特開2016-216817(P2016-216817A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2016-216817断続的な再修復プラズマを用い、ALDによる酸化ケイ素表面コーティングを使用したラジカル再結合の最少化
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  • 特開2016216817-断続的な再修復プラズマを用い、ALDによる酸化ケイ素表面コーティングを使用したラジカル再結合の最少化 図000003
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