特開2018-190772(P2018-190772A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-190772炭化珪素エピタキシャルウェハ、炭化珪素絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びこれらの製造方法
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