特開2016-219829荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法

発明の名称　荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 389 位（16件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 641 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-219829

公報発行日　2016年12月22

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-219829

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特開-2016-219829「荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録