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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第528位 28件
(2024年:第630位 43件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第651位 18件
(2024年:第431位 65件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7705332 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2025年 7月 9日 | |
特許 7703426 | マスク検査装置及びマスク検査方法 | 2025年 7月 7日 | |
特許 7686539 | 気相成長方法及び気相成長装置 | 2025年 6月 2日 | |
特許 7680923 | マルチ電子ビーム検査装置、多極子アレイの制御方法、及びマルチ電子ビーム検査方法 | 2025年 5月21日 | |
特許 7680935 | 電子銃の陰極機構、及び電子銃の陰極機構の製造方法 | 2025年 5月21日 | |
特許 7659480 | ショットキー熱電界放出(TFE)源と一体化されたビームスプリッタ、ショットキー熱電界放出(TFE)源とビームスプリッタの一体化方法、及びマルチビーム形成方法 | 2025年 4月 9日 | |
特許 7647271 | 荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 3月18日 | |
特許 7647483 | 電子ビーム検査装置 | 2025年 3月18日 | |
特許 7646494 | リフレクタユニットおよび成膜装置 | 2025年 3月17日 | |
特許 7646582 | 荷電粒子ビーム照射方法および荷電粒子ビーム照射装置 | 2025年 3月17日 | |
特許 7639608 | データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム | 2025年 3月 5日 | |
特許 7636634 | ブランキングアパーチャアレイシステム、荷電粒子ビーム描画装置、及びブランキングアパーチャアレイシステムの検査方法 | 2025年 2月26日 | |
特許 7631170 | 整流板、流体導入装置、及び、成膜装置 | 2025年 2月18日 | |
特許 7628114 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2025年 2月 7日 | |
特許 7624829 | 電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法 | 2025年 1月31日 |
19 件中 1-15 件を表示
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7705332 7703426 7686539 7680923 7680935 7659480 7647271 7647483 7646494 7646582 7639608 7636634 7631170 7628114 7624829
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7月11日(金) - 東京 千代田区
7月11日(金) -
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