特開 2017-213548 塗布装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2017-213548(P2017-213548A)

(43)【公開日】2017年12月7日

(54)【発明の名称】塗布装置

(51)【国際特許分類】

   B05C 5/02 20060101AFI20171110BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20171110BHJP

   H05B 33/04 20060101ALI20171110BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20171110BHJP

【ＦＩ】

   B05C5/02

   H05B33/14 A

   H05B33/04

   H05B33/10

【審査請求】未請求

【請求項の数】5

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2016-111071(P2016-111071)

(22)【出願日】2016年6月2日

(71)【出願人】

【識別番号】000231464

【氏名又は名称】株式会社アルバック

(74)【代理人】

【識別番号】100105957

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 誠

(74)【代理人】

【識別番号】100068755

【弁理士】

【氏名又は名称】恩田 博宣

(72)【発明者】

【氏名】朝比奈 伸一

【テーマコード（参考）】

3K107

4F041

【Ｆターム（参考）】

3K107AA01

3K107CC45

3K107EE55

3K107GG37

4F041AA02

4F041AA05

4F041AB01

4F041BA12

4F041BA35

4F041BA36

4F041BA47

4F041BA48

4F041CA02

(57)【要約】

【課題】接合対象の損傷を抑えることを可能とした塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、アームを備えるロボットと、アームの先端に支持され、被収容体２０を収容する収容部１２とを備える。被収容体２０は、可視光硬化樹脂を含む組成物２１とケース２２とを含む。ケース２２は、筒状を有し、かつ、可視光に対する遮光性を有する。ケース２２は、ケース２２の先端に接合対象が接したときにケース２２の先端から組成物２１を接合対象に吐出するように構成されている。収容部１２は、有蓋筒状を有して被収容体２０の周りを囲み、可視光に対する遮光性を有する遮光部３１と、遮光部３１の内部において遮光部３１に接続し、ケース２２の先端を遮光部３１の開口から露出するように被収容体２０を支持する支持部３１ｃ１と、遮光部３１の外側において遮光部３１に接続し、アームの先端に支持される被支持部３１ｃ２とを備える。
【選択図】図２

【特許請求の範囲】

【請求項1】

先端を有したアームを備えるロボットと、
前記アームの前記先端に支持されるとともに被収容体を収容する収容部と、を備え、
前記被収容体は、
可視光硬化樹脂を含む組成物と、
前記組成物を内部に収容するための空間を区画するとともに、先端を有した筒状を有するケースであって、前記ケースの前記先端に接合対象が接したときに前記ケースの前記先端から前記組成物を前記接合対象に吐出するように構成された前記ケースと、を含み、
前記収容部は、
開口を有した有蓋筒状を有して前記被収容体の周りを囲むとともに、可視光に対する遮光性を有する遮光部と、
前記遮光部の内部において前記遮光部に接続し、前記ケースの前記先端を前記遮光部の前記開口から露出するように前記被収容体を支持する支持部と、
前記遮光部の外側において前記遮光部に接続し、前記アームの前記先端に支持される被支持部と、を備える
塗布装置。

【請求項2】

前記遮光部の外側に位置するとともに、前記遮光部を加熱する加熱部をさらに備える
請求項１に記載の塗布装置。

【請求項3】

前記遮光部は金属製であり、
前記加熱部は前記遮光部に接している
請求項２に記載の塗布装置。

【請求項4】

前記遮光部は、前記被収容体を収容する空間を区画し、２つの筒端を有した筒状を有するとともに、可視光に対する遮光性を有した筒状部と、前記筒状部における一方の前記筒端を塞ぐとともに、可視光に対する遮光性を有した蓋部とを備え、
前記支持部は、前記蓋部のうち、前記筒状部が区画する前記空間の内部に位置する部分であり、
前記被支持部は、前記蓋部のうち、前記筒状部が区画する前記空間の外部に位置する部分である
請求項１から３のいずれか一項に記載の塗布装置。

