特開2018-193603(P2018-193603A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2018-193603円筒形ターゲット材の製造方法、円筒形スパッタリングターゲットの製造方法、円筒形焼結体加工用治具、研削装置、および円筒形ターゲット材
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