特開 2017-173663 光変調器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-173663(P2017-173663A)

(43)【公開日】2017年9月28日

(54)【発明の名称】光変調器

(51)【国際特許分類】

   G02F 1/035 20060101AFI20170901BHJP

【ＦＩ】

   G02F1/035

【審査請求】有

【請求項の数】2

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2016-61202(P2016-61202)

(22)【出願日】2016年3月25日

(71)【出願人】

【識別番号】000183266

【氏名又は名称】住友大阪セメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100116687

【弁理士】

【氏名又は名称】田村 爾

(74)【代理人】

【識別番号】100098383

【弁理士】

【氏名又は名称】杉村 純子

(72)【発明者】

【氏名】清水 亮

(72)【発明者】

【氏名】加藤 圭

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 徳一

【テーマコード（参考）】

2K102

【Ｆターム（参考）】

2K102AA21

2K102BA01

2K102BA02

2K102BB01

2K102BB04

2K102BC04

2K102BD01

2K102BD09

2K102CA09

2K102DA04

2K102DB04

2K102DB05

2K102DC04

2K102DC08

2K102DD03

2K102DD04

2K102DD05

2K102DD07

2K102EA02

2K102EA07

2K102EA16

2K102EB22

(57)【要約】

【課題】
基板上で電気線の配線が交差する箇所の発生を抑制することが可能な光変調器を提供する。
【解決手段】
本発明に係る光変調器は、光導波路２を伝搬する光波を受光する受光素子３と、受光素子３の受光信号を基板１の外部に出力する出力端子５とが基板１に配置される。また、受光素子３と出力端子５とを電気的に接続する電気線４の少なくとも一部が基板１に形成される。また、光変調部Ｍを複数有し、少なくとも各光変調部Ｍに対して、受光素子３、出力端子５及び電気線４が設けられる。また、各光変調部Ｍに対して設けた受光素子３のうち、少なくとも１つの受光素子３を、光波進行方向の位置を他の受光素子３とは異ならせて配置した。そして、各出力端子５を、光波進行方向の並びを各受光素子３の光波進行方向の並びに対応させて配置した。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

光導波路が形成された基板と、該光導波路を伝搬する光波を変調する光変調部とを有する光変調器において、
該光導波路を伝搬する光波を受光する受光素子と、該受光素子の受光信号を該基板の外部に出力する出力端子とが該基板に配置されると共に、該受光素子と該出力端子とを電気的に接続する電気線の少なくとも一部が該基板に形成され、
該光変調部を複数有し、
少なくとも各光変調部に対して、該受光素子、該出力端子及び該電気線が設けられ、
各光変調部に対して設けた受光素子のうち、少なくとも１つの受光素子は、光波進行方向の位置を他の受光素子とは異ならせて配置され、
各出力端子は、光波進行方向の並びを各受光素子の光波進行方向の並びに対応させて配置されたことを特徴とする光変調器。

【請求項2】

請求項１に記載の光変調器において、
該光導波路は、複数の光導波路部分を並列に有し、
少なくとも１つの受光素子は、隣り合う２つの光導波路部分に跨って配置されると共に、一方の光導波路部分を伝搬する光波を受光する第１の受光部と、他方の光導波路部分を伝搬する光波を受光する第２の受光部とが１つの受光素子内に設けられていることを特徴とする光変調器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光変調器に関し、特に、電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光導波路と、該光導波路を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器に関する。

【背景技術】

【0002】

光通信分野や光計測分野において、マッハツェンダー型光導波路を有する強度変調器や位相変調器など各種の光変調器が用いられている。マッハツェンダー型光導波路から出力される光の強度変化は、変調電極に印加される電圧に対して例えば正弦関数的な特性を示す。光変調器の用途に応じて、最適な出力光の強度を得るため、変調電極に印加される変調信号は、適切な動作バイアス点に設定することが必要となる。

【0003】

このため、従来では、光変調器から出力される信号光の一部、あるいはマッハツェンダー型光導波路の合波部から放射される放射光を、モニタ光として、光検出器のような受光素子で検出し、光変調器の出力光の強度の状態をモニタすることが行われている。そして、受光素子の検出値（モニタ出力）に基づき、変調電極に印加される変調信号の動作バイアス点を調整（バイアス制御）している。