【請求項5】

前記遮光部は、２つの筒端を含み、
前記２つの筒端のうち、一方の前記筒端が前記開口を区画する筒端であり、
前記開口を区画する前記筒端から、前記開口を区画する前記筒端とは異なる前記筒端に向かう方向が第１方向であり、
前記アームの前記先端と前記被支持部との間に位置するとともに、前記第１方向に沿う力が加えられることによって前記第１方向に沿う長さが縮み、かつ、前記力が解除されることによって前記第１方向に沿う長さが伸びることで、前記第１方向に沿う振動を吸収するように構成された吸収部をさらに備える
請求項１から４のいずれか一項に記載の塗布装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、塗布対象に樹脂を塗布する塗布装置に関する。

【背景技術】

【0002】

有機ＥＬデバイスなどのデバイスが備える２枚の基板を接合する接合方法には、２枚の基板の間にフリットペーストを配置する工程と、フリットペーストを加熱して溶解する工程とを含む第１の方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、接合方法には、２枚の基板の間に紫外線硬化性樹脂を配置する工程と、紫外線硬化性樹脂に対して、基板を通して紫外線を照射する工程とを含む第２の方法が知られている（例えば、特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−１２６７８２号公報

【特許文献2】特開２０１３−１０９８３６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、第１の方法では、フリットペーストが加熱されるとき、基板のうち、フリットペーストに触れている部分も加熱されるため、こうした加熱によって、基板の一部が損傷する場合がある。また、第２の方法では、基板に対して紫外線が照射されるため、紫外線に対する吸収性を有する基板、例えば樹脂製の基板は、紫外線の吸収によって損傷する場合がある。そのため、基板などの接合対象に対する損傷がより抑えられた状態で、２枚の接合対象を接合することが可能とすることが求められている。
本発明は、接合対象の損傷を抑えることを可能とした塗布装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決する塗布装置は、先端を有したアームを備えるロボットと、前記アームの前記先端に支持されるとともに被収容体を収容する収容部と、を備え、前記被収容体は、可視光硬化樹脂を含む組成物と、前記組成物を内部に収容するための空間を区画するとともに、先端を有した筒状を有するケースであって、前記ケースの前記先端に接合対象が接したときに前記ケースの前記先端から前記組成物を前記接合対象に吐出するように構成された前記ケースと、を含み、前記収容部は、開口を有した有蓋筒状を有して前記被収容体の周りを囲むとともに、可視光に対する遮光性を有する遮光部と、前記遮光部の内部において前記遮光部に接続し、前記ケースの前記先端を前記遮光部の前記開口から露出するように前記被収容体を支持する支持部と、前記遮光部の外側において前記遮光部に接続し、前記アームの前記先端に支持される被支持部と、を備える。

【0006】

上記構成によれば、被収容体が可視光を遮光する遮光部に囲まれた状態で、塗布装置に取り付けられるため、接合対象に塗布される前の組成物がケースの中で硬化することが抑えられ、接合対象に組成物を塗布することができる。これにより、接合対象に塗布された組成物を他の接合対象に接触させた後、組成物に可視光を照射することによって、２つの接合対象を接合することができる。このように、塗布装置によれば、組成物を接合対象に塗布する工程の後段であって、２つの接合対象を接合する工程において、組成物に含まれる可視光硬化樹脂を硬化させることによって２つの接合対象を接合することができる。そのため、接合対象の溶解や、接合対象による紫外線の吸収を伴わずに２つの接合対象を接合することができ、接合対象の損傷を抑えることができる。

【0007】

上記塗布装置において、前記遮光部の外側に位置するとともに、前記遮光部を加熱する加熱部をさらに備えることが好ましい。

【0008】

上記構成によれば、遮光部からの輻射熱によって組成物を加熱することができるため、組成物の温度が低下することによって、組成物の粘度が、組成物がケースの先端から吐出されない程度に高まることが抑えられる。

