発明の名称 オーミック電極の形成方法及びSiC半導体素子の製造方法
出願人 国立大学法人広島大学 (識別番号 504136568)
特許公開件数ランキング 424 位(15件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 547 位(10件)(共同出願を含む)
公報番号 特開-2018-190810
公報発行日 2018年11月29
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-A-2018-190810
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