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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7579866 | 高電力、高圧プロセス用の分割されたガス分配プレート | 2024年11月 8日 | |
特許 7578627 | 選択的不動態化のために標的蒸着を用いてフィーチャをエッチングするための方法 | 2024年11月 6日 | |
特許 7578756 | 複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法 | 2024年11月 6日 | |
特許 7577670 | 複数のプレナムおよびガス分配室を有する堆積ツール用のシャワーヘッド | 2024年11月 5日 | |
特許 7577115 | 原子層エッチングおよびイオンビームエッチングのパターニング | 2024年11月 1日 | |
特許 7575953 | 有機材料上に金属酸化物膜を堆積するための堆積ツールおよび方法 | 2024年10月30日 | |
特許 7576040 | 高エッチング選択性かつ低応力のアッシャブルカーボンハードマスク | 2024年10月30日 | |
特許 7576083 | プラズマビューポート | 2024年10月30日 | |
特許 7574360 | 3D NAND及び他の用途のためのモリブデン充填 | 2024年10月28日 | |
特許 7573521 | 3端子メモリデバイスの自己整列垂直統合 | 2024年10月25日 | |
特許 7572424 | マルチステーション処理モジュールにおけるウエハ搬送のためのスピンドルアセンブリ | 2024年10月23日 | |
特許 7572528 | プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム | 2024年10月23日 | |
特許 7571017 | 半導体製造における二相冷却 | 2024年10月22日 | |
特許 7571193 | 低角度拡散のマルチレベルパラメータおよび周波数パルス | 2024年10月22日 | |
特許 7569858 | 無線周波数支援プラズマ生成におけるインピーダンス変換 | 2024年10月18日 |
132 件中 1-15 件を表示
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7579866 7578627 7578756 7577670 7577115 7575953 7576040 7576083 7574360 7573521 7572424 7572528 7571017 7571193 7569858
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