【0009】

上記塗布装置において、前記遮光部は金属製であり、前記加熱部は前記遮光部に接していることが好ましい。

【0010】

上記構成によれば、例えば樹脂製の遮光部などを備える構成と比べて、熱伝導性の高い金属製の遮光部を有するため、加熱部の設定温度が所定の温度であるときに、輻射によって組成物に与える熱量をより大きくすることができる。それゆえに、加熱部によって組成物を加熱する効率を高めることができる。

【0011】

上記塗布装置において、前記遮光部は、前記被収容体を収容する空間を区画し、２つの筒端を有した筒状を有するとともに、可視光に対する遮光性を有した筒状部と、前記筒状部における一方の前記筒端を塞ぐとともに、可視光に対する遮光性を有した蓋部とを備え、前記支持部は、前記蓋部のうち、前記筒状部が区画する前記空間の内部に位置する部分であり、前記被支持部は、前記蓋部のうち、前記筒状部が区画する前記空間の外部に位置する部分であってもよい。

【0012】

上記構成によれば、１つの蓋部が、アームに支持される被支持部と、被収容体を支持する支持部との２つの機能を有するため、収容部が、被支持部と支持部とを各別に有する構成と比べて、収容部を構成する部品の点数を少なくすることができる。

【0013】

上記塗布装置において、前記遮光部は、２つの筒端を含み、前記２つの筒端のうち、一方の前記筒端が前記開口を区画する筒端であり、前記開口を区画する前記筒端から、前記開口を区画する前記筒端とは異なる前記筒端に向かう方向が第１方向であり、前記アームの前記先端と前記被支持部との間に位置するとともに、前記第１方向に沿う力が加えられることによって前記第１方向に沿う長さが縮み、かつ、前記力が解除されることによって前記第１方向に沿う長さが伸びることで、前記第１方向に沿う振動を吸収するように構成された吸収部をさらに備えることが好ましい。

【0014】

上記構成によれば、吸収部によって第１方向に沿う振動が吸収されるため、接合対象のうち、組成物の塗布される面が凹凸面であっても、接合対象への接触によってケースの先端に与えられる圧力が変わることが抑えられ、接合対象に組成物が塗布されやすくなる。

【図面の簡単な説明】

【0015】

【図1】本発明の塗布装置を具体化した一実施形態における概略構成を示すブロック図。

【図2】収容部の断面構造を被収容体の断面構造とともに示す断面図。

【図3】収容部の構成を収容部が支持されるアームの一部とともに拡大して示すブロック図。

【発明を実施するための形態】

【0016】

図１から図３を参照して、本発明の塗布装置を具体化した一実施形態を説明する。
図１が示すように、塗布装置１０は、ロボット１１と収容部１２とを備えている。ロボット１１は、先端１１ａ１を有したアーム１１ａを備え、収容部１２は、アーム１１ａの先端１１ａ１に支持されるとともに、被収容体２０を収容している。

【0017】

塗布装置１０は、箱状を有したチャンバ１３を備え、チャンバ１３は、収容部１２を支持したロボット１１が配置される空間を区画している。チャンバ１３は、ガス供給口１３ａと、搬出入口１３ｂとを有している。ガス供給口１３ａには、ガス供給部１４が接続され、ガス供給部１４はチャンバ１３が区画する空間内に所定のガスを供給する。ガス供給部１４は、例えば窒素ガスなどの不活性ガスであって、所定の露点を有するように水の含有量が調節されたガスを供給する。

【0018】

なお、チャンバ１３は、チャンバを貫通するガス排気口を有し、ガス排気口には、バルブを介して真空排気装置が接続されていてもよい。こうした構成によれば、チャンバ１３が区画する空間内にガス供給部１４から所定のガスを供給しつつ、ガス排気口からガスを排気することによって、チャンバ１３内を大気圧もしくは大気圧よりも減圧された雰囲気に維持することができる。

【0019】

塗布装置１０における処理の対象が接合対象Ｓである。処理前の接合対象Ｓは、搬出入口１３ｂを介してチャンバ１３の内部に搬入され、また、処理後の接合対象Ｓは、搬出入口１３ｂを介してチャンバ１３の外部に搬出される。塗布装置１０は、接合対象Ｓの搬出および搬入を行うロボットをチャンバ１３の外部に備えてもよい。あるいは、塗布装置１０がこうしたロボットを備えていない構成では、接合対象Ｓの搬出および搬入が手動によって行われてもよい。

