特開2018-154926(P2018-154926A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-154926有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する真空チャンバにおいて有機材料を堆積するための堆積装置、及び有機材料を蒸発させるための方法
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