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ラム リサーチ コーポレーション

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  2025年 特許取得件数ランキング    第127位 146件 上昇2024年:第216位 154件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7728778 モリブデンの原子層エッチング 2025年 8月25日
特許 7728827 テレセントリックレンズ、光ビーム折り畳みアセンブリ、またはポリゴンスキャナを有するレンズ回路を含む原子層エッチングおよび原子層堆積の処理システム 2025年 8月25日
特許 7727030 最適化された低エネルギ/高生産性の蒸着システム 2025年 8月20日
特許 7725498 アルカリ電気めっき溶液からの電気充填 2025年 8月19日
特許 7725502 静電チャックの気化冷却 2025年 8月19日
特許 7725675 半導体製造用途における摩擦攪拌接合 2025年 8月19日
特許 7724926 基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング 2025年 8月18日
特許 7724927 基板処理システム用の静電容量の変動が低減された可動エッジリング 2025年 8月18日
特許 7724227 放射状ガスカーテンおよび/または内部容積制御を備えたウエハハンドリングロボット 2025年 8月15日
特許 7721439 タングステン用モリブデンテンプレート 2025年 8月12日
特許 7720335 間欠的なよどみ流 2025年 8月 7日
特許 7720381 RF供給のためのファラデーケージを埋め込まれたセラミック製静電チャックと、操作、監視、及び制御のための関連の方法 2025年 8月 7日
特許 7719781 自動回転プリアライメントを用いたエッジリング搬送 2025年 8月 6日
特許 7719925 伸長RFストラップを有するインピーダンス整合器 2025年 8月 6日
特許 7718993 マルチゾーン台座の温度制御 2025年 8月 5日

146 件中 1-15 件を表示

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