【0020】

接合対象Ｓは、樹脂製のフィルムあるいは樹脂製のシートであってもよいし、ガラス基板であってもよい。接合対象Ｓが樹脂製であるときには、接合対象Ｓは矩形板状を有してもよいし、帯状を有してもよい。

【0021】

なお、接合対象Ｓが矩形板状を有するときには、上述したロボットによって接合対象Ｓを搬送することが可能である。一方で、接合対象Ｓが帯状を有するときには、塗布装置１０は、チャンバ１３の外部に位置する送り出しローラと、チャンバ１３の内部に位置する巻き取りローラとを備えることが好ましい。こうした構成によれば、帯状を有した接合対象Ｓが、送り出しローラと巻き取りローラとに巻き回された状態で、接合対象Ｓがチャンバ１３の内部と外部との間で搬送される。

【0022】

塗布装置１０は、チャンバ１３の底面に固定されたステージ１５をさらに備え、ステージ１５は、チャンバ１３の内部に搬入された接合対象Ｓを支持する支持面１５Ｓを有している。

【0023】

ステージ１５の内部には、ヒータ１６が位置し、ヒータ１６は支持面１５Ｓに位置する接合対象Ｓを加熱する。ヒータ１６は、例えば、接合対象Ｓの耐熱温度よりも低い温度であって、かつ、被収容体２０が備える組成物が硬化する温度よりも高い温度に支持面１５Ｓを加熱する。

【0024】

ロボット１１は、上述したアーム１１ａを支持する基台１１ｂを備え、基台１１ｂはチャンバ１３の底面に固定されている。なお、チャンバ１３が有する壁面のうち、ステージ１５の固定された底面と対向する面が頂面であり、基台１１ｂは頂面に固定されてもよい。あるいは、基台１１ｂは、チャンバ１３の内部におけるロボット１１の位置を移動させる移動部に固定されてもよい。

【0025】

図２が示すように、被収容体２０は、可視光硬化樹脂を含む組成物２１と、ケース２２とを含んでいる。ケース２２は、組成物２１を内部に収容するための空間を区画するとともに、先端を有した筒状を有している。ケース２２は、ケース２２の先端に接合対象Ｓが接したときに、ケース２２の先端から組成物２１を接合対象Ｓに吐出するように構成されている。

【0026】

より詳しくは、ケース２２は、ケース用筒状部２２ａと、ボール２２ｂと、ケース用蓋部２２ｃとを備えている。ケース用筒状部２２ａは上述した空間を区画し、２つの筒端を有している。２つの筒端のうち、一方の筒端が吐出口２２ａ１を区画し、他方の筒端が取付口２２ａ２を区画している。ボール２２ｂは、ケース用筒状部２２ａの吐出口２２ａ１を塞ぎ、ケース２２の先端の一例である。ボール２２ｂに接合対象Ｓが接すると、ボール２２ｂとケース用筒状部２２ａとの間に隙間が形成され、隙間から組成物２１が接合対象Ｓに吐出される。ケース用蓋部２２ｃは、ケース用筒状部２２ａの取付口２２ａ２を塞いでいる。

【0027】

ここで、ケース２２は、可視光に対する遮光性を有してもよい。あるいは、ケース２２は、可視光に対する遮光性を有しなくてもよく、言い換えれば、可視光に対する透過性を有してもよい。ケース２２が可視光に対する遮光性を有している場合には、接合対象Ｓに塗布される前の組成物２１が、塗布装置１０に取り付けられる前にケース２２の中で硬化することが抑えられる。

【0028】

また、ケース２２が可視光に対する遮光性を有していない場合には、塗布装置１０に取り付けられる前の被収容体２０を、可視光に対する遮光性を有する他の収容体に収容することで、接合対象Ｓに塗布される前の組成物２１がケース２２の中で硬化することが抑えられる。

