特開2016-177870イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法
発明の名称 イオンビーム装置、イオン注入装置、イオンビーム放出方法
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 604 位（42件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 549 位（31件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-177870
公報発行日 2016年10月6
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-177870
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