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株式会社ＳＵＭＣＯ

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株式会社ＳＵＭＣＯの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7934876	単結晶シリコンインゴットの製造設備及び単結晶シリコンインゴットの製造方法	2026年10月14日
特許 7934869	石英ガラスルツボ及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法	2026年10月14日
特許 7934580	黒鉛ルツボ及びこれを用いたシリコン試料の酸素濃度測定方法	2026年10月14日
特許 7934579	熱遮蔽体位置決め治具、熱遮蔽体位置決め方法、および、シリコン単結晶の製造方法	2026年10月14日
特許 7934426	シリコン単結晶の結晶欠陥の面内分布の予測方法及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法	2026年10月14日
特許 7930354	イオン注入機の金属汚染評価方法及びイオン注入シリコンウェーハの製造方法	2026年10月 6日
特許 7921017	外観検査装置および外観検査方法	2026年 9月15日
特許 7916811	シリコン単結晶の製造方法、および、シリコン単結晶製造装置	2026年 9月 8日
特許 7913616	エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャル成長装置	2026年 9月 1日
特許 7913570	単結晶シリコンインゴットの製造装置及び単結晶シリコンインゴットの製造方法	2026年 9月 1日
特許 7913468	基板処理装置及び基板処理方法	2026年 9月 1日
特許 7910514	ウェーハの形状評価方法	2026年 8月25日
特許 7910550	定盤冷却構造、片面研磨装置、定盤冷却方法、および、ウェーハの製造方法	2026年 8月25日
特許 7907488	欠陥検出装置、欠陥検出方法、及びプログラム	2026年 8月19日
特許 7907613	梱包体および梱包方法	2026年 8月19日

53 件中 1-15 件を表示

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7934876 7934869 7934580 7934579 7934426 7930354 7921017 7916811 7913616 7913570 7913468 7910514 7910550 7907488 7907613

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