特開 2018-120799 半導体装置、リレーシステム、テストシステム及びリレーの駆動方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】特開2018-120799(P2018-120799A)

(43)【公開日】2018年8月2日

(54)【発明の名称】半導体装置、リレーシステム、テストシステム及びリレーの駆動方法

(51)【国際特許分類】

   H01H 47/32 20060101AFI20180706BHJP

   G01R 31/28 20060101ALI20180706BHJP

   H01H 47/00 20060101ALI20180706BHJP

   H01H 9/54 20060101ALI20180706BHJP

【ＦＩ】

   H01H47/32 Z

   G01R31/28 K

   H01H47/00 A

   H01H9/54 B

   H01H9/54 C

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2017-12452(P2017-12452)

(22)【出願日】2017年1月26日

(71)【出願人】

【識別番号】308033711

【氏名又は名称】ラピスセミコンダクタ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100079119

【弁理士】

【氏名又は名称】藤村 元彦

(74)【代理人】

【識別番号】100147728

【弁理士】

【氏名又は名称】高野 信司

(72)【発明者】

【氏名】伴 将史

【テーマコード（参考）】

2G132

5G034

5G057

【Ｆターム（参考）】

2G132AE11

2G132AF10

2G132AJ03

5G034AB01

5G034AB14

5G034AE03

5G057AA02

5G057BB07

5G057BC03

5G057KK01

5G057RR06

5G057RS07

(57)【要約】

【目的】装置規模の増大を招くこと無く複数のリレーを駆動することが可能な半導体装置、テストシステム及びリレーの駆動方法を提供することを目的とする。
【構成】リレー制御信号を受ける制御端子と、リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、第１〜第ｎのノードのうちで、電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を所定電圧値に維持する電圧制限部と、第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜第ｎの駆動端子と、を含む。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の駆動信号を生成する半導体装置であって、
リレー制御信号を受ける制御端子と、
前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、
前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、
前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜第ｎの駆動端子と、を含むことを特徴とする半導体装置。

【請求項2】

前記電圧印加部は、前記制御端子と前記第１〜第ｎのノード各々との間に設けられている第１〜第ｎの電流路を含み、前記電流路の各々には、前記電流路毎に異なる個数にて直列に接続されているツェナーダイオードが含まれていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。

【請求項3】

前記電圧印加部は、前記リレー制御信号に応じて所定の一定電流を前記第１〜第ｎのノードに送出する第１〜第ｎの定電流ダイオードを含むことを特徴とする請求項２に記載の半導体装置。

【請求項4】

前記電圧制限部は、前記第１〜第ｎのノードに夫々のアノードが接続されており、夫々のカソードに接地電位が印加されている第１〜第ｎのツェナーダイオードを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１に記載の半導体装置。

【請求項5】

第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）のリレーと、前記第１〜第ｎのリレーのスイッチ状態を切り替える第１〜第ｎの駆動信号を生成する駆動回路と、を含むリレーシステムであって、
前記駆動回路は、
リレー制御信号を受ける制御端子と、
前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、
前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、
前記第１〜第ｎのノードの電圧を前記第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜〜第ｎの駆動端子と、を含むことを特徴とするリレーシステム。

【請求項6】

電子機器をテストするテスト装置を含むテストシステムであって、
リレー制御信号を受ける制御端子と、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜第ｎの駆動端子と、を含む駆動回路と、
夫々がスイッチと前記スイッチの状態を切り替えるコイルを含み、前記第１〜第ｎの駆動端子に夫々の前記コイルが接続されている第１〜第ｎのリレーと、
前記電子機器及び前記テスト装置間を前記第１〜第ｎのリレーの前記スイッチを夫々介して接続する配線と、
テスト項目毎に、そのテスト項目に対応した電圧値及び電流値を有する前記リレー制御信号を生成するリレー制御信号生成部と、を含むことを特徴とするテストシステム。

【請求項7】

第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）のリレーのスイッチの状態を切り替える駆動信号を生成するリレーの駆動方法であって、
リレー制御信号を受け、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ低下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノードに印加しつつ、前記第１〜第ｎのノードのうちで前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持し、
前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として前記第１〜第ｎのリレーに供給することを特徴とするリレーの駆動方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、複数の駆動信号を生成する半導体装置、リレーシステム、テストシステム及びリレーの駆動方法に関する。

【背景技術】

【0002】

近年、各種電子機器の高機能化、多機能化が実現しており、それに伴い、電子機器の制御を担う半導体装置（以降、ＬＳＩと称する）の評価テストにも、高機能化、多機能化に適応したテストの実施が望まれている。

【0003】

そこで、テスト対象となるＬＳＩの外部端子と、ＬＳＩテスタのテストピンとを任意に接続又は遮断できるようにしたテスト用治具を設けてＬＳＩの評価テストを行う場合がある。テスト対象となるＬＳＩの各外部端子と、ＬＳＩテスタの各テストピンとの間を接続又は遮断するスイッチとしては、例えばオフ状態時のリーク電流が少ないリレーが用いられる。

