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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7582000 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びその調整方法 | 2024年11月13日 | |
特許 7578427 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2024年11月 6日 | |
特許 7574678 | 波形生成装置、波形生成方法及び荷電粒子ビーム照射装置 | 2024年10月29日 | |
特許 7574157 | 検査装置及び参照画像生成方法 | 2024年10月28日 | |
特許 7573396 | θステージ機構及び電子ビーム検査装置 | 2024年10月25日 | |
特許 7573457 | 電子銃の陰極機構、電子銃、及び電子ビーム描画装置 | 2024年10月25日 | |
特許 7568166 | マルチ荷電粒子ビーム描画領域の実効温度算出方法、マルチ荷電粒子ビーム描画装置、マルチ荷電粒子ビーム描画方法、及びプログラム | 2024年10月16日 | |
特許 7561729 | 電子線描画装置及びカソード寿命予測方法 | 2024年10月 4日 | |
特許 7554100 | 電子放出源の動作制御方法、電子ビーム描画方法、及び電子ビーム描画装置 | 2024年 9月19日 | |
特許 7552192 | データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム | 2024年 9月18日 | |
特許 7548862 | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | 2024年 9月10日 | |
特許 7547082 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2024年 9月 9日 | |
特許 7547138 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2024年 9月 9日 | |
特許 7547179 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2024年 9月 9日 | |
特許 7547227 | マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 | 2024年 9月 9日 |
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7582000 7578427 7574678 7574157 7573396 7573457 7568166 7561729 7554100 7552192 7548862 7547082 7547138 7547179 7547227
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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