【0004】

このような光変調器に関し、これまでに種々の発明が提案されている。
例えば、特許文献１には、基板上に受光素子を配置した場合でも、受光素子の受光感度を高めると共に、受光素子の周波数帯域の低下を抑制するようにした光変調器が開示されている。また、特許文献２には、マッハツェンダー型光導波路の合波部からの２つの放射光を同時に受光モニタする場合でも、受光素子の周波数帯域の低下を抑制するようにした光変調器が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１５−１３８１４５号公報

【特許文献2】特開２０１５−１９４５１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

近年の通信の大容量化に伴い、１つの基板に複数の光変調部を設け、光変調部毎に異なる変調信号を変調電極に印加して光変調を行う構造の光変調器が開発されている。また、複数の光変調部が設けられた基板を複数備えた多素子構造の光変調器も開発されている。このような光変調器では、各々の光変調部で独立に変調信号のバイアス制御を行うために、基板に多数の受光素子を配置して、光変調部毎にモニタ光を検出する構成となる。

【0007】

また、通信の高速化に伴って、受光素子の受光帯域の高周波数化も進められている。高速通信に対応した受光帯域を確保するためには、受光素子の受光信号を伝搬する電気線をなるべく短く配線する必要がある。しかしながら、基板に多数の受光素子を配置する構造で電気線を短く配線しようとすると、配線の自由度が少ないために、基板上で電気線の配線が交差（クロス）する箇所が多数発生しかねない。電気線の配線が交差する付近では、電気的クロストークが発生し易くなり、電気線を伝搬する受光信号にノイズが含まれるという問題が生じる懸念がある。

【0008】

本発明が解決しようとする課題は、上述したような問題を解決し、基板上で電気線の配線が交差する箇所の発生を抑制することが可能な光変調器を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するため、本発明の光変調器は、以下のような技術的特徴を有する。
（１） 光導波路が形成された基板と、該光導波路を伝搬する光波を変調する光変調部とを有する光変調器において、該光導波路を伝搬する光波を受光する受光素子と、該受光素子の受光信号を該基板の外部に出力する出力端子とが該基板に配置されると共に、該受光素子と該出力端子とを電気的に接続する電気線の少なくとも一部が該基板に形成され、該光変調部を複数有し、少なくとも各光変調部に対して、該受光素子、該出力端子及び該電気線が設けられ、各光変調部に対して設けた受光素子のうち、少なくとも１つの受光素子は、光波進行方向の位置を他の受光素子とは異ならせて配置され、各出力端子は、光波進行方向の並びを各受光素子の光波進行方向の並びに対応させて配置されたことを特徴とする。

【0010】

（２） 上記（１）に記載の光変調器において、該光導波路は、複数の光導波路部分を並列に有し、少なくとも１つの受光素子は、隣り合う２つの光導波路部分に跨って配置されると共に、一方の光導波路部分を伝搬する光波を受光する第１の受光部と、他方の光導波路部分を伝搬する光波を受光する第２の受光部とが１つの受光素子内に設けられていることを特徴とする。

【発明の効果】

【0011】

本発明の光変調器は、光導波路が形成された基板と、該光導波路を伝搬する光波を変調する光変調部とを有する光変調器において、該光導波路を伝搬する光波を受光する受光素子と、該受光素子の受光信号を該基板の外部に出力する出力端子とが該基板に配置されると共に、該受光素子と該出力端子とを電気的に接続する電気線の少なくとも一部が該基板に形成され、該光変調部を複数有し、少なくとも各光変調部に対して、該受光素子、該出力端子及び該電気線が設けられ、各光変調部に対して設けた受光素子のうち、少なくとも１つの受光素子は、光波進行方向の位置を他の受光素子とは異ならせて配置され、各出力端子は、光波進行方向の並びを各受光素子の光波進行方向の並びに対応させて配置されたため、基板上で電気線の配線が交差する箇所の発生を抑制することが可能な光変調器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明に係る光変調器の第１実施例を説明する平面図である。

