特開2016-33509真空計と汚染診断方法

発明の名称　真空計と汚染診断方法

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 190 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 147 位（87件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-33509

公報発行日　2016年3月10

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-33509

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