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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7579866 高電力、高圧プロセス用の分割されたガス分配プレート 2024年11月 8日
特許 7578627 選択的不動態化のために標的蒸着を用いてフィーチャをエッチングするための方法 2024年11月 6日
特許 7578756 複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法 2024年11月 6日
特許 7577670 複数のプレナムおよびガス分配室を有する堆積ツール用のシャワーヘッド 2024年11月 5日
特許 7577115 原子層エッチングおよびイオンビームエッチングのパターニング 2024年11月 1日
特許 7575953 有機材料上に金属酸化物膜を堆積するための堆積ツールおよび方法 2024年10月30日
特許 7576040 高エッチング選択性かつ低応力のアッシャブルカーボンハードマスク 2024年10月30日
特許 7576083 プラズマビューポート 2024年10月30日
特許 7574360 3D NAND及び他の用途のためのモリブデン充填 2024年10月28日
特許 7573521 3端子メモリデバイスの自己整列垂直統合 2024年10月25日
特許 7572424 マルチステーション処理モジュールにおけるウエハ搬送のためのスピンドルアセンブリ 2024年10月23日
特許 7572528 プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム 2024年10月23日
特許 7571017 半導体製造における二相冷却 2024年10月22日
特許 7571193 低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス 2024年10月22日
特許 7569858 無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換 2024年10月18日

132 件中 1-15 件を表示

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7579866 7578627 7578756 7577670 7577115 7575953 7576040 7576083 7574360 7573521 7572424 7572528 7571017 7571193 7569858

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