特開2016-21564(P2016-21564A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-21564半導体基板処理装置での調整可能な対流−拡散ガス流のための中央ガスインジェクタを含むセラミックシャワーヘッド
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