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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7659032	複数のステーションシステムにおいてプラズマを平準化するために使用されるモジュール式レシピ制御較正（ＭＲＣＣ）装置	2025年 4月 8日
特許 7657802	消耗チャンバ部品におけるカプセル化ＲＦＩＤ	2025年 4月 7日
特許 7657145	プラズマ処理チャンバ構成要素のための表面コーティング	2025年 4月 4日
特許 7656619	ビニングを使用して低周波サイクル中に電力を増加させるシステム及び方法	2025年 4月 3日
特許 7653908	次世代リソグラフィにおいて有用なハードマスクを作製する方法	2025年 3月31日
特許 7653363	空間的に調節可能なウエハへのＲＦ結合を有する静電チャック	2025年 3月28日
特許 7652805	基板処理システムのダイレクトドライブ回路内のスイッチの保護システム	2025年 3月27日
特許 7652956	構成可能な分散インターロック－システム	2025年 3月27日
特許 7649741	３ＤＮＡＮＤ構造上の原子層堆積	2025年 3月21日
特許 7649749	側壁洗浄によるイオンビームエッチング	2025年 3月21日
特許 7646929	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2025年 3月17日
特許 7645819	プラズマ処理チャンバ構成部品のためのシーラント被膜	2025年 3月14日
特許 7645890	磁気を使用するエッチングおよびプラズマ均一性の制御	2025年 3月14日
特許 7645891	局所応力調整のためのＵＶ硬化	2025年 3月14日
特許 7644019	プラズマチャンバを洗浄するための装置	2025年 3月11日

58 件中 1-15 件を表示

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7659032 7657802 7657145 7656619 7653908 7653363 7652805 7652956 7649741 7649749 7646929 7645819 7645890 7645891 7644019

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