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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7754833	一体型シールを備える冷却エッジリング	2025年10月15日
特許 7754925	フォトレジストの乾式裏面及びベベルエッジ洗浄	2025年10月15日
特許 7754960	パルス幅変調されたドーズ制御のためのシステムおよび方法	2025年10月15日
特許 7755088	マルチレベルＲＦ電力パルシングのために高周波（ＲＦ）信号発生器の自動周波数調整を行う方法およびシステム	2025年10月15日
特許 7753263	複数の生成器および位相制御を用いたイオンエネルギー送出のためのプロセス制御	2025年10月14日
特許 7753351	ＴＣＰチャンバのガスプレートを浮遊させるためのキャリアリング	2025年10月14日
特許 7752131	基板支持アセンブリのフローティングＰＣＢ設計	2025年10月 9日
特許 7752139	複数の加熱ゾーンおよび熱ボイドを使用した台座熱プロファイルの調節	2025年10月 9日
特許 7752172	プラズマ処理システム用の可動エッジリング	2025年10月 9日
特許 7749784	無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換	2025年10月 6日
特許 7748495	基板処理システムにおける基板支持体の動的温度制御	2025年10月 2日
特許 7748515	電気メッキのための幅広リップシール	2025年10月 2日
特許 7748517	ＫＨＺＲＦ発生器の動作サイクル内でＭＨＺＲＦ発生器を調節するためのシステムおよび方法	2025年10月 2日
特許 7746453	基板処理システムのための温度調節された基板支持体	2025年 9月30日
特許 7744962	熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測	2025年 9月26日

175 件中 1-15 件を表示

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7754833 7754925 7754960 7755088 7753263 7753351 7752131 7752139 7752172 7749784 7748495 7748515 7748517 7746453 7744962

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