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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7840155	二次電子発生のために様々な平均自由行程を有する介在層または多層積層を用いる極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィ	2026年 4月 3日
特許 7840318	ウエハベベルエッジのプラズマ処理におけるアーキングの低減	2026年 4月 3日
特許 7839639	ラメラセラミック構造	2026年 4月 2日
特許 7839177	半導体処理チャンバ構成要素のためのポリマコーティング	2026年 4月 1日
特許 7837948	選択的除去帯域非高周波結合タイルならびに関連する方法およびシステム	2026年 3月31日
特許 7836484	分散型プラズマ源アレイ	2026年 3月27日
特許 7836664	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2026年 3月27日
特許 7833606	金属膜の蒸着	2026年 3月19日
特許 7829792	金属膜の蒸着	2026年 3月18日
特許 7832168	金属含有フォトレジストの現像のための金属キレート剤	2026年 3月17日
特許 7829557	フェイスレスシャワーヘッド	2026年 3月13日
特許 7828275	プラズマチャンバコンポーネントの無機コーティング	2026年 3月11日
特許 7827701	金属基複合材の半導体処理チャンバ構成部品の陽極酸化	2026年 3月10日
特許 7826298	堅牢なアッシング可能ハードマスク	2026年 3月 9日
特許 7826418	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2026年 3月 9日

48 件中 1-15 件を表示

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7840155 7840318 7839639 7839177 7837948 7836484 7836664 7833606 7829792 7832168 7829557 7828275 7827701 7826298 7826418

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