【図2】本発明に係る光変調器の第２実施例を説明する平面図である。

【図3】本発明に係る光変調器に第３実施例を説明する平面図である。

【図4】本発明に係る光変調器に第４実施例を説明する平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明に係る光変調器について詳細に説明する。
本発明の光変調器は、図１〜図３に示すように、光導波路２が形成された基板１と、該光導波路２を伝搬する光波を変調する光変調部Ｍとを有する光変調器に関するものである。
該光変調器は、該光導波路２を伝搬する光波を受光する受光素子３と、該受光素子３の受光信号を該基板１の外部に出力する出力端子５とが該基板１に配置される。また、該受光素子３と該出力端子５とを電気的に接続する電気線４の少なくとも一部が該基板１に形成される。また、該光変調部Ｍを複数有し、少なくとも各光変調部Ｍに対して、該受光素子３、該出力端子５及び該電気線４が設けられる。また、各光変調部Ｍに対して設けた受光素子３のうち、少なくとも１つの受光素子３は、光波進行方向の位置を他の受光素子３とは異ならせて配置される。そして、各出力端子５は、光波進行方向の並びを各受光素子３の光波進行方向の並びに対応させて配置される。

【0014】

図１には、本発明に係る光変調器の第１実施例を説明する平面図を示してある。
基板１としては、石英、半導体など光導波路を形成できる基板や、電気光学効果を有する基板である、ＬｉＮｂＯ_３（ニオブ酸リチウム），ＬｉＴａＯ_３（タンタル酸リチウム）又はＰＬＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛ランタン）のいずれかの単結晶などを用いた基板がある。

【0015】

基板１に形成する光導波路２は、例えば、ＬｉＮｂＯ_３基板（ＬＮ基板）上にチタン（Ｔｉ）などの高屈折率物質を熱拡散することにより形成される。また、光導波路となる部分の両側に溝を形成したリブ型光導波路や光導波路部分を凸状としたリッジ型導波路も利用可能である。また、ＰＬＣ等の異なる基板に光導波路を形成し、これらの基板を貼り合せ集積した光回路にも、本発明を適用することが可能である。

【0016】

基板１には、光導波路２を伝搬する光波を変調するための変調電極（不図示）が設けられる。変調電極は、信号電極や接地電極から構成され、基板表面に、Ｔｉ・Ａｕの電極パターンを形成し、金メッキ方法などにより形成する。さらに、必要に応じて光導波路形成後の基板表面に誘電体ＳｉＯ_２等のバッファ層を設けることも可能である。なお、基板１（光導波路２）内を伝搬する信号光を、受光素子３側に導出する領域においては、バッファ層を形成すると、信号光を効率良く導出することが難しくなるため、当該領域にはバッファ層を形成しないことが好ましい。また、バッファ層を介して受光素子３を配置する場合には、受光感度を確保するには、受光素子３を配置する領域のバッファ層の厚みを他の領域よりも薄くする方がよい。

【0017】

受光素子３は光導波路２に直接接触させてもよいが、光導波路２から放射される光（エバネセント波）を効率よく抽出するには、光導波路２上に高屈折率膜を形成してその上に配置することが好ましい。この場合、高屈折率膜の屈折率は、光導波路２の屈折率よりも高く、受光素子基板の屈折率よりも低く設定する必要がある。また、例えば特開２０１３−８０００９号公報に開示されているように、基板１（あるいは光導波路２等）に溝又は反射部材を配置して、信号光の一部を反射により受光素子の方に導くように構成してもよい。

【0018】

本実施例の光変調器は、変調電極に変調信号を印加して光変調を行う４つの光変調部Ｍ（ａ）〜Ｍ（ｄ）を並列に有している。光変調部Ｍ（ａ）〜Ｍ（ｄ）は、互いに異なる変調信号を用いて光変調を行っており、各々独立に変調信号のバイアス制御を行うように構成されている。各光変調部を並列に有するとは、光波進行方向（図１における左右方向）の位置が一致することを求めるものではなく、光波進行方向の位置がずれていても構わない。
なお、互いに異なる変調信号を用いて光変調を行う光変調部としては、本実施例のように１つのマッハツェンダー型光導波路で形成したものに限定されない。すなわち、例えば、２つのマッハツェンダー型光導波路を入れ子型に配置したネスト型光導波路で形成したもの、２つのネスト型光導波路を更に入れ子型に配置したものなど、種々の形状のものを用いることができる。

