特開2017-85094(P2017-85094A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2017-85094配向ノッチを有する半導体ウエハーを保持するためのサセプタ、半導体ウエハー上に層を堆積するための方法、および半導体ウエハー
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  • 特開2017085094-配向ノッチを有する半導体ウエハーを保持するためのサセプタ、半導体ウエハー上に層を堆積するための方法、および半導体ウエハー 図000003
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