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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2024年 特許取得件数ランキング    第440位 57件 上昇2023年:第509位 54件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7582000 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 2024年11月13日
特許 7578427 パターン検査装置及びパターン検査方法 2024年11月 6日
特許 7574678 波形生成装置、波形生成方法及び荷電粒子ビーム照射装置 2024年10月29日
特許 7574157 検査装置及び参照画像生成方法 2024年10月28日
特許 7573396 θステージ機構及び電子ビーム検査装置 2024年10月25日
特許 7573457 電子銃の陰極機構、電子銃、及び電子ビーム描画装置 2024年10月25日
特許 7568166 マルチ荷電粒子ビーム描画領域の実効温度算出方法、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画方法、及びプログラム 2024年10月16日
特許 7561729 電子線描画装置及びカソード寿命予測方法 2024年10月 4日
特許 7554100 電子放出源の動作制御方法、電子ビーム描画方法、及び電子ビーム描画装置 2024年 9月19日
特許 7552192 データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム 2024年 9月18日
特許 7548862 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 2024年 9月10日
特許 7547082 パターン検査装置及びパターン検査方法 2024年 9月 9日
特許 7547138 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 2024年 9月 9日
特許 7547179 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 2024年 9月 9日
特許 7547227 マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 2024年 9月 9日

58 件中 1-15 件を表示

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7582000 7578427 7574678 7574157 7573396 7573457 7568166 7561729 7554100 7552192 7548862 7547082 7547138 7547179 7547227

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