【0029】

ケース用筒状部２２ａ、ボール２２ｂ、および、ケース用蓋部２２ｃの各々の形成材料は、例えば、金属であってもよいし、可視光に対する遮光性を有した樹脂であってもよいし、可視光に対する透過性を有する樹脂であってもよい。例えば、透明もしくは半透明の樹脂は、ケース２２の内部に収容された組成物２１の残量を容易に確認することができる点で、ケース２２の形成材料として好ましい。

【0030】

組成物２１は可視光硬化性樹脂を含み、可視光硬化性樹脂以外の材料、例えば可視光硬化性樹脂を分散させる分散媒などを含んでもよい。可視光硬化性樹脂は、可視領域の光、例えば３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長を有する光の照射によって硬化する樹脂である。

【0031】

収容部１２は、遮光部３１を備え、遮光部３１は、開口３１ａを有した有蓋筒状を有して被収容体２０の周りを囲むとともに、可視光に対する遮光性を有している。

【0032】

遮光部３１は、筒状部３１ｂと蓋部３１ｃとを備えている。筒状部３１ｂは、被収容体２０を収容する空間を区画し、２つの筒端を有した筒状を有するとともに、可視光に対する遮光性を有している。蓋部３１ｃは、筒状部３１ｂにおける一方の筒端を塞ぐとともに、可視光に対する遮光性を有している。筒状部３１ｂのうち、一方の筒端が上述した開口３１ａを区画し、開口３１ａを区画する筒端とは反対側の筒端が、蓋部３１ｃが取り付けられる取付口３１ｄを区画している。

【0033】

蓋部３１ｃは、支持部３１ｃ１と、被支持部３１ｃ２とを含んでいる。支持部３１ｃ１は、蓋部３１ｃのうち、筒状部３１ｂが区画する空間の内部に位置する部分である。支持部３１ｃ１は、遮光部３１の内部において遮光部３１に接続し、ケース２２の先端を遮光部３１の開口３１ａから露出するように被収容体２０を支持する。

【0034】

被支持部３１ｃ２は、蓋部３１ｃのうち、筒状部３１ｂが区画する空間の外部に位置する部分である。被支持部３１ｃ２は、遮光部３１の外側において遮光部３１に接続し、アーム１１ａの先端１１ａ１に支持される。

【0035】

蓋部３１ｃは、筒状部３１ｂに対する取り付け、および、筒状部３１ｂからの取り外しが可能である。蓋部３１ｃのうち、被支持部３１ｃ２は、蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに取り付けられることによって、筒状部３１ｂの外部において筒状部３１ｂに接続し、支持部３１ｃ１は、蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに取り付けられることによって、筒状部３１ｂの内部において筒状部３１ｂに接続する。

【0036】

例えば、蓋部３１ｃと筒状部３１ｂとは、互いに嵌合する形状を有し、蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに対して嵌合することによって蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに取り付けられてもよい。また例えば、蓋部３１ｃの外周面が凹凸面を含み、かつ、筒状部３１ｂの内周面が凹凸面を含み、蓋部３１ｃの外周面と筒状部３１ｂの内周面とにおいて、互いの凹凸面が螺合されることによって、蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに取り付けられてもよい。

【0037】

例えば、支持部３１ｃ１は、蓋部３１ｃが筒状部３１ｂに取り付けられた状態で、開口３１ａと対向する凹部を有し、支持部３１ｃ１の凹部と、被収容体２０のケース用蓋部２２ｃとが、互いに嵌合することのできる形状を有していればよい。また例えば、支持部３１ｃ１は、被収容体２０に対する粘着性を有し、支持部３１ｃ１の粘着性によって、被収容体２０を支持してもよい。

【0038】

塗布装置１０では、被収容体２０が可視光を遮光する遮光部３１に囲まれた状態で、塗布装置１０に取り付けられる。そのため、接合対象Ｓに塗布される前の組成物２１がケース２２の中で硬化することが抑えられ、接合対象Ｓに組成物２１を塗布することができる。これにより、接合対象Ｓに塗布された組成物２１を他の接合対象Ｓに接触させた後、組成物２１に可視光を照射することによって、２つの接合対象Ｓを接合することができる。

