特開2016-92330仕切弁装置及び基板搬送方法

発明の名称　仕切弁装置及び基板搬送方法

出願人　株式会社アルバック　（識別番号 231464）

　　　　特許公開件数ランキング 783 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 527 位（45件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-92330

公報発行日　2016年5月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-92330

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