【0019】

基板１には、各光変調部Ｍに対応させて、光導波路２を伝搬する光波を受光部３１で受光する受光素子３と、受光素子３の受光信号を基板１の外部に出力する出力端子５と、受光素子３と出力端子５とを電気的に接続する電気線４の少なくとも一部が設けられる。本例では、基板１として、２０μｍ以下の厚みの基板を用いているが、基板の厚みは任意である。
本実施例では、光変調部Ｍ（ａ）に対して、受光素子３（＃１）、電気線４（＃１）、出力端子５（＃１）を有する第１の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｃ）に対して、受光素子３（＃２）、電気線４（＃２）、出力端子５（＃２）を有する第２の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｂ）に対して、受光素子３（＃３）、電気線４（＃３）、出力端子５（＃３）を有する第３の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｄ）に対して、受光素子３（＃４）、電気線４（＃４）、出力端子５（＃４）を有する第４の受光系統が設けられている。

【0020】

各受光素子３は、各光変調部Ｍの出力導波路２１を伝搬して光変調器から出力される信号光の一部をモニタ光として検出する。なお、図２を参照して後述するように、各光変調部Ｍを構成する各々のマッハツェンダー型光導波路の合波部から放射される放射光を、モニタ光として検出してもよい。また、基板が或る程度の厚みを有する場合には、各受光素子３を基板に埋め込む構成とすることもできる。

【0021】

本実施例では、各光変調部Ｍの出力導波路２１に対して、出力導波路２１を伝搬する信号光の一部を抽出するモニタ用導波路２２を設けてある。このモニタ用導波路２２は、出力導波路２１から抽出した信号光を、対応する受光素子３に導くように形成されている。
すなわち、本実施例における各受光素子３は、それぞれ、対応する光変調部Ｍで変調された信号光の一部をモニタ光として検出する構成となっている。なお、出力導波路２１に重ねて受光素子３を配置すると共に、出力導波路２１の断面の一部に溝や反射部材を設けることで、出力導波路２１から信号光の一部を直接取り出して受光素子３で受光するようにしてもよい。

【0022】

各受光素子３から出力される各々の受光信号は、その受光素子３に接続された電気線４を伝搬して出力端子５に到達し、出力端子５から基板１の外部に出力される。
本実施例では、各電気線４の全区間を基板１上に形成しているが、一部の区間を基板１から離して形成するようにしてもよい。

【0023】

本発明では、光変調器の小型化を進めるにあたり、各受光素子３の受光帯域を確保するために、各電気線４の配線がなるべく短くなるように形成しつつ、電気線４同士が交差する箇所の発生を抑制するために、受光素子３と出力端子５の配置を工夫している。
すなわち、本発明に係る光変調器では、基板１の幅方向における受光素子部分の長さＬ１を短縮すべく、各光変調部Ｍに対して設けた受光素子３のうち、少なくとも１つの受光素子３を、光波進行方向の位置を他の受光素子３とは異ならせて配置する。ここで、幅方向とは、光波進行方向に直交し且つ基板１の面に平行な方向であり、図１における上下方向である。受光素子３は幅方向に或る程度の長さを有するため、各受光素子３の光波進行方向の位置を揃える場合には、受光素子３の個数をＮ、幅方向の長さをＬ２とすると、基板１の幅方向の長さＬ１は、Ｌ１＝Ｌ２×Ｎとなる。
これに対し、本発明に係る光変調器では、少なくとも１つの受光素子３を、光波進行方向の位置を他の受光素子３とは異ならせて配置するので、基板１の幅方向の長さＬ１をＬ２×Ｎ以下に短縮できる。
また、本発明に係る光変調器では、各出力端子５を、光波進行方向の並びを各受光素子３の光波進行方向の並びに対応させて配置する。これにより、受光素子３と出力端子５とを結ぶ電気線４の配線を短くでき、電気線４同士が交差する箇所も少なくできる。

【0024】

受光素子３、電気線４及び出力端子５の具体的な配置について、図１を参照して説明する。
図１では、基板１の光波進行方向に沿った端辺の一方（図中下側の端辺）に、各出力端子５を配置してある。また、各受光素子３は、出力端子側とは逆側の端辺（図中上側の端辺）から、受光素子３（＃１），３（＃３），３（＃２），３（＃４）の順に配置してある。