【0004】

また、このようなＬＳＩの評価テストで用いるリレーとして、一対の接点片を有するリードスイッチと、駆動信号に応じてリードスイッチのオン・オフ状態を制御する駆動回路と、を有するリードリレーが知られている（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００４−３６２９９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ところで、テスト用治具として上記したようなリレーを含むものを採用すると、そのリレーの数の分だけ、各リレーを個別にオン・オフ制御する駆動信号用の配線が必要となる。よって、多数のリレーを個別にオン・オフ制御する為には、駆動信号用の配線がリレーの個数分だけ必要となり、テスト用治具の装置規模が大きくなるという問題が生じる。

【0007】

そこで、本発明は、装置規模の増大を招くこと無く複数のリレーを駆動することが可能な半導体装置、リレーシステム、テストシステム及びリレーの駆動方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る半導体装置は、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の駆動信号を生成する半導体装置であって、リレー制御信号を受ける制御端子と、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜第ｎの駆動端子と、を含む。

【0009】

本発明に係るリレーシステムは、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）のリレーと、前記第１〜第ｎのリレーのスイッチ状態を切り替える第１〜第ｎの駆動信号を生成する駆動回路と、を含むリレーシステムであって、前記駆動回路は、リレー制御信号を受ける制御端子と、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、前記第１〜第ｎのノードの電圧を前記第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜〜第ｎの駆動端子と、を含む。

【0010】

本発明に係るテストシステムは、電子機器をテストするテスト装置を含むテストシステムであって、リレー制御信号を受ける制御端子と、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノードに印加する電圧印加部と、前記第１〜第ｎのノードのうちで、前記電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を前記所定電圧値に維持する電圧制限部と、前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として出力する第１〜第ｎの駆動端子と、を含む駆動回路と、夫々がスイッチと前記スイッチの状態を切り替えるコイルを含み、前記第１〜第ｎの駆動端子に夫々の前記コイルが接続されている第１〜第ｎのリレーと、前記電子機器及び前記テスト装置間を前記第１〜第ｎのリレーの前記スイッチを夫々介して接続する配線と、テスト項目毎に、そのテスト項目に対応した電圧値を有する前記リレー制御信号を生成するリレー制御信号生成部と、を含む。

【0011】

本発明に係るリレーの駆動方法は、第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）のリレーのスイッチの状態を切り替える駆動信号を生成するリレーの駆動方法であって、リレー制御信号を受け、前記リレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ低下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノードに印加しつつ、前記ノードに印加された電圧が所定電圧値以上となった場合には前記ノードの電圧を前記所定電圧値に維持し、前記第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号として前記第１〜第ｎのリレーに供給することを特徴とする。

【発明の効果】

【0012】

本発明においては、制御端子で受けたリレー制御信号によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノードに印加しつつ、これら第１〜第ｎのノードのうちで上記のように印加された電圧が所定電圧値以上となるノードの電圧を所定電圧値に維持する。そして、第１〜第ｎのノードの電圧を、第１〜第ｎのリレー各々のスイッチ状態を切り替える第１〜第ｎの駆動信号として出力する。

【0013】

これにより、リレー制御信号の電圧値を（ｎ＋１）段階で変更して得られた第１〜第ｎの駆動信号により、駆動対象となる例えばｎ個のリレーによるスイッチパターンを（ｎ＋１）通りに設定することが可能となる。よって、リレー制御信号を供給する制御用配線を１系統分だけ用意すれば良いので、ｎ個のリレーに夫々独立した制御用配線が必要となる従来装置に比べて、装置全体の規模を縮小化することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明に係る半導体装置としての駆動回路１００を含むリレーシステム２００の構成を示す図である。

【図2A】リレー制御信号ＶＬと、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷの状態との対応関係の一例を示す図である。

【図2B】図２Ａに示すリレー制御信号ＶＬと、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷの状態との対応関係において、リレー制御信号ＶＬの具体的な数値例（電圧値及び電流値）を示す図である。

【図3】スイッチパターン２における駆動回路１００内の電流経路を表す図である。

【図4】スイッチパターン３における駆動回路１００内の電流経路を表す図である。

【図5】スイッチパターン４における駆動回路１００内の電流経路を表す図である。

【図6】ＬＳＩテストを行う際のテストシステムの構成を表す図である。

【図7】各テスト項目と、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷの状態との対応関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明する。

【0016】

図１は、本発明に係る半導体装置としての駆動回路１００と、リレーＲＬ１〜ＲＬ３とを含むリレーシステム２００の構成を示す回路図である。駆動回路１００は、制御端子Ｔ０、駆動端子Ｔ１〜Ｔ３、定電流ダイオードＤ１〜Ｄ３、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ６を含む。

【0017】

制御端子Ｔ０には、リレー制御信号供給ラインＣＬを介して定電流ダイオードＤ１〜Ｄ３各々のアノードが接続されている。尚、制御端子Ｔ０は、外部供給されたリレー制御信号ＶＬを受け、当該リレー制御信号ＶＬをリレー制御信号供給ラインＣＬを介して定電流ダイオードＤ１〜Ｄ３各々のアノードに供給する。

【0018】

定電流ダイオードＤ１のカソードには、ノードｎ１を介してツェナーダイオードＺＤ１のカソード及び駆動端子Ｔ１が接続されている。ツェナーダイオードＺＤ１のアノードには接地電位ＧＮＤが印加されている。尚、これら定電流ダイオードＤ１、ツェナーダイオードＺＤ１及び駆動端子Ｔ１を含む電流路を第１の電流路と称する。

