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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7645819	プラズマ処理チャンバ構成部品のためのシーラント被膜	2025年 3月14日
特許 7645890	磁気を使用するエッチングおよびプラズマ均一性の制御	2025年 3月14日
特許 7645891	局所応力調整のためのＵＶ硬化	2025年 3月14日
特許 7644019	プラズマチャンバを洗浄するための装置	2025年 3月11日
特許 7642570	プラズマチャンバ内の基板支持部に対する光ファイバを介した電力およびデータ伝送	2025年 3月10日
特許 7642628	基板処理システムにおけるロードロックのための自動クリーニング	2025年 3月10日
特許 7642907	モリブデンを含有する膜を形成する方法	2025年 3月10日
特許 7641972	プラズマ処理システムのためのＲＦ信号フィルタ構成	2025年 3月 7日
特許 7639013	無限選択性を有する高アスペクト比エッチング	2025年 3月 4日
特許 7639030	調節可能な形状トリムコイル	2025年 3月 4日
特許 7638428	ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像	2025年 3月 3日
特許 7637686	内部輪郭を有するフェースプレートを備えるシャワーヘッド	2025年 2月28日
特許 7636415	堆積及びウェハー滑りを防止するためのスピンドルアームのパージ	2025年 2月26日
特許 7636418	半導体製造プロセスのための性能予測子	2025年 2月26日
特許 7636429	基板処理チャンバ用の誘電体窓	2025年 2月26日

47 件中 1-15 件を表示

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7645819 7645890 7645891 7644019 7642570 7642628 7642907 7641972 7639013 7639030 7638428 7637686 7636415 7636418 7636429

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