特開2018-108910(P2018-108910A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-108910シリコン単結晶の引き上げ条件演算プログラム、シリコン単結晶のホットゾーンの改良方法、およびシリコン単結晶の育成方法
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