【0019】

定電流ダイオードＤ２のカソードには、ツェナーダイオードＺＤ２のカソードが接続されている。ツェナーダイオードＺＤ２のアノードにはノードｎ２を介してツェナーダイオードＺＤ３のカソード及び駆動端子Ｔ２が接続されている。ツェナーダイオードＺＤ３のアノードには接地電位ＧＮＤが印加されている。尚、これら定電流ダイオードＤ２、ツェナーダイオードＺＤ２、ＺＤ３及び駆動端子Ｔ２を含む電流路を第２の電流路と称する。

【0020】

定電流ダイオードＤ３のカソードには、ツェナーダイオードＺＤ４のカソードが接続されている。ツェナーダイオードＺＤ４のアノードにはツェナーダイオードＺＤ５のカソードが接続されている。ツェナーダイオードＺＤ５のアノードにはノードｎ３を介してツェナーダイオードＺＤ６のカソード及び駆動端子Ｔ３が接続されている。ツェナーダイオードＺＤ６のアノードには接地電位ＧＮＤが印加されている。尚、これら定電流ダイオードＤ３、ツェナーダイオードＺＤ４〜ＺＤ６及び駆動端子Ｔ３を含む電流路を第３の電流路と称する。

【0021】

以下に、図１に示す駆動回路１００の内部動作について説明する。尚、上記したツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ６の各々は、例えば４ボルト以上且つ５ボルト以下に設定されているツェナー電圧以上の電圧が逆方向に印加された場合にブレークダウンするものとする。ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ６の各々は、このブレークダウンが生じた場合にカソードからアノードに向けてツェナー電流が流れる。また、ツェナーダイオードＺＤ１〜ＺＤ６の各々は、例えばツェナー電流が１０ミリアンペア以上となる場合に、自身のカソード及びアノード間の電圧が５ボルト一定となる特性を有するものとする。また、上記した定電流ダイオードＤ１〜Ｄ３の各々はリレー制御信号供給ラインＣＬに印加されたリレー制御信号ＶＬに応じて、例えば２０ミリアンペア一定の電流を送出するものとする。

【0022】

図１において、定電流ダイオードＤ１は、リレー制御信号供給ラインＣＬに印加されたリレー制御信号ＶＬに応じて、例えば２０ミリアンペア一定の電流をノードｎ１に送出する。この際、定電流ダイオードＤ１は、リレー制御信号ＶＬを自身の順方向電圧分だけ降下させた電圧をノードｎ１に印加する。

【0023】

定電流ダイオードＤ２は、リレー制御信号供給ラインＣＬに印加されたリレー制御信号ＶＬに応じて、例えば２０ミリアンペア一定の電流をツェナーダイオードＺＤ２を介してノードｎ２に送出する。この際、定電流ダイオードＤ２及びツェナーダイオードＺＤ２は、リレー制御信号ＶＬがツェナーダイオードＺＤ２のツェナー電圧以上となった場合に、このリレー制御信号ＶＬをツェナー電圧（例えば５ボルト）の分だけ降下させた電圧をノードｎ２に印加する。

【0024】

定電流ダイオードＤ３は、リレー制御信号供給ラインＣＬに印加されたリレー制御信号ＶＬに応じて、２０ミリアンペア一定の電流をツェナーダイオードＺＤ４及びＺＤ５を介してノードｎ３に送出する。この際、定電流ダイオードＤ３、ツェナーダイオードＺＤ４及びＺＤ５は、リレー制御信号ＶＬがツェナーダイオードＺＤ４及びＺＤ５各々によるツェナー電圧の合計電圧値（例えば１０ボルト）以上となった場合に、このリレー制御信号ＶＬを当該合計電圧値の分だけ降下させた電圧をノードｎ３に印加する。

【0025】

ツェナーダイオードＺＤ１は、ノードｎ１に印加された電圧がツェナー電圧（例えば５ボルト）以上となった場合に、当該ノードｎ１の電圧値をツェナー電圧に維持する。ツェナーダイオードＺＤ３は、ノードｎ２に印加された電圧がツェナー電圧以上となった場合に、当該ノードｎ２の電圧値をツェナー電圧に維持する。また、ツェナーダイオードＺＤ６は、ノードｎ３に印加された電圧がツェナー電圧以上となった場合に、当該ノードｎ３の電圧値をツェナー電圧に維持する。

【0026】

駆動端子Ｔ１は、上記したノードｎ１の電圧を駆動信号Ｖ１として外部出力する。駆動端子Ｔ２は、ノードｎ２の電圧を駆動信号Ｖ２として外部出力する。駆動端子Ｔ３は、ノードｎ３の電圧を駆動信号Ｖ３として外部出力する。

【0027】

駆動回路１００の駆動端子Ｔ１にはリレーＲＬ１が接続され、駆動端子Ｔ２にはリレーＲＬ２が接続され、駆動端子Ｔ３にはリレーＲＬ３が接続されている。

【0028】

リレーＲＬ１〜ＲＬ３は同一の内部構成を有し、夫々がスイッチＳＷ及びこのスイッチＳＷのオン・オフ状態の切り替えを行うコイルＬを有する。尚、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のコイルＬは、例えば５ボルトの駆動信号が印加され且つ１０ミリアンペア以上の電流が流れた場合に、スイッチＳＷをオフ状態からオン状態に切り替える。尚、スイッチＳＷは接続点ａ〜ｃを有し、オフ状態時には接続点ａを接続点ｂに接続し、オン状態時には接続点ａを接続点ｃに接続するものとする。

