガフォトン株式会社

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  2025年 特許取得件数ランキング    第679位 21件 下降2024年:第657位 38件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7726999 紫外線レーザ装置及び電子デバイスの製造方法 2025年 8月20日
特許 7724852 波長計測装置、狭帯域化レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 8月18日
特許 7722889 EUV光生成装置、電子デバイス製造方法、及び検査方法 2025年 8月13日
特許 7714656 放電励起型レーザ装置の制御方法、放電励起型レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 7月29日
特許 7713865 極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 2025年 7月28日
特許 7714052 レーザシステム、パルスレーザ光の生成方法、及び電子デバイスの製造方法 2025年 7月28日
特許 7705692 ラインセンサの劣化評価方法、スペクトル計測装置及びコンピュータ可読媒体 2025年 7月10日
特許 7699037 EUV光生成装置、電子デバイス製造方法、及び検査方法 2025年 6月26日
特許 7697779 極端紫外光生成システム、及び電子デバイスの製造方法 2025年 6月24日
特許 7697836 ターゲット物質補給装置、極端紫外光生成装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 6月24日
特許 7697026 レーザ加工方法及びレーザ加工システム 2025年 6月23日
特許 7675183 レーザ装置、レーザ制御方法及び電子デバイスの製造方法 2025年 5月12日
特許 7665760 バイパス装置、レーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 2025年 4月21日
特許 7660598 レーザ加工方法、及びレーザ加工システム 2025年 4月11日
特許 7659435 極端紫外光反射ミラーのクリーニング方法 2025年 4月 9日

21 件中 1-15 件を表示

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7726999 7724852 7722889 7714656 7713865 7714052 7705692 7699037 7697779 7697836 7697026 7675183 7665760 7660598 7659435

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