特開2016-216764マグネトロンスパッタリング装置用のカソードユニット及びこのカソードユニットを用いたスパッタリング方法
発明の名称 マグネトロンスパッタリング装置用のカソードユニット及びこのカソードユニットを用いたスパッタリング方法
出願人 株式会社アルバック （識別番号 231464）
特許公開件数ランキング 607 位（41件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 541 位（30件）（共同出願を含む）
公報番号 特開-2016-216764
公報発行日 2016年12月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-216764
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