特開2016-144860(P2016-144860A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-144860連結機構、基板研磨装置、連結機構の回転中心位置決定方法、連結機構の回転中心位置決定プログラム、回転体の最大押付荷重決定方法、および回転体の最大押付荷重決定プログラム