期限日
知財求人情報
特・実 審査基準
法文集
特開2017-17316(P2017-17316A)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
ホーム
>
特許ランキング
>
ラム リサーチ コーポレーション
ツイート
知財求人
- 知財ポータルサイト「IP Force」
▶ ラム リサーチ コーポレーションの特許一覧
特開
2017-17316
縁における膜厚の均一性を向上させるための、プラズマの抑制とウエハの縁との分離
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
通常表示
文字サイズ
小
中
大
PDF
Top
<
>
<
>
1
2A
2B
2C
3A-1
3A-2
3B
3C
3D
3E
3F
3G
4A
4B
14
