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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7588078	基板の環境に敏感な表面のための犠牲保護層	2024年11月21日
特許 7583139	エッジリングの位置決めおよびセンタリング機構を組み込んだプラズマシース調整のための交換可能および／または折りたたみ式エッジリングアセンブリ	2024年11月13日
特許 7581213	金属膜の蒸着	2024年11月12日
特許 7579866	高電力、高圧プロセス用の分割されたガス分配プレート	2024年11月 8日
特許 7578627	選択的不動態化のために標的蒸着を用いてフィーチャをエッチングするための方法	2024年11月 6日
特許 7578756	複数の状態で反射電力を低減するようにチューニングするためのシステムおよび方法	2024年11月 6日
特許 7577670	複数のプレナムおよびガス分配室を有する堆積ツール用のシャワーヘッド	2024年11月 5日
特許 7577115	原子層エッチングおよびイオンビームエッチングのパターニング	2024年11月 1日
特許 7575953	有機材料上に金属酸化物膜を堆積するための堆積ツールおよび方法	2024年10月30日
特許 7576040	高エッチング選択性かつ低応力のアッシャブルカーボンハードマスク	2024年10月30日
特許 7576083	プラズマビューポート	2024年10月30日
特許 7574360	３ＤＮＡＮＤ及び他の用途のためのモリブデン充填	2024年10月28日
特許 7573521	３端子メモリデバイスの自己整列垂直統合	2024年10月25日
特許 7572424	マルチステーション処理モジュールにおけるウエハ搬送のためのスピンドルアセンブリ	2024年10月23日
特許 7572528	プラズマチャンバ内で使用するためのリング構造およびシステム	2024年10月23日

135 件中 1-15 件を表示

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7588078 7583139 7581213 7579866 7578627 7578756 7577670 7577115 7575953 7576040 7576083 7574360 7573521 7572424 7572528

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