【0025】

これら受光素子３は、基板１の幅方向の長さを短縮するために、隣り合う受光素子同士で光波進行方向の位置が異なるように配置されている。また、これら受光素子３のうち、受光素子３（＃１）及び受光素子３（＃２）の光波進行方向の位置を、受光素子３（＃３）及び受光素子３（＃４）の光波進行方向の位置よりも光波進行方向の下流側にずらして配置してある。
これに対応して、出力端子５（＃１）及び出力端子５（＃２）の光波進行方向の位置が、出力端子５（＃３）及び出力端子５（＃４）の光波進行方向の位置よりも下流側となる並びで配置してある。

【0026】

また、光波進行方向の位置が同じ受光素子３が複数ある場合には、出力端子側の端辺に近い受光素子３に対する出力端子５ほど受光素子側に近い位置に配置する。例えば、受光素子３（＃１）と受光素子３（＃２）では、受光素子３（＃２）の方が出力端子側の端辺に近いので、出力端子５（＃２）の方を受光素子側に近い位置に配置する。

【0027】

このような構成によれば、各電気線４を、受光素子３から光波進行方向に延伸させた後、出力端子方向に向かって延伸させるシンプルな配線とすることができる。これにより、基板１上で電気線４の配線が交差する箇所の発生を抑制できるとともに、電気線４の配線を短くすることができる。

【0028】

図２には、本発明に係る光変調器の第２実施例を説明する平面図を示してある。
本実施例では、光変調部Ｍ（ａ）に対して、受光素子３（＃１）、電気線４（＃１）、出力端子５（＃１）を有する第１の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｂ）に対して、受光素子３（＃２）、電気線４（＃２）、出力端子５（＃２）を有する第２の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｃ）に対して、受光素子３（＃３）、電気線４（＃３）、出力端子５（＃３）を有する第３の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｄ）に対して、受光素子３（＃４）、電気線４（＃４）、出力端子５（＃４）を有する第４の受光系統が設けられている。
なお、各光変調部Ｍは、１つのマッハツェンダー型光導波路で形成したもの、２つのマッハツェンダー型光導波路を入れ子型に配置してネスト型光導波路としたもの、２つのネスト型光導波路を更に入れ子型に配置したものなど、種々の形状とすることができる。

【0029】

また、本実施例では、各光変調部Ｍの出力導波路２１の両側に、光変調部Ｍを構成するマッハツェンダー型光導波路の合波部から放射される放射光を導く放射光導波路２３を設け、出力導波路２１及び放射光導波路２３を覆うように受光素子３が配置されている。
すなわち、本実施例における各受光素子３は、それぞれ、対応する光変調部Ｍを構成するマッハツェンダー型光導波路の合波部からの放射光をモニタ光として検出する構成となっている。
なお、出力導波路２１と受光素子３の間には、低屈折率構造（出力導波路より低い屈折率を持つ構造）を設けてあり、出力導波路を伝搬する信号光が受光素子へ入射することを抑制している。低屈折率構造としては、ＳｉＯ_２等の膜を配置する構造や、空気層を介在させる構造などが挙げられる。

【0030】

図２では、基板１の光波進行方向に沿った端辺の一方（図中下側の端辺）に、各出力端子５を配置してある。また、各受光素子３は、出力端子側とは逆側の端辺（図中上側の端辺）から、受光素子３（＃１），３（＃２），３（＃３），３（＃４）の順に配置してある。

【0031】

これら受光素子３は、基板１の幅方向の長さを短縮するために、光波進行方向の位置が全て異なるように配置されている。具体的には、光進行方向の上流から下流に向かって、受光素子３（＃４），３（＃３），３（＃２），３（＃１）の順にずらして配置してある。
これに対応して、光進行方向の上流から下流に向かって、出力端子５（＃４），５（＃３），５（＃２），５（＃１）となる並びで配置してある。

【0032】

このような構成でも、各電気線４を、受光素子３から光波進行方向に延伸させた後、出力端子方向に向かって延伸させるシンプルな配線とすることができる。これにより、基板１上で電気線４の配線が交差する箇所の発生を抑制できるとともに、電気線４の配線を短くすることができる。この配置により懸念される電気的クロストークは、並行する電気線４（＃１）〜４（＃４）の間にクロストーク抑制手段を配設することで抑制できる。クロストーク抑制手段としては、光変調器の筐体に接続して接地された金属などを用いることができる。