【0039】

このように、塗布装置１０によれば、組成物２１を接合対象Ｓに塗布する工程の後段であって、２つの接合対象Ｓを接合する工程において、組成物２１に含まれる可視光硬化樹脂を硬化させることによって２つの接合対象Ｓを接合することができる。そのため、接合対象Ｓの溶解や、接合対象Ｓによる紫外線の吸収を伴わずに２つの接合対象Ｓを接合することができ、接合対象Ｓの損傷を抑えることができる。

【0040】

収容部１２では、１つの蓋部３１ｃが、被収容体２０を支持する支持部３１ｃ１と、アーム１１ａに支持される被支持部３１ｃ２との２つの機能を有する。そのため、収容部１２が、被支持部と支持部とを各別に有する構成と比べて、収容部１２を構成する部品の点数を少なくすることができる。

【0041】

塗布装置１０では、収容部１２に被収容体２０が収容されている。そのため、被収容体２０が備える組成物２１の全てが被収容体２０の外部に吐出されたときには、収容部１２から被収容体２０を取り外し、新たな被収容体２０を取り付けることで、塗布装置１０が、接合対象Ｓに対して組成物２１を塗布することが可能になる。

【0042】

なお、ケース２２が可視光に対する遮光性を有する場合であれ、可視光に対する遮光性を有しない場合であれ、被収容体２０が塗布装置１０に取り付けられた状態では、被収容体２０を囲む収容部１２が可視光を遮光するため、収容部１２によって組成物２１の硬化が抑えられる。

【0043】

図３が示すように、塗布装置１０は、吸収部１７をさらに備えている。遮光部３１は２つの筒端を含み、２つの筒端のうち、一方の筒端が開口３１ａを区画する筒端であり、この筒端とは異なる筒端に向かう方向が第１方向である。吸収部１７は、アーム１１ａの先端１１ａ１と被支持部３１ｃ２との間に位置している。吸収部１７は、第１方向に沿う力が加えられることによって、第１方向に沿う長さが縮み、かつ、力が解除されることによって、第１方向に沿う長さが伸びることで、第１方向に沿う振動を吸収するように構成されている。

【0044】

より詳しくは、遮光部３１は開口３１ａを区画する筒端と、蓋部３１ｃの被支持部３１ｃ２によって構成される筒端とを含み、開口３１ａを区画する筒端から被支持部３１ｃ２によって構成される筒端に向かう方向が第１方向である。すなわち、第１方向は、接合対象Ｓから吸収部１７に向かう方向である。

【0045】

吸収部１７によって第１方向に沿う振動が吸収される。そのため、接合対象Ｓのうち、組成物２１の塗布される面が凹凸面であっても、接合対象Ｓへの接触によってケース２２の先端に与えられる圧力が変わることが抑えられ、接合対象Ｓに組成物２１が塗布されやすくなる。

【0046】

吸収部１７は、ショックアブソーバーであり、空圧式のショックアブソーバーでもよいし、油圧式のショックアブソーバーでもよい。

【0047】

収容部１２において、蓋部３１ｃの被支持部３１ｃ２が吸収部１７に取り付けられている。すなわち、収容部１２は、吸収部１７を介してアーム１１ａの先端１１ａ１に支持されている。被支持部３１ｃ２は吸収部１７に固定されてもよいし、吸収部１７からの取り外しが可能な状態で、吸収部１７に取り付けられてもよい。

【0048】

被支持部３１ｃ２が吸収部１７に固定される場合には、被支持部３１ｃ２は例えば接着剤によって吸収部１７に固定されればよい。一方で、被支持部３１ｃ２が吸収部１７に対する取り付けと、吸収部１７からの取り外しが可能な場合には、例えば、被支持部３１ｃ２と吸収部１７とは、互いに嵌合する形状を有し、被支持部３１ｃ２が吸収部１７に対して嵌合することによって被支持部３１ｃ２が吸収部１７に取り付けられてもよい。また例えば、被支持部３１ｃ２の外周面は凹凸面を含み、かつ、吸収部１７の外周面は凹凸面を含み、被支持部３１ｃ２の外周面と吸収部１７の外周面とにおいて、互いの凹凸面が螺合されることによって、被支持部３１ｃ２が吸収部１７に取り付けられてもよい。

