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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第491位 16件
(2024年:第630位 43件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第516位 13件
(2024年:第431位 65件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7659480
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ショットキー熱電界放出(TFE)源と一体化されたビームスプリッタ、ショットキー熱電界放出(TFE)源とビームスプリッタの一体化方法、及びマルチビーム形成方法 | 2025年 4月 9日 | |
特許 7647271
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荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 3月18日 | |
特許 7647483
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電子ビーム検査装置 | 2025年 3月18日 | |
特許 7646494
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リフレクタユニットおよび成膜装置 | 2025年 3月17日 | |
特許 7646582
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荷電粒子ビーム照射方法および荷電粒子ビーム照射装置 | 2025年 3月17日 | |
特許 7639608
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データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム | 2025年 3月 5日 | |
特許 7636634
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ブランキングアパーチャアレイシステム、荷電粒子ビーム描画装置、及びブランキングアパーチャアレイシステムの検査方法 | 2025年 2月26日 | |
特許 7631170
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整流板、流体導入装置、及び、成膜装置 | 2025年 2月18日 | |
特許 7628114
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荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 2月 7日 | |
特許 7624829
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電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法 | 2025年 1月31日 | |
特許 7619108
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荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2025年 1月22日 | |
特許 7619123
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荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 1月22日 | |
特許 7619466
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マルチ荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 1月22日 | |
特許 7608298
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検査装置及び検査方法 | 2025年 1月 6日 |
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7659480 7647271 7647483 7646494 7646582 7639608 7636634 7631170 7628114 7624829 7619108 7619123 7619466 7608298
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4月15日(火) -
4月15日(火) - 大阪 大阪市
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4月16日(水) - 東京 大田
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4月17日(木) - 東京 大田
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4月18日(金) -
4月18日(金) -
4月18日(金) - 北海道 千代田区
4月14日(月) -
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