特開2015-86449(P2015-86449A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2015-86449スパッタリングカソードの冷却機構及び該冷却機構を有するスパッタリング装置を用いた配線板用基材の製造方法
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  • 特開2015086449-スパッタリングカソードの冷却機構及び該冷却機構を有するスパッタリング装置を用いた配線板用基材の製造方法 図000004
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