【0049】

塗布装置１０は、加熱部１８をさらに備え、加熱部１８は、遮光部３１の外側に位置するとともに、遮光部３１を加熱する。遮光部３１は金属製であり、加熱部１８は遮光部３１に接している。遮光部３１の形成材料は、例えばステンレス鋼などであればよい。

【0050】

これにより、遮光部３１からの輻射熱によって組成物２１を加熱することができる。そのため、組成物２１の温度が低下することによって、組成物２１の粘度が、組成物２１がケース２２の先端から吐出されない程度に高まることが抑えられる。

【0051】

また、例えば樹脂製の遮光部などを備える構成と比べて、熱伝導性の高い金属製の遮光部３１を有するため、加熱部１８の設定温度が所定の温度であるときに、輻射によって組成物２１に与える熱量をより大きくすることができる。それゆえに、加熱部１８によって組成物２１を加熱する効率を高めることができる。

【0052】

加熱部１８は、延在方向に沿って、遮光部３１の外周面に螺旋状に巻き回されている。これにより、遮光部３１のうち、加熱部１８が巻き回された部分の全体が、輻射熱によって被収容体２０を加熱することができる。それゆえに、被収容体２０が加熱されやすくなる。

【0053】

加熱部１８は、例えば抵抗加熱式の加熱部である。加熱部１８は、金属製のワイヤーを含み、可撓性を有している。加熱部１８が可撓性を有する構成によれば、上述したように、遮光部３１の外周面を取り囲むように加熱部１８を位置させることが容易である。

【0054】

加熱部１８にはケーブル１９が接続され、ケーブル１９は、加熱部１８と加熱部１８に電力を供給する電源とに接続し、加熱部１８に電源の出力した電力を供給する。

【0055】

以上説明したように、塗布装置の一実施形態によれば、以下に列挙する効果を得ることができる。
（１）塗布装置１０は、接合対象Ｓに可視光硬化性樹脂を含む組成物２１を塗布するため、組成物２１を塗布する構成の後段において、接合対象Ｓの溶解や、接合対象Ｓによる紫外線の吸収を伴わずに２つの接合対象Ｓを接合することができるため、接合対象Ｓの損傷を抑えることができる。

【0056】

（２）遮光部３１からの輻射熱によって組成物２１を加熱することができるため、組成物２１の温度が低下することによって、組成物２１の粘度が、組成物２１がケース２２の先端から吐出されない程度に高まることが抑えられる。

【0057】

（３）熱伝導性の高い金属製の遮光部３１を有するため、加熱部１８の設定温度が所定の温度であるときに、輻射によって組成物２１に与える熱量をより大きくすることができる。それゆえに、加熱部１８によって組成物２１を加熱する効率を高めることができる。

【0058】

（４）蓋部３１ｃが、支持部３１ｃ１と被支持部３１ｃ２との２つの機能を有するため、収容部１２を構成する部品の点数を少なくすることができる。

【0059】

（５）吸収部１７によれば、接合対象Ｓのうち、組成物２１の塗布される面が凹凸面であっても、接合対象Ｓに組成物２１が塗布されやすくなる。

【0060】

なお、上述した実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・塗布装置１０は吸収部１７を有していなくてもよい。この場合には、収容部１２は、アーム１１ａの先端１１ａ１に直接支持されればよく、収容部１２は、アーム１１ａの先端１１ａ１に固定されてもよいし、収容部１２は、アーム１１ａに対する取り付けと、アーム１１ａからの取り外しとが可能な状態で、アーム１１ａの先端に取り付けられてもよい。こうした構成であっても、上述した（１）から（４）と同等の効果を得ることはできる。

