特開2016-103632(P2016-103632A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-103632エネルギー吸収体ガスへの衝突共鳴エネルギー伝達によるプラズマのＶＵＶ放出の調節
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