【0033】

図３には、本発明に係る光変調器の第３実施例を説明する平面図を示してある。
本実施例では、光変調部Ｍ（ａ）に対して、受光素子３（＃１）、電気線４（＃１）、出力端子５（＃１）を有する第１の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｂ）に対して、受光素子３（＃２）、電気線４（＃２）、出力端子５（＃２）を有する第２の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｃ）に対して、受光素子３（＃２）、電気線４（＃３）、出力端子５（＃３）を有する第３の受光系統が設けられている。また、光変調部Ｍ（ｄ）に対して、受光素子３（＃３）、電気線４（＃４）、出力端子５（＃４）を有する第１の受光系統が設けられている。
なお、各光変調部Ｍは、１つのマッハツェンダー型光導波路で形成したもの、２つのマッハツェンダー型光導波路を入れ子型に配置してネスト型光導波路としたもの、２つのネスト型光導波路を更に入れ子型に配置したものなど、種々の形状とすることができる。

【0034】

また、本実施例では、第１実施例（図１）と同様に、各光変調部Ｍの出力導波路２１に対して、出力導波路２１を伝搬する信号光の一部を抽出するモニタ用導波路２２を設けてある。このモニタ用導波路２２は、出力導波路２１から抽出した信号光を、対応する受光素子３に導くように形成されている。
すなわち、本実施例における各受光素子３は、それぞれ、対応する光変調部Ｍで変調された信号光の一部をモニタ光として検出する構成となっている。なお、出力導波路２１に重ねて受光素子３を配置すると共に、出力導波路２１の断面の一部に溝や反射部材を設けることで、出力導波路２１から信号光の一部を直接取り出して受光素子３で受光するようにしてもよい。

【0035】

また、本実施例では、光変調部Ｍ（ｂ）と光変調部Ｍ（ｃ）とで１つの受光素子３（＃２）を共用する構成となっている。具体的には、光変調部Ｍ（ｂ）に対するモニタ用導波路２２と光変調部Ｍ（ｃ）に対するモニタ用導波路２２とが並列に形成され、これら導波路部分を跨ぐように受光素子３（＃２）を配置してある。受光素子３（＃２）は、光変調部Ｍ（ｂ）に対するモニタ用導波路２２を伝搬する光波を受光する第１の受光部３１ａと、光変調部Ｍ（ｃ）に対するモニタ用導波路２２を伝搬する光波を受光する第２の受光部３１ｂとが、１つの受光素子内に設けられている。なお、各モニタ用導波路２２が並列に形成されるとは、光波進行方向（図３における左右方向）の位置が一致することを求めるものではなく、光波進行方向がずれていても構わないが、１つの受光素子３を共用できる程度に重複する区間を有することが好ましい。
このように、１つの受光素子３で複数の光波を受光する構成にすることで、基板上の受光素子数を削減することができるので、基板の小型化を図る際に有効である。

【0036】

図３では、基板１の光波進行方向に沿った端辺の一方（図中下側の端辺）に、各出力端子５を配置してある。また、各受光素子３は、出力端子側とは逆側の端辺（図中上側の端辺）から、受光素子３（＃１），３（＃２），３（＃３）の順に配置してある。

【0037】

これら受光素子３は、基板１の幅方向の長さを短縮するために、光波進行方向の位置が全て異なるように配置されている。具体的には、光進行方向の上流から下流に向かって、受光素子３（＃３），３（＃２），３（＃１）の順にずらして配置してある。
これに対応して、光進行方向の上流から下流に向かって、出力端子５（＃４），５（＃３），５（＃２），５（＃１）となる並びで配置してある。
また、出力端子側の端辺に最も近い受光素子３（＃３）に対する電気線４（＃４）は、他の受光素子３（＃１），３（＃２）に対する電気線４（＃１）〜（＃３）とは光波進行方向の異なる位置から受光素子３に接続されている。すなわち、電気線４（＃１）〜（＃３）は、受光素子３に対して光進行方向の下流側に接続されているのに対し、電気線４（＃４）は、受光素子３に対して光進行方向の上流側に接続されている。

