特開2016-161450冷陰極電離真空計
発明の名称 冷陰極電離真空計
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 611 位（35件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 529 位（26件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-161450
公報発行日 2016年9月5
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-161450
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