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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7634528	変圧器および／または変圧器結合コンバイナを含む無線周波数分配回路	2025年 2月21日
特許 7631186	プラズマベースの堆積のための表面改質深さ制御堆積	2025年 2月18日
特許 7631328	二重プレナムフラクタルシャワーヘッド	2025年 2月18日
特許 7628954	陽極酸化およびコーティングされた表面の巨視的なテクスチャ	2025年 2月12日
特許 7628167	ヒータアレイにおける故障の特定および補償	2025年 2月 7日
特許 7626628	プラズマプルーム用のフィルタ	2025年 2月 4日
特許 7626705	差圧ベースの流量計	2025年 2月 4日
特許 7626818	誘電体における高アスペクト比フィーチャのプラズマエッチング化学物質	2025年 2月 4日
特許 7626846	高温プロセスのための軸方向に冷却される金属シャワーヘッド	2025年 2月 4日
特許 7625540	マルチステーション半導体処理における独立して調整可能な流路コンダクタンス	2025年 2月 3日
特許 7625571	基板処理システム用の熱電冷却台座	2025年 2月 3日
特許 7624460	裏面処理のためのステーション可変支持フィーチャを備えたマルチステーション処理ツール	2025年 1月30日
特許 7624464	処理均一性を改善した基板支持体	2025年 1月30日
特許 7623300	基板処理システムの静電チャックの温度を監視するためのＲＦ免疫センサプローブ	2025年 1月28日
特許 7623305	基板表面の蒸気洗浄	2025年 1月28日

32 件中 1-15 件を表示

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7634528 7631186 7631328 7628954 7628167 7626628 7626705 7626818 7626846 7625540 7625571 7624460 7624464 7623300 7623305

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