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株式会社SUMCO

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  2025年 特許取得件数ランキング    第421位 7件 下降2024年:第402位 73件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7626052 シリコン試料の炭素濃度評価方法、シリコンウェーハ製造工程の評価方法、シリコンウェーハの製造方法およびシリコン単結晶インゴットの製造方法 2025年 2月 4日
特許 7626145 シリコン単結晶の酸素濃度推定方法、シリコン単結晶の製造方法及びシリコン単結晶製造装置 2025年 2月 4日
特許 7626518 貼り合わせウェーハ用の支持基板の製造方法、および貼り合わせウェーハ用の支持基板 2025年 2月 4日
特許 7616004 エピタキシャル成長装置の基板載置位置の偏心量を評価する方法及び当該評価方法を用いたエピタキシャルウェーハの製造方法 2025年 1月17日
特許 7616020 監視方法、監視プログラム、監視装置、ウェーハの製造方法、及びウェーハ 2025年 1月17日
特許 7613413 両面研磨用キャリア及びこれを用いたシリコンウェーハの両面研磨方法及び装置 2025年 1月15日
特許 7613481 シリコン単結晶の育成方法 2025年 1月15日

7 件中 1-7 件を表示

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7626052 7626145 7626518 7616004 7616020 7613413 7613481

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