特開2016-66909水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法

発明の名称　水晶振動子、この水晶振動子を有するセンサヘッド、成膜制御装置、および成膜制御装置の製造方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-66909

公報発行日　2016年4月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-66909

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