【0061】

・収容部１２は、被収容体２０を支持する支持部と、アームに支持される被支持部とを各別に備える構成であってもよい。こうした構成であっても、上述した（１）から（３）、および、（５）と同等の効果を得ることはできる。

【0062】

・支持部３１ｃ１は蓋部３１ｃでなくともよく、収容部１２は、蓋部３１ｃとは異なる部分として支持部を備えてもよい。すなわち、支持部３１ｃ１は、遮光部３１の一部でなくてもよく、遮光部３１とは異なる部分として収容部１２が備えてもよい。例えば、支持部は、筒状部３１ｂの内周面に位置して、被収容体２０を支持する構成であってもよい。

【0063】

・被支持部３１ｃ２は蓋部３１ｃでなくともよく、収容部１２は、蓋部３１ｃとは異なる部分として被支持部を備えてもよい。すなわち、被支持部３１ｃ２は、遮光部３１の一部でなくてもよく、遮光部３１とは異なる部分として収容部１２が備えてもよい。例えば、被支持部は、遮光部３１の外周面に位置して、アーム１１ａの先端１１ａ１によって支持される構成であってもよい。

【0064】

・遮光部３１の形成材料は、上述した金属に限らず、可視光に対する遮光性を有するプラスチックであってもよい。また、上述したように、遮光部３１が筒状部３１ｂと蓋部３１ｃとを備える構成では、筒状部３１ｂの形成材料と蓋部３１ｃの形成材料とが互いに異なる材料であってもよい。これらの場合にも、遮光部３１が可視光を遮光することが可能である以上、上述した（１）と同等の効果を得ることはできる。

【0065】

・加熱部１８は、遮光部３１に接していなくてもよく、加熱部１８は、遮光部３１から離れていてもよい。こうした構成であっても、加熱部１８が輻射によって被収容体２０を加熱することが可能であれば、上述した（２）と同等の効果を得ることはできる。

【0066】

・加熱部１８は、遮光部３１に巻き回された構成に限らず、遮光部３１の内部に位置する、言い換えれば、遮光部３１の内部に埋め込まれてもよいし、遮光部３１によって区画される空間の内部に位置してもよい。こうした構成であっても、被収容体２０を加熱することが可能であるため、上述した（２）と同等の効果を得ることはできる。

【0067】

なお、加熱部１８が遮光部３１の外側に位置する構成は、加熱部１８に接続するケーブル１９の引き回しが容易である点で、上述した２つの構成と比べて好ましい。

【0068】

・塗布装置１０は加熱部を備えていなくてもよい。こうした構成では、塗布装置１０が、例えば、組成物２１の粘度が、組成物２１がケース２２から吐出されにくくなる程度に高まらない温度に、チャンバ１３によって区画される空間の全体を加熱することのできる構成であってもよい。

【0069】

なお、加熱部１８を備える構成は、塗布装置１０の内部に位置する構成の全てが、チャンバ１３が区画する空間の温度に対する耐熱性を有する必要がない点、および、被収容体２０の加熱に必要なエネルギーを抑えることができる点で、上述した構成よりも好ましい。

【符号の説明】

【0070】

１０…塗布装置、１１…ロボット、１１ａ…アーム、１１ａ１…先端、１１ｂ…基台、１２…収容部、１３…チャンバ、１３ａ…ガス供給口、１３ｂ…搬出入口、１４…ガス供給部、１５…ステージ、１５Ｓ…支持面、１６…ヒータ、１７…吸収部、１８…加熱部、１９…ケーブル、２０…被収容体、２１…組成物、２２…ケース、２２ａ…ケース用筒状部、２２ａ１…吐出口、２２ａ２，３１ｄ…取付口、２２ｂ…ボール、２２ｃ…ケース用蓋部、３１…遮光部、３１ａ…開口、３１ｂ…筒状部、３１ｃ…蓋部、３１ｃ１…支持部、３１ｃ２…被支持部、Ｓ…接合対象。

【図1】

【図2】

【図3】