【0029】

リレーＲＬ１のコイルＬの一端には駆動回路１００の駆動端子Ｔ１が接続されており、当該コイルＬの他端には接地電位ＧＮＤが印加されている。リレーＲＬ２のコイルＬの一端には駆動回路１００の駆動端子Ｔ２が接続されており、当該コイルＬの他端には接地電位ＧＮＤが印加されている。リレーＲＬ３のコイルＬの一端には駆動回路１００の駆動端子Ｔ３が接続されており、当該コイルＬの他端には接地電位ＧＮＤが印加されている。

【0030】

以下に、図１に示すリレーシステム２００の動作について、図２Ａ及び図２Ｂを参照しつつ説明する。尚、図２Ａは、リレー制御信号ＶＬと、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷの状態との対応関係の一例を示す図である。また、図２Ｂは、図２Ａに示すリレー制御信号ＶＬと、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷの状態との対応関係において、リレー制御信号ＶＬの具体的な数値例（電圧値及び電流値）を示す図である。

【0031】

リレーシステム２００では、制御端子Ｔ０に供給するリレー制御信号ＶＬの電圧値及び電流値を４段階に変更することにより、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷのオン・オフ状態を、図２Ａに示すような４通りのパターンで切り替えることができる。

【0032】

すなわち、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のスイッチＳＷを全てオフ状態（スイッチパターン１）に設定するには、電圧値Ｙ１及び電流値Ｘ１を有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。また、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のうちのＲＬ１のスイッチＳＷのみをオン状態（スイッチパターン２）に設定するには、図２Ａに示すように、電圧値Ｙ２及び電流値Ｘ２を有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。また、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のうちのＲＬ１及びＲＬ２のスイッチＳＷみをオン状態（スイッチパターン３）に設定するには、図２Ａに示すように、電圧値Ｙ３及び電流値Ｘ３を有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。また、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のスイッチＳＷを全てオン状態（スイッチパターン４）に設定するには、電圧値Ｙ４及び電流値Ｘ４を有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。

【0033】

ここで、電圧値Ｙ１〜Ｙ４各々の具体的な数値の一例は、図２Ｂに示すように、Ｙ１＝０ボルト、Ｙ２＝５ボルト、Ｙ３＝１０ボルト、Ｙ４＝１５ボルトである。また、電流値Ｘ１〜Ｘ４各々の具体的な数値の一例は、図２Ｂに示すように、Ｘ１＝０ｍＡ、Ｘ２＝２０ｍＡ、Ｘ３＝４０ｍＡ、Ｘ４＝６０ｍＡである。

【0034】

そこで、以下に、電圧値Ｙ１〜Ｙ４、電流値Ｘ１〜Ｘ４として、図２Ｂに示す具体的な数値を用いて、リレーシステム２００の内部の詳細な動作を説明する。

【0035】

例えば、図２Ｂに示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のスイッチＳＷを全てオフ状態（スイッチパターン１）に設定するには、０ボルト及び０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。この際、第１の電流路（Ｄ１、ＺＤ１、Ｔ１）、第２の電流路（Ｄ２、ＺＤ２、ＺＤ３、Ｔ２）、及び第３の電流路（Ｄ３、ＺＤ４〜ＺＤ６、Ｔ３）のいずれにも電流は流れないので、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷは全てオフ状態、つまり接続点ａが接続点ｂに接続された状態に設定される。

【0036】

また、図２Ｂに示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のうちのＲＬ１のスイッチＳＷのみをオン状態（スイッチパターン２）に設定するには、５ボルト及び２０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。

【0037】

これにより、定電流ダイオードＤ１の順方向電圧分だけ電圧値が降下したリレー制御信号ＶＬがノードｎ１に印加される。この際、リレー制御信号ＶＬの電圧値が５ボルトであると、第２の電流路に含まれるツェナーダイオードＺＤ２及びＺＤ３、並びに第３の電流路に含まれるＺＤ４〜ＺＤ６はブレークダウンしない。よって、ノードｎ２及びｎ３には電圧印加が為されず、それ故、第１〜第３の電流路のうちで、第１の電流路（Ｄ１、ＺＤ１、Ｔ１）のみに電流が流れる。つまり、図３の矢印に示すように、第１の電流路では、定電流ダイオードＤ１が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₁を送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₂がツェナーダイオードＺＤ１に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₃が駆動端子Ｔ１を介してリレーＲＬ１のコイルＬに送出される。この際、ツェナーダイオードＺＤ１のブレークダウンにより、例えば５ボルト一定の駆動信号Ｖ１がリレーＲＬ１のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ１のスイッチＳＷがオン状態、つまりリレーＲＬ１のスイッチＳＷの接続点ａが接続点ｃに接続された状態となる。

【0038】

また、図２Ｂに示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のうちのＲＬ１及びＲＬ２のスイッチＳＷをオン状態に設定（スイッチパターン３）するには、１０ボルト及び４０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。

