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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7785132	半導体処理ツールにおけるＲＦ電流測定	2025年12月12日
特許 7781229	半導体処理における異常プラズマ事象の検出および軽減	2025年12月 5日
特許 7778898	ＲＦ電力損失を補償するためのシステムおよび方法	2025年12月 2日
特許 7775353	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年11月25日
特許 7775354	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年11月25日
特許 7775355	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年11月25日
特許 7774604	埋め込み温度センサを備えた基板支持体のためのコネクタ	2025年11月21日
特許 7774611	被膜を形成するための方法	2025年11月21日
特許 7774091	堆積副生成物の蓄積からの真空ポンプの保護	2025年11月20日
特許 7772704	３端子垂直メモリ構造におけるチャネル層の保護	2025年11月18日
特許 7771022	金属膜の蒸着	2025年11月17日
特許 7771082	分流レスガス投与	2025年11月17日
特許 7770441	半導体基板処理におけるペデスタルへの蒸着の防止	2025年11月14日
特許 7769609	システム、方法、機械可読媒体、及び、基板処理システム	2025年11月13日
特許 7768883	半導体金属配線の高速３Ｄ金属印刷	2025年11月12日

203 件中 1-15 件を表示

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7785132 7781229 7778898 7775353 7775354 7775355 7774604 7774611 7774091 7772704 7771022 7771082 7770441 7769609 7768883

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