特開2017-188434(P2017-188434A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2017-188434より低い周波数のＲＦ発生器の周期においてより高いＲＦ発生器に向かって反射する電力を低減し、反射電力を低減させるための関係を用いるシステムおよび方法
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