【0039】

これにより、定電流ダイオードＤ１の順方向電圧分だけ電圧値が降下したリレー制御信号ＶＬがノードｎ１に印加される。また、リレー制御信号ＶＬの電圧値が１０ボルトであるので第２の電流路に含まれるツェナーダイオードＺＤ２及びＺＤ３がブレークダウンし、リレー制御信号ＶＬをツェナーダイオードＺＤ２のツェナー電圧分だけ降下させた電圧、つまり５ボルトの電圧がノードｎ２に印加される。尚、リレー制御信号ＶＬの電圧値が１０ボルトであるので、第３の電流路に含まれるツェナーダイオードＺＤ４〜ＺＤ６はブレークダウンせず、ノードｎ３には電圧印加が為されない。

【0040】

よって、第１〜第３の電流路のうちの第１の電流路（Ｄ１、ＺＤ１、Ｔ１）及び第２の電流路（Ｄ２、ＺＤ２、ＺＤ３、Ｔ２）に夫々電流が流れる。つまり、図４の矢印に示すように、第１の電流路では、定電流ダイオードＤ１が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₁を送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₂がツェナーダイオードＺＤ１に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₃が駆動端子Ｔ１を介してリレーＲＬ１のコイルＬに送出される。この際、ノードｎ１には例えば１０ボルトの電圧が印加されるものの、ツェナーダイオードＺＤ１のブレークダウンにより、５ボルト一定の駆動信号Ｖ１がリレーＲＬ１のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ１のスイッチＳＷがオン状態となる。第２の電流路では、図４の矢印に示すように、定電流ダイオードＤ２が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₄をツェナーダイオードＺＤ２を介して送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₅がツェナーダイオードＺＤ３に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₆が駆動端子Ｔ２を介してリレーＲＬ２のコイルＬに送出される。この際、ノードｎ２に印加された５ボルトの電圧を有する駆動信号Ｖ２がリレーＲＬ２のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ２のスイッチＳＷがオン状態、つまりリレーＲＬ２のスイッチＳＷの接続点ａが接続点ｃに接続された状態となる。

【0041】

また、図２Ｂに示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３のスイッチＳＷを全てオン状態に設定（スイッチパターン４）するには、１５ボルト及び６０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。

【0042】

これにより、定電流ダイオードＤ１の順方向電圧分だけ電圧値が降下したリレー制御信号ＶＬがノードｎ１に印加される。また、リレー制御信号ＶＬの電圧値が１５ボルトであるので第２の電流路に含まれるツェナーダイオードＺＤ２及びＺＤ３がブレークダウンし、リレー制御信号ＶＬをツェナーダイオードＺＤ２のツェナー電圧分だけ降下させた例えば１０ボルトの電圧がノードｎ２に印加される。更に、リレー制御信号ＶＬの電圧値が１５ボルトであることから、第３の電流路に含まれるツェナーダイオードＺＤ４〜ＺＤ６もブレークダウンし、リレー制御信号ＶＬをツェナーダイオードＺＤ４及びＺＤ５各々によるツェナー電圧の合計電圧値（例えば１０ボルト）分だけ降下させた電圧、つまり５ボルトの電圧がノードｎ３に印加される。

【0043】

よって、第１の電流路（Ｄ１、ＺＤ１、Ｔ１）、第２の電流路（Ｄ２、ＺＤ２、ＺＤ３、Ｔ２）及び第３の電流路（Ｄ３、ＺＤ４〜ＺＤ６、Ｔ３）に夫々電流が流れる。

【0044】

つまり、図５の矢印に示すように、第１の電流路では、定電流ダイオードＤ１が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₁を送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₂がツェナーダイオードＺＤ１に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₃が駆動端子Ｔ１を介してリレーＲＬ１のコイルＬに送出される。この際、ノードｎ１には１５ボルトの電圧が印加されているものの、ツェナーダイオードＺＤ１のブレークダウンにより、５ボルト一定の駆動信号Ｖ１がリレーＲＬ１のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ１のスイッチＳＷがオン状態となる。

【0045】

また、第２の電流路では、図５の矢印に示すように、定電流ダイオードＤ２が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₄をツェナーダイオードＺＤ２を介して送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₅がツェナーダイオードＺＤ３に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₆が駆動端子Ｔ２を介してリレーＲＬ２のコイルＬに送出される。この際、ノードｎ２には１０ボルトの電圧が印加されるものの、ツェナーダイオードＺＤ３のブレークダウンにより、５ボルト一定の駆動信号Ｖ２がリレーＲＬ２のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ２のスイッチＳＷがオン状態となる。

【0046】

第３の電流路では、図５の矢印に示すように、定電流ダイオードＤ３が例えば２０ミリアンペアの電流Ｉ₇をツェナーダイオードＺＤ４及びＺＤ５を介して送出し、そのうちの例えば１０ミリアンペア分の電流Ｉ₈がツェナーダイオードＺＤ６に流れ、残りの１０ミリアンペア分の電流Ｉ₉が駆動端子Ｔ３を介してリレーＲＬ３のコイルＬに送出される。この際、ノードｎ３に印加された５ボルトの電圧を有する駆動信号Ｖ３がリレーＲＬ３のコイルＬに印加され、当該リレーＲＬ３のスイッチＳＷがオン状態、つまりリレーＲＬ３のスイッチＳＷの接続点ａが接続点ｃに接続された状態となる。

