特開2017-216338マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置

発明の名称　マルチ荷電粒子ビームのブランキング装置及びマルチ荷電粒子ビーム照射装置

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 409 位（25件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 664 位（10件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2017-216338

公報発行日　2017年12月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2017-216338

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