【0038】

このような構成でも、各電気線４を、受光素子３から光波進行方向に延伸させた後、出力端子方向に向かって延伸させるシンプルな配線とすることができる。これにより、基板１上で電気線４の配線が交差する箇所の発生を抑制できるとともに、電気線４の配線を短くすることができる。

【0039】

これまでの説明では、１枚の基板に複数の光変調部を設けた光変調器を例にしたが、本発明は、複数の光変調部が設けられた基板を複数備えた多素子構造の光変調器にも適用することができる。
図４には、本発明に係る光変調器に第４実施例を説明する平面図を示してある。
同図の光変調器は、波長λ１の光波が入力される第１の基板１（Ａ）と、波長λ２の光波が入力される第２の基板１（Ｂ）を備えている。基板１（Ａ）は、２つの主変調部を有し、これら主変調部はそれぞれ２つの副変調部を有している。また、副変調部の各々に対して受光素子６１（Ａ）が設けられると共に、主変調部の各々に対しても受光素子６２（Ａ）が設けられている。主変調部に対する受光素子６２（Ａ）は必須である一方で、副変調部に対する受光素子６１（Ａ）は省略可能であるが、より正確な変調制御を行うには、受光素子６１（Ａ）を設けることが好ましい。基板２（Ａ）も、基板１（Ａ）と同様な光変調部や受光素子を有している。

【0040】

基板１（Ｂ）には、受光素子６１（Ｂ），６２（Ｂ）による受光信号を外部に出力するための出力端子８１（Ｂ），８２（Ｂ）が設けられる。また、基板１（Ｂ）には、基板１（Ａ）側の受光素子６１（Ａ），６２（Ａ）による受光信号を外部に出力するための出力端子８１（Ａ），８２（Ａ）も設けられる。すなわち、基板１（Ａ）で検出した受光信号は、基板１（Ｂ）を介して外部へ出力されるように構成されている。
受光素子６１（Ａ）と出力端子８１（Ａ）、受光素子６２（Ａ）と出力端子８２（Ａ）、受光素子６１（Ｂ）と出力端子８１（Ｂ）、受光素子６２（Ｂ）と出力端子８２（Ｂ）は、それぞれ電気線により接続されている。

【0041】

このような多素子構造の光変調器でも、受光素子を光波進行方向の位置を異ならせて配置する場合に、その配置に対応する並びで出力端子を配置することで、受光素子と出力端子とを電気的に接続する電気線の配線をシンプルにすることができる。これにより、基板上で電気線の配線が交差する箇所の発生を抑制できるとともに、電気線の配線を短くすることができる。

【0042】

なお、図４では、受光素子６１（Ａ），６１（Ｂ）は放射光導波路を伝搬する放射光を受光し、受光素子６２（Ａ），６２（Ｂ）はモニタ用導波路を伝搬するモニタ光を受光する構成となっているが、このような構成に限定されないことはいうまでもない。すなわち、受光素子６１（Ａ），６１（Ｂ）で、出力導波路を伝搬する信号光の一部またはモニタ用導波路を伝搬するモニタ光を受光する構成にしてもよい。また、受光素子６２（Ａ），６２（Ｂ）で、出力導波路を伝搬する信号光の一部または放射光導波路を伝搬する放射光を受光するようにしてもよい。

【0043】

以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した内容に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜設計変更可能であることはいうまでもない。

【産業上の利用可能性】

【0044】

以上、説明したように、本発明によれば、基板上で電気線の配線が交差する箇所の発生を抑制することが可能な光変調器を提供することができる。

【符号の説明】

【0045】

１，１Ａ，１Ｂ 基板
２ 光導波路
３（＃１）〜３（＃４），６１（Ａ），６１（Ｂ），６２（Ａ），６２（Ｂ） 受光素子
４（＃１）〜４（＃４） 電気線
５（＃１）〜５（＃４），８１（Ａ），８１（Ｂ），８２（Ａ），８２（Ｂ） 出力端子
２１ 出力導波路
２２ モニタ用導波路
２３ 放射光導波路
３１，３１ａ，３１ｂ 受光部
Ｍ（ａ）〜Ｍ（ｄ） 光変調部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】