【0047】

以上のように、図１に示すリレーシステム２００では、単一の制御端子Ｔ０に供給するリレー制御信号ＶＬの電圧値を４段階（例えば０、５、１０、１５ボルト）で変更することにより、３つのリレーＲＬ１〜ＲＬ３によるスイッチパターン（オン・オフ状態）を、図２Ａ又は図２Ｂに示すような４通りに設定することが可能となる。

【0048】

よって、リレー制御信号ＶＬを制御端子Ｔ０に供給する為の制御用配線を１系統分だけ用意すれば、３個のリレーを４通りのスイッチパターンに設定することができるので、３個のリレーに対して独立した３系統分の制御用配線が必要となる従来装置に比して、装置全体の規模を縮小化することが可能となる。

【0049】

尚、図１に示す駆動回路１００では、定電流ダイオードＤ１〜Ｄ３、ツェナーダイオードＺＤ２、ＺＤ４及びＺＤ５により、リレー制御信号ＶＬを夫々異なる電圧値（０ボルト、５ボルト、１０ボルト）の分だけ降下させた第１〜第３の電圧をノードｎ１〜ｎ３に印加している。しかしながら、上記のように電圧降下を生じさせる素子としては、ツェナーダイオードに限定されず、例えば抵抗素子、或いは当該ツェナーダイオードと同等な動作を為す回路を採用しても良い。

【0050】

また、図１に示す駆動回路１００では、５ボルトの駆動信号によってスイッチの切替が為されるリレーを駆動しているが、５ボルト以外の所定電圧値を有する駆動信号でスイッチ切替が為されるリレーを駆動するようにしても良い。また、駆動回路１００では、リレーのスイッチ切換が為される所定電圧値（５ボルト）を超えた電圧がノードｎ１〜ｎ３に印加された場合に、ノードｎ１〜ｎ３の電圧値を所定電圧値（５ボルト）に維持させる素子として、ツェナーダイオード（ＺＤ１、ＺＤ３及びＺＤ６）を採用している。しかしながら、所定電圧値を超えた電圧がノードｎ１〜ｎ３に印加された場合に、ノードｎ１〜ｎ３の電圧値を所定電圧値に維持させることができる素子或いは回路を、ツェナーダイオードＺＤ１、ＺＤ３及びＺＤ６に代えて採用しても良い。

【0051】

また、図１に示す駆動回路１００では、リレー制御信号ＶＬに応じて３つのリレーＲＬ１〜ＲＬ３を個別に駆動する３つの駆動信号Ｖ１〜Ｖ３を生成しているが、生成する駆動信号の数は３つに限定されず、また、駆動対象となる機器もリレーに限定されない。

【0052】

要するに、駆動回路１００は、リレー制御信号（ＶＬ）に応じて第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の駆動信号を生成するものであり、以下の制御端子、電圧印加部、電圧制限部及び駆動端子を含むものであれば良いのである。つまり、電圧印加部（Ｄ１〜Ｄ３、ＺＤ２、ＺＤ４、ＺＤ５）は、制御端子（Ｔ０）で受けたリレー制御信号（ＶＬ）によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎの電圧を第１〜第ｎのノード（ｎ１〜ｎ３）に印加する。電圧制限部（ＺＤ１〜ＺＤ３）は、第１〜第ｎのノードのうちで、上記した電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値（例えば５ボルト）以上となるノードの電圧を所定電圧値に維持する。第１〜第ｎの駆動端子（Ｔ１〜Ｔ３）は、第１〜第ｎのノードの電圧を第１〜第ｎの駆動信号（Ｖ１〜Ｖ３）として出力する。

【0053】

かかる構成によれば、リレー制御信号の電圧値を（ｎ＋１）段階で変更することにより、駆動対象となる例えばｎ個のリレーによるスイッチのパターンを（ｎ＋１）通りに設定することが可能となる。よって、リレー制御信号を供給する為の制御用配線を１系統分だけ用意すれば良いので、ｎ個のリレーに夫々独立した制御用配線が必要となる従来装置に比べて、装置全体の規模を縮小化することが可能となる。

【0054】

次に、図１に示すリレーシステム２００を、製品出荷前のＬＳＩのテストに用いるテスト用治具として採用した場合におけるテスト方法について説明する。

【0055】

図６は、製品出荷前のＬＳＩ３００をテストするテストシステムの構成を示す図である。当該テストシステムは、テスト対象となるＬＳＩ３００及び当該ＬＳＩ３００のテストを行うＬＳＩテスタ５００と共に、テスト用治具としてのリレーシステム２００及びリレー制御信号生成部４００を含む。尚、ＬＳＩ３００には、自身に形成されている内部回路に電源電圧の供給を行うレギュレータ（図示せず）が設けられているものとする。更に、ＬＳＩ３００には、当該レギュレータで生成された電源電圧を出力電圧ＲＥＧとして外部出力すると共に、出力電圧ＲＥＧの電圧変動を抑えてその電圧値を一定化する為のキャパシタを接続する為の外部端子ＴＢが設けられている。また、図６に示すテストシステムでは、ＬＳＩ３００の複数の外部端子のうちで、出力電圧ＲＥＧを出力する外部端子ＴＢを除く各外部端子が直接、テストピンを介してＬＳＩテスタ５００に接続されているものとする。

