特開2017-174773荷電粒子ビーム装置

発明の名称　荷電粒子ビーム装置

出願人　株式会社日立ハイテクサイエンス　（識別番号 503460323）

　　　　特許公開件数ランキング 1387 位（5件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1805 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-174773

公報発行日　2017年9月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-174773

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