特開2017-199758マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビームの照射方法及びマルチ荷電粒子ビームの調整方法

発明の名称　マルチ荷電粒子ビーム照射装置、マルチ荷電粒子ビームの照射方法及びマルチ荷電粒子ビームの調整方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 409 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 664 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-199758

公報発行日　2017年11月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-199758

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