【0056】

図６において、テスト対象となるＬＳＩ３００の外部端子ＴＢは、出力ラインＯＬを介してリレーＲＬ２のスイッチＳＷの接続点ａ及びリレーＲＬ３のスイッチＳＷの接続点ａに接続されている。リレーＲＬ２のスイッチＳＷの接続点ｂには、キャパシタＣＰの一端が接続されている。尚、キャパシタＣＰは、出力電圧ＲＥＧの電圧変動を抑えてその電圧値を一定化する為に外部端子ＴＢに接続することが推奨されているキャパシタと等しい静電容量及び耐圧を有する。このキャパシタＣＰの他端には接地電位ＧＮＤが印加されている。

【0057】

リレーＲＬ３のスイッチＳＷの接続点ｂはリレーＲＬ１のスイッチＳＷの接続点ａに接続されており、当該リレーＲＬ１のスイッチＳＷの接続点ｃにＬＳＩテスタ５００のテストピンＴＰが接続されている。

【0058】

ＬＳＩテスタ５００は、図２Ｂに示すスイッチパターン１〜４のうちから１つのスイッチパターンを指定するリレー制御データＬＣをリレー制御信号生成部４００に供給する。

【0059】

リレー制御信号生成部４００は、リレー制御データＬＣによって指定されたスイッチパターンに対応した電圧値を有するリレー制御信号ＶＬを生成し、これを単一の制御用配線Ｌ１を介して駆動回路１００の制御端子Ｔ０に供給する。尚、リレー制御信号生成部４００としては、図５に示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３の全てのスイッチＳＷをオン状態に設定する際に必要となる、少なくとも６０ミリアンペアの電流供給能力を有するものを採用することが好ましい。

【0060】

駆動回路１００は、図１に示す内部構成を有し、前述したように、リレー制御信号ＶＬに応じて駆動信号Ｖ１〜Ｖ３を生成し、駆動信号Ｖ１をリレーＲＬ１のコイルＬの一端に供給し、駆動信号Ｖ２をリレーＲＬ２のコイルＬの一端に供給し、駆動信号Ｖ３をリレーＲＬ３のコイルＬの一端に供給する。リレーＲＬ１乃至ＲＬ３各々のコイルＬの他端には接地電位ＧＮＤが印加されている。

【0061】

ここで、ＬＳＩテスタ５００は、ＬＳＩ３００に対する製品出荷前のテストとして、以下の各テスト項目にて示されるテスト、つまり内部回路テスト、レギュレータ電圧テスト、導通テスト、及び発振電圧動作テストを行う。

【0062】

［内部回路テスト］
内部回路テストを実施する場合、ＬＳＩテスタ５００は、図２Ｂに示すスイッチパターン１を指定するリレー制御データＬＣをリレー制御信号生成部４００に供給する。リレー制御信号生成部４００は、かかるリレー制御データＬＣに応じて、図２Ｂに示すように０ボルト及び０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００に供給する。これにより、図７（ａ）に示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷが全てオフ状態（接続点ａが接続点ｂに接続された状態）となる。その結果、出力電圧ＲＥＧを出力する外部端子ＴＢ及びＬＳＩテスタ５００間の電気的接続が遮断され、当該外部端子ＴＢにキャパシタＣＰが電気的に接続された状態となる。従って、ＬＳＩ３００のレギュレータで生成された出力電圧ＲＥＧがキャパシタＣＰによって定電圧の状態となり、当該出力電圧ＲＥＧに対応した電源電圧で内部回路が動作することになる。ここで、ＬＳＩテスタ５００は、ＬＳＩ３００に形成されている内部回路が正常に動作するか否かのテストを行う。

【0063】

［レギュレータ電圧テスト］
レギュレータ電圧テストを実施する場合、ＬＳＩテスタ５００は、図２Ｂに示すスイッチパターン２を指定するリレー制御データＬＣをリレー制御信号生成部４００に供給する。リレー制御信号生成部４００は、かかるリレー制御データＬＣに応じて、図２Ｂに示すように５ボルト及び２０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００に供給する。これにより、図７（ｂ）に示すように、リレーＲＬ１のスイッチＳＷがオン状態（接続点ａが接続点ｃに接続された状態）、ＲＬ２及びＲＬ３が共にオフ状態（接続点ａが接続点ｂに接続された状態）となる。その結果、出力電圧ＲＥＧを出力する外部端子ＴＢに、ＬＳＩテスタ５００及びキャパシタＣＰが電気的に接続された状態となる。そこで、ＬＳＩテスタ５００は、出力電圧ＲＥＧを取り込み、その電圧値が正常であるか否かのテストを行う。

【0064】

［導通テスト］
導通テストを実施する場合、ＬＳＩテスタ５００は、図２Ｂに示すスイッチパターン３を指定するリレー制御データＬＣをリレー制御信号生成部４００に供給する。リレー制御信号生成部４００は、かかるリレー制御データＬＣに応じて、図２Ｂに示すように１０ボルト及び４０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００に供給する。これにより、図７（ｃ）に示すように、リレーＲＬ１及びＲＬ２各々のスイッチＳＷがオン状態（接続点ａが接続点ｃに接続された状態）、リレーＲＬ３のスイッチＳＷがオフ状態（接続点ａが接続点ｂに接続された状態）となる。その結果、出力電圧ＲＥＧを出力する外部端子ＴＢ及びＬＳＩテスタ５００間が電気的に接続されるものの、当該外部端子ＴＢ及びキャパシタＣＰ間の電気的接続は遮断される。この状態でＬＳＩテスタ５００は、導通テスト用の電流を外部端子ＴＢに供給し、この際得られた電圧に基づき外部端子ＴＢに対する導通が正しく為されたか否かをテストする。尚、ＬＳＩテスタ５００は、図７（ｃ）の状態を維持したまま、且つＬＳＩ３００に形成されているレギュレータの動作を停止した状態で、仕様で保証されている最大電圧を外部端子ＴＢに印加することによりレギュレータに対する耐圧テストを実行するようにしても良い。

【0065】

［発振電圧動作テスト］
発振電圧動作テストを実施する場合、ＬＳＩテスタ５００は、図２Ｂに示すスイッチパターン４を指定するリレー制御データＬＣをリレー制御信号生成部４００に供給する。リレー制御信号生成部４００は、かかるリレー制御データＬＣに応じて、図２Ｂに示すように１５ボルト及び６０ミリアンペアを有するリレー制御信号ＶＬを駆動回路１００に供給する。これにより、図７（ｄ）に示すように、リレーＲＬ１〜ＲＬ３各々のスイッチＳＷが全てオン状態（接続点ａが接続点ｃに接続された状態）となる。よって、出力電圧ＲＥＧを出力する外部端子ＴＢ及びＬＳＩテスタ５００間の電気的接続が遮断されると共に、当該外部端子ＴＢ及びキャパシタＣＰ間の電気的接続も遮断される。このように、キャパシタＣＰが外部端子ＴＢに接続されていないと、出力電圧ＲＥＧは発振状態となり、この発振状態の電源電圧が内部回路に供給されることになる。そこで、ＬＳＩテスタ５００は、発振状態にある電源電圧が内部回路に供給されている場合の内部回路の動作をテストする。

【0066】

尚、図６に示すテストシステムでは、テスト対象となるＬＳＩ３００の外部端子ＴＢ、つまり出力端子にリレーシステム２００のリレー（ＲＬ２、ＲＬ３）を接続しているが、ＬＳＩ３００の入力端子にリレーシステム２００のリレー（ＲＬ１〜ＲＬ３）を接続するようにしても良い。すなわち、ＬＳＩ３００に接続されることが想定される例えば２種類の機器から夫々出力される信号を、リレーシステム２００のリレー（ＲＬ１〜ＲＬ３）に接続する。これにより、２種類の機器から夫々出力される信号のうちの任意の方をＬＳＩ３００の入力端子に供給することが可能となる。

【0067】

要するに、ＬＳＩ３００のような電子機器（ＬＳＩ３００）をテストするテスト装置（ＬＳＩテスタ５００）を含むテストシステムとしては、以下の駆動回路、第１〜第ｎのリレー、及びリレー制御信号生成部を含むものであれば良いのである。つまり、駆動回路（１００）は、以下の制御端子、電圧印加部、電圧制限部及び駆動端子を含む。つまり、電圧印加部（Ｄ１〜Ｄ３、ＺＤ２、ＺＤ４、ＺＤ５）は、制御端子（Ｔ０）で受けたリレー制御信号（ＶＬ）によって表される電圧値を夫々異なる電圧値の分だけ降下させた第１〜第ｎ（ｎは２以上の整数）の電圧を第１〜第ｎのノード（ｎ１〜ｎ３）に印加する。電圧制限部（ＺＤ１〜ＺＤ３）は、第１〜第ｎのノードのうちで、上記した電圧印加部で印加された電圧が所定電圧値（例えば５ボルト）以上となるノードの電圧を所定電圧値に維持する。第１〜第ｎのリレー（ＲＬ１〜ＲＬ３）は、夫々がスイッチ（ＳＷ）とこのスイッチの状態を切り替えるコイル（Ｌ）を含む。この際、駆動回路の第１〜第ｎの駆動端子には、第１〜第ｎのリレー夫々のコイルが接続されており、第１〜第ｎのリレーのスイッチを夫々介して電子機器及びテスト装置間が接続されている。リレー制御信号生成部（４００）は、テスト項目毎に、そのテスト項目に対応した電圧値及び電流値を有するリレー制御信号を生成する。

【0068】

かかるテストシステムによれば、リレー制御信号を制御端子に供給する制御用配線を１系統分だけ用意すればｎ個のリレーを（ｎ＋１）通りのスイッチパターンに設定することが可能になる。よって、ｎ個のリレーに対して独立したｎ系統分の制御用配線が必要となる従来のテスト用治具装置に比して、その装置規模を縮小化することが可能となる。

【符号の説明】

【0069】

１００ 駆動回路
２００ リレーシステム
Ｄ１〜Ｄ３ 定電流ダイオード
ＲＬ１〜ＲＬ３ リレー
ＺＤ１〜ＺＤ６ ツェナーダイオード

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】